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[发明专利]基于白光干涉光谱的大台阶高度的快速测量方法-CN201910394820.6有效
发明人：郭彤;罗备;袁琳;陈卓;傅星;胡小唐 -专利权人：天津大学
申请日： 2019-05-13 - 公布日： 2020-12-25 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本发明公开基于白光干涉光谱的大台阶高度的快速测量方法，该方法只需提取单帧干涉光谱信号，且无需扫描过程。测量台阶时，光源发出的光会聚于样品表面并照亮大台阶上一定范围的区域，台阶上表面和下表面分别产生了不同的干涉光谱信号，最终光谱仪采集到的信号即表现为这两组干涉光谱信号的叠加。通过对采集的白光干涉光谱信号进行加窗，获得有效波段的干涉光谱信号。对有效波段的干涉光谱信号进行傅里叶变换后会得到两个傅里叶峰，分别提取两个峰进行计算即可得出大台阶高度。
基于白光干涉光谱台阶高度快速测量方法

[发明专利]傅里叶变换光致发光光谱仪及光谱检测方法-CN202211574758.7在审
发明人：唐鑫;刘雁飞;温崇 -专利权人：北京理工大学;中芯热成科技（北京）有限责任公司
申请日： 2022-12-08 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： G01N21/35 文献下载
摘要：本公开涉及傅里叶变换光致发光光谱仪及光谱检测方法，该光谱仪包括：沿光路的方向顺次设置的频率调制光致发光组件、迈克尔逊干涉仪组件以及光谱信号检测组件；频率调制光致发光组件用于基于频率调制的光源，激发待测样品发出光致发光光谱；光致发光光谱对应的光束传输至迈克尔逊干涉仪组件；迈克尔逊干涉仪组件用于对光致发光光谱对应的光束进行分光并干涉，生成干涉光束；干涉光束传输至光谱信号检测组件；光谱信号检测组件至少包括探测器和与探测器连接的锁相放大器；探测器响应于干涉光束生成对应的光电响应信号，锁相放大器接收光电响应信号以及光源的调制信号，并进行锁相放大，得到待解调信号；待解调信号被解调得到对应的光致发光光谱。
傅里叶变换光致发光光谱仪光谱检测方法

[发明专利]一种简单易调的色散超快测量系统及方法-CN202210128111.5有效
发明人：高磊;黄景晟;朱涛 -专利权人：重庆大学
申请日： 2022-02-11 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明提供一种简单易调的色散超快测量系统及方法，该系统包括干涉光信号产生装置、待测样品、波形采集装置和光谱仪，干涉信号产生装置用于产生初始干涉光信号，其将所述初始干涉光信号分成两路，一路经待测样品时域拉伸后，形成拉伸干涉光信号，拉伸干涉光信号被传输给波形采集装置，另一路初始干涉光信号被直接传输给光谱仪；波形采集装置对拉伸干涉光信号的波形进行采集，获得时域包络；光谱仪对所述另一路初始干涉光信号的干涉光谱进行采集；基于时域包络与初始干涉光信号的干涉光谱呈等比例缩放，对时域包络和所述干涉光谱进行迭代拟合，计算出所述待测样品的色散量。
一种简单色散测量系统方法

[发明专利]自参考光谱仪-CN201980023882.4在审
发明人： M·梅德哈特;B·莫塔达;Y·M·萨布里;M·胡萨姆;M·安瓦尔;A·什布尔;H·哈德达拉;B·A·萨达尼 -专利权人：斯维尔系统
申请日： 2019-03-29 - 公布日： 2020-11-13 - 主分类号： G01J3/02 文献下载
摘要：本公开的各方面涉及一种自参考光谱仪，其用于提供对背景或参考光谱密度以及样品或其他光谱密度的同时测量。自参考光谱仪包括干涉仪，该干涉仪被光耦合以接收输入光束，并且沿第一光路引导输入光束以产生第一干涉光束，并且沿第二光路引导输入光束以产生第二干涉光束，其中每个干涉光束是在干涉仪的输出之前被产生的。光谱仪还包括检测器，其被光耦合以同时检测从第一干涉光束产生的第一干涉信号和从第二干涉光束产生的第二干涉信号，以及处理器，其被配置为处理第一干涉信号和第二干涉信号，并且在处理第一干涉信号时将第二干涉信号用作参考信号
参考光谱仪

