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[发明专利]样品放置块、样品放置装置及其样品检测方法-CN201910411846.7有效
发明人：李颖;王少辉;张婷;柴象海 -专利权人：中国航发商用航空发动机有限责任公司
申请日： 2019-05-17 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： G01N21/84 文献下载
摘要：本发明提供一种样品放置块、样品放置装置及其样品检测方法，样品放置块设有相对设置的顶部和底部；样品放置块的底部形成若干接触点，若干接触点位于同一平面上，若干接触点所在的平面为放置平面；样品放置块的顶部形成若干聚焦点，若干聚焦点位于同一平面上，若干聚焦点所在的平面为聚焦平面，放置平面与聚焦平面相平行；样品放置块还具有用于放置样品的样品放置区域，样品放置区域从样品放置块的顶部向内凹陷。上述样品放置块、样品放置装置及其样品检测方法，制作专用的样品放置装置，将待测的样品放置于专用装置上，通过定位确保样品的观测面与标定时一致，检测结果准确性和重复性好，不同的人可以获得较为一致的结果。
样品放置装置及其检测方法

[发明专利]碎片样品的平面扩展方法以及平面扩展的碎片样品-CN202010834812.1在审
发明人：孙浩宇;王孟祺;王鹏飞;王亚;石发展;叶翔宇;余佩;刘航宇;杜江峰 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2020-08-18 - 公布日： 2020-11-17 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种碎片样品的平面扩展方法以及平面扩展的碎片样品。其中，该方法包括：获取第一平面衬底和第二平面衬底，其中，第一平面衬底和第二平面衬底均为表面光滑且尺寸大于所述碎片样品的尺寸的平面衬底；将碎片样品放置于第一平面衬底上；获取夹具，夹具具有中空设置，中空设置用于容置碎片样品；将夹具压置于第一平面衬底上，且夹具的中空设置套置于碎片衬底上；在夹具的中空设置处涂敷填充物；将第二平面衬底压置于夹具上；剥离第一平面衬底和第二平面衬底，得到平面扩展后的碎片样品。该方法实现简单，提高了匀胶工艺中小尺寸碎片样品特别是小尺寸样品边缘光刻胶的均匀性，并使得碎片样品兼容现有晶圆加工设备，降低了加工成本。
碎片样品平面扩展方法以及

[发明专利]一种平面TEM样品的制备方法-CN202011643547.5在审
发明人：李全同;刘珠明;张衍俊;陈志涛 -专利权人：广东省科学院半导体研究所
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2021-04-13 - 主分类号： G01Q30/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种平面TEM样品的制备方法，包括：获取包含待测区域的平面TEM样品；其中，所述平面TEM样品的衬底面具有浅凹且未经过氩离子束减薄；对所述平面TEM样品进行氩离子束减薄，直到所述平面TEM样品表面形成穿孔且所述浅凹的边缘接触到所述待测区域时，停止氩离子束减薄，获得最终的平面TEM样品。本发明通过在平面TEM样品衬底面形成浅凹的处理，对所述衬底面形成浅凹的平面TEM样品进行氩离子束减薄，有效解决了在减薄过程中平面TEM样品表面待测区域被去除掉的问题，从而极大地提高了平面TEM样品的制备成功率和检测效率，进而降低了平面TEM样品的制备成本，缩短了制备时间。
一种平面 tem 样品制备方法

[发明专利]平面TEM样品制取方法-CN201010510699.8无效
发明人：陈卉;谢火扬;胡杰 -专利权人：武汉新芯集成电路制造有限公司
申请日： 2010-10-18 - 公布日： 2012-05-16 - 主分类号： G01N1/28 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种平面TEM样品制取方法，包括：提供一包含待观测层的晶圆截块；做标记于所述待观测层上；将一玻璃粘贴于所述待观测层上；同时研磨所述晶圆截块及玻璃；切割所述晶圆截块得到平面TEM样品。通过本发明提供的平面TEM样品制取方法得到的平面TEM样品，当通过吸取针吸取所述平面TEM样品时，即使发生吸取针使得平面TEM样品从晶圆上脱落，但吸取针又没有吸取到平面TEM样品的情况，也能很快找到脱落的平面TEM样品，而无需重新制取平面TEM样品，进而节省了制造时间，降低了制造成本。
平面 tem 样品制取方法

