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- [发明专利]一种尾气回收系统-CN201510325792.4有效
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夏祥剑;黄彬;叶冬梅;张凯兴;王瑞聪
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新特能源股份有限公司
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2015-06-12
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2019-05-17
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B01D53/00
- 本发明提供一种尾气回收系统,用于回收来自上游工序的尾气,尾气包括氢气、氯化氢气体和氯硅烷气体,尾气回收系统包括尾气冷凝器、尾气分离单元、吸收塔、解析塔和吸收液冷凝器,其中吸收塔的底部输出的含有氯化氢的低温氯硅烷富液被分成两部分,其中第一部分含有氯化氢的低温氯硅烷富液与解析塔的底部输出的氯硅烷贫液混合后进入吸收液冷凝器,经过吸收液冷凝器的冷凝处理后进入吸收塔;其中第二部分含有氯化氢的低温氯硅烷富液与尾气分离单元分离出来的低温氯硅烷液体混合后进入解析塔,以实现吸收塔的底部输出的含有氯化氢的低温氯硅烷富液的部分自循环。本发明所述尾气回收系统既能实现低耗能又能减少氟利昂的用量,从而降低氟利昂泄露的风险。
- 一种尾气回收系统
- [实用新型]酸性蚀刻废液电化学处理中尾气处理系统-CN201620304314.5有效
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黄春娥
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无锡工艺职业技术学院
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2016-04-13
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2016-08-24
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B01D53/78
- 酸性蚀刻废液电化学处理中尾气处理系统,包括两个吸收槽,尾气及吸收剂氢氧化钠溶液均通入两个吸收槽,通过控制阀控制一个吸收槽通入尾气,一个不通入尾气,在吸收槽内制成漂白水,吸收槽排出尾气进入液碱吸收塔吸收处理,根据吸收槽内漂白水的饱和度来决定该吸收槽是否停止工作,将停止工作后的吸收槽内的液体泵入漂白水储罐,同时,另一个吸收槽开始通入尾气进行吸收作业。本实用新型通过两个吸收槽的并联设置和各吸收槽与液碱吸收塔的串联设置,通过工作状态下吸收槽内混合溶液的饱和度,使两个吸收槽更替作业,能对尾气进行连续不间断的吸收处理,确保尾气吸收效果,尾气吸收剂和生成物均为液体
- 酸性蚀刻废液电化学处理尾气系统
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