[发明专利]基于白光干涉光谱的同步相移测量系统与方法-CN201910395069.1有效
发明人：郭彤;袁琳;边琰;陈卓;傅星;胡小唐 -专利权人：天津大学
申请日： 2019-05-13 - 公布日： 2021-04-06 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明提供基于白光干涉光谱的同步相移测量系统，包括：光源单元、测量干涉单元、图像探测单元、光谱干涉单元和数据处理单元；其中所述光源单元对照明光源生成偏振光源信号；所述测量干涉单元对偏振光源信号处理生成测量偏振光源信号P和参考偏振光源信号S；所述图像探测单元将测量偏振光源信号P和参考偏振光源信号S一部分通过CCD相机前的检偏器形成干涉，被CCD相机探测处理，一部分传输给所述光谱干涉单元；所述光谱干涉单元对部分的振光源信号P和参考偏振光源信号S再次分光生成具有90°相位差的干涉信号传输给数据处理单元，该系统通过引入空间相移，对具有90°相位差的两帧光谱干涉信号进行分析，实现对表面形貌的快速高精度测量。
基于白光干涉光谱同步相移测量系统方法

[发明专利]一种实现转镜式傅里叶变换光谱仪的大转角非线性干涉光谱的准确复原方法-CN202211258575.4在审
发明人：汤明;郭海涛;郭承鸿;于龙昆 -专利权人：南昌大学
申请日： 2022-10-14 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： G01N21/65 文献下载
摘要：本发明公开一种实现转镜式傅里叶变换光谱仪的大转角非线性干涉光谱的准确复原方法，包括步骤：通过转镜式傅里叶变换光谱仪光学系统探测入射光的非等(光程差)间隔(采样)干涉信号；通过频谱计算方法计算所述的非等间隔干涉信号的频谱；利用构建的BP神经网络将所述的非等间隔干涉信号的频谱变换为10倍等间隔(采样)干涉信号的频谱；根据所述的10倍等间隔(采样)干涉信号的频谱重构入射光的完整干涉信号，并校正其强度与位置；对所述的重构的完整干涉信号进行10倍等(光程差)间隔二次采样，获得入射光的等间隔干涉信号。本发明能够实现Turbo FTS的大转角非线性干涉光谱的复原，提高光谱分辨率，并降低计算时间。
一种实现转镜式傅里叶变换光谱仪转角非线性干涉光谱准确复原方法

[发明专利]一种基于红外干涉的外延片测厚方法及装置-CN202311155284.7在审
发明人：李志松;孙佳兴;宋金龙;崔佳雯 -专利权人：法博思（宁波）半导体设备有限公司
申请日： 2023-09-08 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本申请公开了一种基于红外干涉的外延片测厚方法及装置，涉及光学薄膜厚度测量技术领域，通过获取原始光谱信号：采用自适应光谱切除算法切除原始光谱信号中干涉质量不佳的区域，得到高质量干涉光谱信号；将高质量干涉光谱信号进行本申请不仅通过自适应光谱切割算法切除了原始光谱信号中干涉质量不佳的区域，并且通过双层厚度提取算法解决了由晶圆特殊双层结构导致的多次干涉问题，从而实现外延片衬底、外延层厚度的精确测量。
一种基于红外干涉外延片测厚方法装置

[发明专利]光学计量系统和方法-CN202180016485.1在审
发明人：吉拉德·巴拉克;阿米尔·沙亚里 -专利权人：诺威有限公司
申请日： 2021-02-24 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：该测量系统包括处理原始测量数据的控制系统，原始测量数据指示响应于入射到样品的顶部部分的照明电磁场而在样品上测量的光谱干涉信号并且光谱干涉信号包括所述样品基本上不吸收的至少一个光谱范围。处理包括：从原始测量数据中提取光谱干涉信号的一部分，光谱干涉信号的一部分描述在干涉测量期间随着光路差OPD的改变而变化的信号强度，提取信号部分与响应于所述照明电磁场从样品的底部部分返回的干涉信号无关；以及从所述提取部分中直接确定来自样品的顶部部分的电磁场的反射的光谱振幅和相位，从而确定表征样品的顶部部分的测量光谱特征。
光学计量系统方法

