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[发明专利]食材处理装置及其控制方法以及制冷设备-CN202010342840.1有效
发明人：张明明;史慧新 -专利权人：合肥华凌股份有限公司;合肥美的电冰箱有限公司;美的集团股份有限公司
申请日： 2020-04-27 - 公布日： 2022-03-25 - 主分类号： F25D11/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种食材处理装置及其控制方法以及制冷设备，装置包括：带电粒子发射口；带电粒子产生模块，带电粒子产生模块用于产生电离物质，并将电离物质提供至带电粒子发射口；带电粒子分离模块，带电粒子分离模块设置于带电粒子发射口，用于从电离物质中分离出用于杀菌除味的有效带电粒子。由此，本发明实施例的食材处理装置，通过带电粒子分离模块可以减少正负带电粒子之间的结合反应，提升有效带电粒子浓度以及寿命，进而可有效提升该装置的除菌、除味以及除农残的效果，保证用户的食用安全性。
处理装置及其控制方法以及制冷设备

[发明专利]多带电粒子束描绘装置及多带电粒子束描绘方法-CN202110185082.1在审
发明人：松本裕史 -专利权人：纽富来科技股份有限公司
申请日： 2021-02-10 - 公布日： 2021-09-03 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明关于多带电粒子束描绘装置及多带电粒子束描绘方法。本发明的一形态的多带电粒子束描绘装置具备：可移动的台，供基板配置；发射数据生成部，生成多带电粒子束的各发射的发射数据；移位量计算部，至少基于与第k+1次(k是自然数)以后所照射的多带电粒子束的发射有关的参数，计算用于将第k次的发射的多带电粒子束整体一起进行位置修正的移位量；以及描绘机构，具有将多带电粒子束偏转的偏转器，上述描绘机构一边根据该移位量将第k次的发射的多带电粒子束整体通过一起偏转而移位，一边使用多带电粒子束对基板进行上述第k次的发射。
带电粒子束描绘装置方法

[发明专利]带电粒子检测系统的束流调节-CN202080088466.5在审
发明人：方伟;陈仲玮 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2020-12-17 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： H01J37/073 文献下载
摘要：用于带电粒子检测系统的超快束流调节的设备、方法和系统，包括：带电粒子源，被配置为发射带电粒子以扫描样品；以及发射增强器，被配置为在带电粒子检测系统的扫描操作的第一周期中向带电粒子源照射电磁辐射以增强带电粒子发射
带电粒子检测系统调节

[发明专利]带电粒子源模块-CN202210698168.9在审
发明人： L·迪努-格尔特勒;E·P·霍杰沃斯特;J·范索伊斯特 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2018-04-10 - 公布日： 2022-08-23 - 主分类号： H01J37/065 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于产生和发射带电粒子束的带电粒子源模块，包括：框架，包括第一框架部分、第二框架部分以及布置在第一框架部分和第二框架部分之间的并且刚性地连接至它们的一个或多个刚性支撑构件，框架包括安装构件，安装构件通过挠曲连接件而连接到第二框架部分；用于产生带电粒子束的带电粒子源装置，其中带电粒子源装置被布置在第二框架部分处，包括：发射器装置，被配置用于发射带电粒子；以及电极，用于从由发射器装置发射的带电粒子形成带电粒子束；和布置在第一框架部分处的电力连接组件，电力连接组件刚性地连接到第一框架部分，并且带电粒子源装置刚性地连接到第二框架部分，其中带电粒子源装置经由电线电连接至电力连接组件。
带电粒子模块

[发明专利]测量装置和观测条件的设定方法-CN201780082429.1有效
发明人：荒木亮子;津野夏规;中村洋平;笹岛正弘;中村光宏;扬村寿英 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2017-05-12 - 公布日： 2021-07-30 - 主分类号： H01J37/22 文献下载
摘要：本发明提供一种照射带电粒子束来观察试样的测量装置，其特征在于，包括：输出带电粒子束的粒子源；使带电粒子束聚焦的透镜；对从照射了带电粒子束的试样发射的发射电子的信号进行检测的检测器；和基于观测条件对带电粒子束的输出和发射电子的信号的检测进行控制的控制装置，作为所述观测条件，控制装置设定用于控制带电粒子束的照射周期的第1参数、用于控制脉冲状的带电粒子束的脉冲宽度的第2参数、用于在脉冲状的带电粒子束的照射时间内控制发射电子的信号的检测时刻的第3参数，第3参数是基于从带电粒子束的照射位置发射的多个发射电子的信号各自的强度之差而决定的
测量装置观测条件设定方法