[发明专利]一种多角度摆放样品的X射线样品托架-CN202010174729.6在审
发明人：彭晟 -专利权人：彭晟
申请日： 2020-03-13 - 公布日： 2020-05-29 - 主分类号： G01N23/04 文献下载
摘要：本发明公布了一种多角度摆放样品的X射线样品托架，包括用于固定样品的样品支撑架；其特征在于：所述样品支撑架上连接有至少三个平面支撑架，不同的所述平面支撑架以不同的支撑平面支撑所述样品支撑架，使所述样品支撑架上的样品以不同的角度面对垂直方向本发明在样品支撑架上连接多个平面支撑架，以多个不同的支撑平面支撑样品支撑架拍摄不同角度的样品X光影像，解决了快速摆位的问题，也可以获得样品完整、全面的X光影像，能够更为准确的分析被照射物体的实际情况。优选的三个平面支撑架的支撑平面两两相互垂直，通过三个支撑平面的摆放拍摄，得到三个相互垂直的影像数据。此结构保证了被照射物体的三个投影方向精确地相互垂直。
一种角度摆放样品射线托架

[实用新型]一种多角度摆放样品的X射线样品托架-CN202020310920.4有效
发明人：彭晟 -专利权人：彭晟
申请日： 2020-03-13 - 公布日： 2020-10-09 - 主分类号： G01N23/04 文献下载
摘要：本实用新型公布了一种多角度摆放样品的X射线样品托架，包括用于固定样品的样品支撑架；其特征在于：所述样品支撑架上连接有至少三个平面支撑架，不同的所述平面支撑架以不同的支撑平面支撑所述样品支撑架，使所述样品支撑架上的样品以不同的角度面对垂直方向本实用新型在样品支撑架上连接多个平面支撑架，以多个不同的支撑平面支撑样品支撑架拍摄不同角度的样品X光影像，解决了快速摆位的问题，也可以获得样品完整、全面的X光影像，能够更为准确的分析被照射物体的实际情况优选的三个平面支撑架的支撑平面两两相互垂直，通过三个支撑平面的摆放拍摄，得到三个相互垂直的影像数据。此结构保证了被照射物体的三个投影方向精确地相互垂直。
一种角度摆放样品射线托架

[发明专利]平面视图样品制备-CN201410302659.2有效
发明人： R.J.杨 -专利权人： FEI公司
申请日： 2014-06-27 - 公布日： 2019-04-16 - 主分类号： G01N1/44 文献下载
摘要：本发明涉及平面视图样品制备。本发明尤其涉及用于改变带电粒子束样品的定向的方法和设备。该方法包括在具有样品台平面的样品台上提供第一工件，该第一工件包括处于第一定向的薄层平面。使用离子束从第一工件铣削样品，使得样品基本上从第一工件释放。探针被附接至样品，探针包括具有轴线的轴，该轴线被定向成相对于样品台平面成一个轴角，该轴角不垂直于样品台平面。将探针环绕轴线转动过转动角，使得薄层平面处于第二定向。样品被附接至或放置于或者第一工件上或者第二工件上的样品上，第一工件是样品从其上被铣削的工件，第二工件是样品未从其上被铣削的工件。使用离子束将样品打薄以形成一个薄层，该薄层被定向为在薄层平面内。
平面视图样品制备

[发明专利]显微镜和用于确定到样品参考平面的距离的方法-CN202110776681.0在审
发明人：曼努埃尔·阿姆托尔;丹尼尔·哈泽 -专利权人：卡尔蔡司显微镜有限责任公司
申请日： 2021-07-09 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： G02B21/36 文献下载
摘要：一种用于确定样品载体(10)的样品参考平面(1)与显微镜的参考平面(2)的距离(z)的方法，该显微镜包括用于样品载体(10)的样品台(9)和相机(30)，包括以下步骤：通过相机(30)拍摄样品载体(10)的概览图像(40)；评估概览图像(40)并因此检测样品载体(10)的至少一个特征(C)；从数据集(D)中确定特征(C)的上下文数据(K)；以及基于样品载体(10)的特征(C)和上下文数据(K)确定样品参考平面(1)与参考平面(2)的距离(z)。还描述了一种被配置为确定样品载体(10)的样品参考平面(1)与参考平面(2)的距离(z)的显微镜。
显微镜用于确定样品参考平面距离方法