[发明专利]光学相干层析系统中光谱信息的分段并行采集系统及方法-CN201610840490.5在审
发明人：王肇颖;王琦雨 -专利权人：天津大学
申请日： 2016-09-22 - 公布日： 2017-01-04 - 主分类号： G01N21/47 文献下载
摘要：本发明公开了一种光学相干层析系统中光谱信息的分段并行采集方法，包括：将样品置于迈克尔逊干涉仪的样品臂上，N波长高速并行扫频光源输出等频率间隔并行扫频的N波长光信号，进入到所述迈克尔逊干涉仪，将干涉光谱分为N段，以恒定扫频步长对干涉光谱进行并行采集，获得含样品信息的干涉光谱；对各时刻采集到的干涉光谱信息并行接收，并依次完成N波长干涉光谱信息的分离、分离后光信号的光电转换、将光电转换后信号的模数转换为电域的数据信息后交由计算机，从而完成干涉光谱信息分段并行采集。本发明解除了轴向扫描速率和光谱采样率之间的反比关系，从基本原理和实现技术上提高了干涉光谱采集的质量和速度。
光学相干层析系统光谱信息分段并行采集方法

[发明专利]一种基于级联马赫曾德干涉仪的光谱相位校准系统及方法-CN201310020839.7有效
发明人：王玲;丁志华;沈毅;颜杨志;吴开华 -专利权人：杭州电子科技大学
申请日： 2013-01-18 - 公布日： 2013-05-01 - 主分类号： A61B5/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于级联马赫曾德干涉仪的光谱相位校准系统及方法，本发明级联MZI干涉光谱信号经傅立叶变换、滤波及逆傅立叶变换分离出光程差d1接近系统最大成像深度的第一参考干涉信号和光程差d2接近零光程的第二参考干涉信号，第一参考干涉信号实现波数采样的实时线性标定和校准最大成像深度处光谱相位跳变的分数部分，第二参考干涉信号确定最大成像深度光谱相位跳变的2π整数倍，起始波数跳动引起的相位跳变与深度成线性关系，两路参考干涉信号结合可以校正任意深度处实际的相位跳变既实现了光谱实时线性标定，又确保了光谱相位跳变的校准精度，解决了光谱相位跳变校准的2π混淆问题，可实现实时、高灵敏的位相探测和位相图像的重建。
一种基于级联马赫干涉仪光谱相位校准系统方法

[实用新型]一种基于级联马赫曾德干涉仪的光谱相位校准系统-CN201320028638.7有效
发明人：王玲;丁志华;沈毅;颜杨志;吴开华 -专利权人：杭州电子科技大学
申请日： 2013-01-18 - 公布日： 2013-06-26 - 主分类号： A61B5/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于级联马赫曾德干涉仪的光谱相位校准系统，本实用新型级联MZI干涉光谱信号经傅立叶变换、滤波及逆傅立叶变换分离出光程差d1接近系统最大成像深度的第一参考干涉信号和光程差d2接近零光程的第二参考干涉信号，第一参考干涉信号实现波数采样的实时线性标定和校准最大成像深度处光谱相位跳变的分数部分，第二参考干涉信号确定最大成像深度光谱相位跳变的2整数倍，起始波数跳动引起的相位跳变与深度成线性关系，两路参考干涉信号结合可以校正任意深度处实际的相位跳变既实现了光谱实时线性标定，确保了光谱相位跳变的校准精度，解决了光谱相位跳变校准的2混淆问题，可实现实时、高灵敏的位相探测和位相图像的重建。
一种基于级联马赫干涉仪光谱相位校准系统