[发明专利]检查装置-CN202180015828.2在审
发明人： M·J-J·维兰德 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2021-02-11 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： H01J37/28 文献下载
摘要：一种带电粒子评估工具包括多个射束列。每个射束列包括带电粒子射束源(201)，被配置为发射带电粒子；多个会聚透镜(231)，被配置为将从带电粒子射束源发射的带电粒子(211、212、213)形成为多个带电粒子射束；会聚透镜被配置为将多个带电粒子射束聚焦到相应中间焦点(233)；以及多个物镜(234)，被配置为处于所述中间焦点的下游，每个物镜被配置为将多个带电粒子射束中的一者投射到样品上；以及像差校正器(235)，被配置为减小多个带电粒子射束中的一个或多个像差。射束列彼此相邻布置，以便将带电粒子射束投射到样品的相邻分区上。
检查装置

[发明专利]电子枪、带电粒子枪及利用该电子枪、带电粒子枪的带电粒子束装置-CN201480023185.6有效
发明人：今井悠太;大岛卓;森下英郎 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2014-04-14 - 公布日： 2017-05-03 - 主分类号： H01J37/073 文献下载
摘要：本申请的目的是提供仅使用静电透镜的比较小型而像差小的带电粒子枪，并提供在大电流下也具有高亮度的场发射型带电粒子枪。带电粒子枪具有带电粒子源；加速电极，其使从带电粒子源发射的带电粒子加速；控制电极，其配置在比加速电极靠近带电粒子源侧且具有比加速电极的开口直径大的开口直径；以及控制部，其根据施加于加速电极的电位对施加于控制电极的电位进行控制
电子枪带电粒子利用粒子束装置

[实用新型]一种空气感染源防护机-CN202020718890.0有效
发明人：刘延兵 -专利权人：上海帝伽医疗科技有限公司
申请日： 2020-04-30 - 公布日： 2021-04-20 - 主分类号： A61L2/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种空气感染源防护机，包括机壳，所述机壳上设置进风口和出风口，在进风口和出风口之间的机壳内设置有带电粒子发射单元和气流控制单元，所述带电粒子发射单元包括带电粒子发射电极，所述带电粒子发射电极与高压电源电连接，用以从带电粒子发射电极发射出带电粒子，所述气流控制单元用于使气流从进风口吸入并从出风口排出。该空气感染源防护机，能够持续产生带电粒子，并使其弥散在室内环境中，对致病微生物进行有效防护，可应用在医院、学校、办公、餐厅、候机厅等人员聚集的地方，对致病微生物进行动态有效防护，阻断、减少病毒、细菌等感染源空气传播
一种空气感染防护

[发明专利]带电粒子加速装置-CN201810988935.3有效
发明人：何子锋;欧阳联华;李德明;杨永金;吴新时;张金玲;黄建鸣;郭洪雷;刘永好;王胜利;苏海军 -专利权人：中国科学院上海应用物理研究所
申请日： 2018-08-28 - 公布日： 2020-07-10 - 主分类号： H05H7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种带电粒子加速装置，带电粒子加速装置包括依次设置的发射源、第一加速管和第二加速管，带电粒子加速装置还包括控制器；发射源发射带电粒子束；控制器接收用户输入的一目标引出能量，还检测目标引出能量是否小于第一加速管的最小运输能量，若是，则控制第一加速管对经过第一加速管的带电粒子束进行加速使经过第一加速管的带电粒子束的能量达到最小运输能量；经过第一加速管加速后的带电粒子束到达第二加速管后，控制器控制第二加速管对经过第二加速管的带电粒子束进行减速使经过第二加速管的带电粒子束的能量达到目标引出能量本发明实现了在兼容产生高能束流的情况下，也可以产生较低能量的带电粒子束，扩展较低能量的调节范围。
带电粒子加速装置