[发明专利]一种平面TEM样品的制备方法及平面TEM样品-CN202011075854.8有效
发明人：尹志军;崔国新;李若木;许志城 -专利权人：南京南智先进光电集成技术研究院有限公司
申请日： 2020-10-10 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： G01N1/28 文献下载
摘要：本申请公开了一种平面TEM样品的制备方法及平面TEM样品，该制备方法将待测样品置于样品台上；控制样品台倾斜至52度；在待测样品的表面构建目标制样区域；使用离子束刻蚀得到目标矩形样品；控制样品台倾斜至‑10度；使用离子束进行刻蚀，得到目标锲形体，目标锲形体的第一锲形表面与第二锲形表面的交汇处能够将目标锲形体的底部从待测样品中分割出来；将样品台倾斜至零度；控制纳米机械手提取出目标锲形体，并在旋转90度后，将目标锲形体焊接至标准铜网上并减薄到目标厚度，得到平面TEM样品。上述制备方法通过控制样品台的倾斜角度，使目标锲形体中两个锲形表面在交汇的过程中，将目标锲形体从待测样品中分割出来。
一种平面 tem 样品制备方法

[发明专利]材料平面接触摩擦性能测试装置-CN201410834073.0在审
发明人：李鹏远;罗蓉蓉;潘传杰;陈辉;魏海鸿;许丹 -专利权人：核工业西南物理研究院
申请日： 2014-12-29 - 公布日： 2016-07-27 - 主分类号： G01N3/56 文献下载
摘要：一种材料平面接触摩擦性能测试装置。为了克服现有销盘式材料摩擦磨损性能测试存在的模拟工况不全面，无法对大面积试样进行平面全接触磨损测试的不足，本发明的样品固定安装在样品基座的侧面，对磨样品固定安装在对磨样品基座侧面；样品和对磨样品相向安装，且样品和对磨样品的接触平面垂直于水平面；对磨样品基座上安装有水平推力的加力轴，加力轴的轴线垂直于对磨样品的平面，加力轴凸出对磨样品基座的一端为球面。其有益效果是设计合理，便于操作，在试样平面接触条件下，模拟材料平面实际摩擦磨损工作状况，准确测量材料运动时的摩擦力大小，实时反映材料摩擦过程中的摩擦系数，表征材料摩擦磨损性能。
材料平面接触摩擦性能测试装置

[发明专利]一种基于平面样品转截面样品的特定微小区域标定方法-CN201910505783.1在审
发明人：蔡齐航;谢亚珍;郭语柔 -专利权人：苏试宜特（上海）检测技术有限公司
申请日： 2019-06-12 - 公布日： 2020-12-15 - 主分类号： G01N23/2202 文献下载
摘要：本发明的一种基于平面样品转截面样品的特定微小区域标定方法，包括步骤：将平面样品放入透射电子显微镜中观察，并记录平面样品上的特定微小区域的位置信息；根据记录的位置信息对对平面样品进行金属线性沉积，于平面样品上形成线性路径；将带有线性路径的平面样品放入透射电子显微镜中，观察线性路径是否落入特定微小区域内：若是，则以该线性路径作为将平面样品转截面样品时的执行位置；若不是，则再次对所述平面样品进行所述金属线性沉积，直至有所述线性路径落入所述特定微小区域内为止本发明弥补了扫描式电子显微镜分辨率不高的缺点，可以对特定微小区域进行精准的定位，避免了误认盲切，能够得到符合要求的截面样品。
一种基于平面样品截面特定微小区域标定方法