[发明专利]干涉仪设备及其运行方法-CN200880117054.9有效
发明人： W·霍尔扎普费尔 -专利权人：约翰尼斯海登海恩博士股份有限公司
申请日： 2008-10-01 - 公布日： 2010-10-20 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本发明涉及干涉仪设备及其运行方法。干涉仪设备包括具有干涉仪光源的干涉仪，干涉仪光源发出的辐射可分配到测量臂和参考臂中，其中测量对象被布置在测量臂中并且干涉仪提供依赖于测量对象位置的干涉仪信号。干涉仪设备还包括检测装置，用于检测测量臂和/或参考臂中的空气的折射率的波动。在此，检测装置包括光谱仪单元；光谱仪单元具有至少一个光谱仪光源以及至少一个光谱仪探测器单元。由光谱仪光源发出的射束与干涉仪光源的射束相叠加，其中光谱仪光源发出具有如下波长的辐射：该波长处于至少一种确定的空气成分的吸收线范围内。光谱仪探测器单元用于生成光谱仪信号，光谱仪信号表征空气成分在测量臂和/或参考臂中关于光谱仪光源波长的吸收。
干涉仪设备及其运行方法

[发明专利]基于带通采样技术的干涉光谱系统及目标光谱信息获取方法-CN202010838125.7有效
发明人：李思远;田飞飞;王鹏冲;张宏建;张周锋 -专利权人：中国科学院西安光学精密机械研究所
申请日： 2020-08-19 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： G01J3/45 文献下载
摘要：本发明提出一种基于带通采样技术的干涉光谱系统及目标光谱信息获取方法，以解决干涉光谱仪系统结构复杂、成本高、应用场景受限的技术问题。本发明将宽谱段光谱信号经色散单元进行色散预处理，得到以波长函数分布的宽带信号，宽带信号经干涉仪单元进行干涉调制，再按照带通采样技术要求进行间隔采样，由光电探测器收集干涉图信息，对光电探测器收集的干涉图信息等间距分割为多个窄带信号对应的干涉图信息，然后对等间隔分割后得到的干涉图信息进行处理及反演后，得到探测目标所对应的光谱分布。本发明相比奈奎斯特采样技术，允许以更大的采样间隔进行采样，有利于减少数据量，具有星载光谱探测应用的巨大潜力。
基于采样技术干涉光谱系统目标信息获取方法

[发明专利]一种空间外差干涉光谱仪图像压缩方法-CN202111069805.8在审
发明人：叶松;李炤林;汪杰君;李树;王新强;王方原;张文涛;陈妮艳 -专利权人：桂林电子科技大学
申请日： 2021-09-13 - 公布日： 2021-11-23 - 主分类号： G01J3/45 文献下载
摘要：本发明书公开一种空间外差干涉光谱仪图像压缩方法。其通过：1空间外差干涉光谱仪产生干涉图，将干涉图的数据传送到数据压缩模块；2对干涉图进行分割；3将零光程差附近信息量较大的干涉图信号分离出来，直接下传；4将光程差较大的干涉图信号，送至压缩模块，对压缩后的干涉图信号进行解压缩；5将其与直接下传的干涉图信号重新合并，重构成完整的干涉图；6最后进行光谱复原。本发明解决了背景技术中压缩干涉图失真较大，无法复原出真实光谱的技术问题。本发明运算速度快；压缩解压缩后的失真度小，效果佳；工作的可靠性大大提高。
一种空间外差干涉光谱仪图像压缩方法

[发明专利]基于傅里叶变换红外光谱叠加式峰形的红外光谱获取方法-CN201710908949.5有效
发明人：陈舒平 -专利权人：福建加谱新科科技有限公司
申请日： 2017-09-29 - 公布日： 2018-07-20 - 主分类号： G01N21/35 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于傅里叶变换红外光谱叠加式峰形的红外光谱获取方法，通过一激光红外光源产生红外信号，该红外信号依次经干涉仪、样品室以及检测器后，产生红外干涉谱；经一计算机主机通过采样装置对该红外干涉谱进行采样，获取红外干涉信号；将采样后的红外干涉信号进行傅里叶变换，并通过一叠加函数，对该红外干涉信号进行峰形叠加，进而获取红外百分比透射率谱，通过显示装置进行显示。本发明所提出的一种基于傅里叶变换红外光谱叠加式峰形的红外光谱获取方法，达到了将红外光谱分辨率提高一倍，而且也增强各峰值信号一倍的技术效果。
基于傅里叶变换红外光谱叠加式峰形获取方法

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