[发明专利]双束双焦带电粒子显微镜-CN202110331186.9在审
发明人： A·亨斯特;Y·邓;H·科尔;A·穆罕默德-盖达里 -专利权人： FEI公司
申请日： 2021-03-29 - 公布日： 2021-10-01 - 主分类号： H01J37/21 文献下载
摘要：根据本公开的用于使用双束双焦带电粒子显微镜来研究样本的方法和系统包括向所述样本发射多个带电粒子，将所述多个带电粒子形成为第一带电粒子束和第二带电粒子束，以及修改所述第一带电粒子束和所述第二带电粒子束中的至少一束的聚焦特性修改所述第一带电粒子束和所述第二带电粒子束中的至少一束的所述聚焦特性，使得所述第一带电粒子束和所述第二带电粒子束的对应焦平面不同。
双束双焦带电粒子显微镜

[发明专利]带电粒子评估工具、检查方法-CN202080092203.1在审
发明人： M·J-J·维兰德 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2020-12-23 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： H01J37/244 文献下载
摘要：一种带电粒子评估工具，包括：物镜，被配置为将多个带电粒子束投射到样品上，该物镜具有面向样品的表面，该面向样品的表面对多个束孔径进行限定，带电粒子束中的相应带电粒子束通过束孔径朝向样品被发射；以及多个捕获电极，与束孔径中的相应束孔径相邻并且被配置为捕获从样品发射的带电粒子。
带电粒子评估工具检查方法

[发明专利]带电粒子束描绘装置以及带电粒子束描绘方法-CN201910480018.9有效
发明人：东矢高尚;森田博文;小笠原宗博 -专利权人：纽富来科技股份有限公司
申请日： 2019-06-04 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： H01J37/145 文献下载
摘要：本发明涉及带电粒子束描绘装置以及带电粒子束描绘方法。本实施方式的带电粒子束描绘装置具备：发射部，发射带电粒子束；第1光圈，对上述带电粒子束进行成形；照明透镜，将上述带电粒子束照射到上述第1光圈；第2光圈，对透过了上述第1光圈之后的带电粒子束进行成形；投影透镜，将透过了上述第1光圈之后的带电粒子束投影到上述第2光圈；物镜，是对透过了上述第2光圈之后的带电粒子束进行对焦的磁场型透镜；以及静电透镜，与作为描绘对象的基板的表面高度相匹配地进行带电粒子束的焦点修正，
带电粒子束描绘装置以及方法

[发明专利]用于带电粒子浸没以增强电压对比缺陷信号的系统和方法-CN202210998811.X在审
发明人： F·N·张;陈仲玮;王義向;Y·C·沈 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2018-07-18 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： H01J37/26 文献下载
摘要：公开了用于在带电粒子束装置中实施带电粒子浸没的系统和方法。根据特定实施例，带电粒子束系统包括带电粒子源和控制器，控制器控制带电粒子束系统以第一模式和第二模式发射带电粒子束，在第一模式中束被散焦，而在第二模式中束被聚焦在样本的表面上。
用于带电粒子浸没增强电压对比缺陷信号系统方法

[发明专利]用于带电粒子浸没以增强电压对比缺陷信号的系统和方法-CN201880050688.0有效
发明人： F·N·张;陈仲玮;王義向;Y·C·沈 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2018-07-18 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： H01J37/26 文献下载
摘要：公开了用于在带电粒子束装置中实施带电粒子浸没的系统和方法。根据特定实施例，带电粒子束系统包括带电粒子源和控制器，控制器控制带电粒子束系统以第一模式和第二模式发射带电粒子束，在第一模式中束被散焦，而在第二模式中束被聚焦在样本的表面上。
用于带电粒子浸没增强电压对比缺陷信号系统方法

[发明专利]带电粒子工具、校准方法、检查方法-CN202180090368.X在审
发明人： E·斯洛特;A·V·G·曼格努斯;E·P·斯马克曼;任岩;M·斯科特兹 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2021-11-09 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： H01J37/304 文献下载
摘要：一种带电粒子工具被配置为从带电粒子束生成多个子束，并且将子束向束下游引导向样品(600)位置，该工具、即带电粒子工具包括至少三个带电粒子光学组件(201、111、235、234)；检测器模块(240)；检测器模块被配置为响应于从样品位置的方向向束上游传播的带电粒子而生成检测信号。控制器被配置为在校准模式下操作该工具。带电粒子光学组件包括被配置为发射带电粒子束的带电粒子源201、以及被配置为生成子束的束生成器(111)。检测信号包含关于带电粒子光学组件中的至少两个带电粒子光学组件的对准的信息。带电粒子光学组件包括两个或更多个带电粒子光学元件，该两个或更多个带电粒子光学元件包括可以监测带电粒子的孔径阵列。
带电粒子工具校准方法检查

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