[实用新型]一种柱形外观检测在线旋转拍摄装置-CN201820737903.1有效
发明人：单炳正;李勃;王雪;翁小飞;梁振华;董蓉;黄璜;查俊;周子卿 -专利权人：南京汇川图像视觉技术有限公司;南京汇川工业视觉技术开发有限公司
申请日： 2018-05-17 - 公布日： 2018-11-30 - 主分类号： G01N21/892 文献下载
摘要：一种柱形外观检测在线旋转拍摄装置，包括相机、镜头、平面镜一、平面镜二、转盘和环形光源，平面镜一和平面镜二设置在转盘上，柱形样品位于转盘正下方，环形光源设置在柱形样品上方，用于照亮柱形样品，调整平面镜一和平面镜二的角度，使得柱形样品的像依次经平面镜一和平面镜二的反射后进入镜头。本实用新型方案中，柱形样品被环形光源所打亮，其反射光线分别经过平面镜一和平面镜二的反射，进入镜头成像于相机中，电动机驱动滚轮进而驱动转盘上的平面镜一和平面镜二围绕柱形样品进行旋转拍摄，结合现有的图像识别技术，实现对柱形样品外观360°的质量检测。
平面镜柱形环形光源转盘拍摄装置外观检测在线旋转反射相机图像识别技术本实用新型电动机驱动反射光线镜头成像驱动转盘旋转拍摄样品外观质量检测镜头滚轮照亮

[发明专利]平面TEM样品的制作方法-CN201310625289.1在审
发明人：陈强;史燕萍 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2013-11-28 - 公布日： 2014-03-19 - 主分类号： G01N1/28 文献下载
摘要：本发明提供一种平面TEM样品的制作方法，包括：提供TEM样品，所述TEM样品上具有目标区域；对所述TEM样品进行平面研磨至金属互连层；对所述TEM样品进行截面研磨至TEM样品的边缘距离目标区域2-10微米；采用第一溶液去除金属互连层中的金属线，在所述金属互连层从中形成孔洞；采用第二溶液去除所述孔洞下方的源漏掺杂区域；使用FIB方法对所述TEM样品进行制作，形成平面TEM样品，所述平面TEM样品露出孔洞下方的源漏掺杂区域用于失效分析本发明能够解决平面TEM上无法观察源漏掺杂区域的难题。
平面 tem 样品制作方法

[发明专利]实验室样品分配系统和相应的操作方法-CN202110682466.4在审
发明人： N·施密特 -专利权人：豪夫迈·罗氏有限公司
申请日： 2021-06-18 - 公布日： 2021-12-21 - 主分类号： G01N35/04 文献下载
摘要：一种实验室样品分配系统，包括：多个样品容器载体，每个所述样品容器载体包括至少一个磁性有源器件且适于承载样品容器；传送平面，其适于支撑样品容器载体；多个电磁致动器，其静止地布置在传送平面下方，电磁致动器适于通过向样品容器载体施加磁力，使位于传送平面的顶部上的对应样品容器载体移动；触控面板，其布置在传送平面下方，适于根据位于所述传送平面的顶部上的所述样品容器载体的位置来生成位置信号；位置确定单元，其中所述位置确定单元适于响应于所述位置信号来确定位于所述传送平面的顶部上的所述样品容器载体的所述位置；以及控制单元，其适于响应于所述样品容器载体的经确定的位置来控制所述实验室样品分配系统的操作。
实验室样品分配系统相应操作方法

[发明专利]定点平面TEM样品制备方法-CN201310156888.3无效
发明人：陈强;王炯翀;史燕萍 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2013-04-28 - 公布日： 2013-09-04 - 主分类号： G01N1/28 文献下载
摘要：本发明公开了一种定点平面TEM样品制备方法，包括：步骤1：对TEM样品的目标进行定位；步骤2：研磨所述TEM样品，使所述TEM样品的边缘距离目标5～15um；步骤3：切割上述TEM样品的截面；步骤4：将上述TEM样品放入聚焦离子束中进行平面制样。本发明通过结合研磨、截面切割、FIB平面制样的方法，大大提高了TEM定点平面制备的成功率，同时也极大地提高了平面TEM样品的质量，对失效分析、结构分析等提供了极大的帮助。
定点平面 tem 样品制备方法

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