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[发明专利]多晶硅还原尾气中二氯二氢硅的回收方法和回收装置-CN201810187933.4有效
发明人：叶冬梅;张凯兴;夏祥剑;胡启红;刘帅;李禄元;倪志伟;米军 -专利权人：新特能源股份有限公司
申请日： 2018-03-07 - 公布日： 2021-05-11 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：本发明提供一种多晶硅还原尾气中二氯二氢硅的回收方法，包括：对还原尾气进行低压冷凝处理，以将还原尾气中的氯硅烷完全冷凝下来，从而分离出气相的氢气、氯化氢和微量杂质及液相氯硅烷；利用吸收液对气相的氢气、氯化氢和微量杂质进行吸收处理，以吸收其中的氯化氢和微量杂质，从而分离出氢气并送往多晶硅生产工序，而吸收了氯化氢和微量杂质的吸收液作为富液氯硅烷与液相氯硅烷混合后形成氯硅烷混合液；对氯硅烷混合液逐步进行分离处理，以逐步分离出液相四氯化硅、液相三氯氢硅、液相二氯二氢硅和气相氯化氢，液相四氯化硅中的至少一部分用作吸收液。相应地，提供一种回收装置。本发明能够有效提高回收氢气的品质，降低系统能耗和蒸汽消耗。
多晶还原尾气中二氯二氢硅回收方法装置

[发明专利]多晶硅还原尾气回收方法及回收系统-CN201610368426.1有效
发明人：刘帅;何超;夏祥剑;张凯兴;叶冬梅;王燕飞 -专利权人：新特能源股份有限公司
申请日： 2016-05-30 - 公布日： 2019-12-13 - 主分类号： C01B3/50 文献下载
摘要：本发明提供一种多晶硅还原尾气回收方法，包括：使还原尾气依次经过多级冷却处理，以输出气液混合物；对所述气液混合物进行气液分离处理，并利用分离出的混合气的冷量对还原尾气进行冷却处理；在氯化氢吸收塔中利用塔内自上而下的含有少量氯化氢的液相氯硅烷对冷量已被利用的混合气中的氯化氢进行吸收处理；在氯化氢解析塔中对氯化氢吸收塔塔釜输出的富含氯化氢的液相氯硅烷进行解析处理；利用氯化氢吸收塔塔釜输出的富含氯化氢的液相氯硅烷的冷量对氯化氢解析塔塔釜输出的含有少量氯化氢的液相氯硅烷进行冷却处理。相应地，提供一种多晶硅还原尾气回收系统。本发明综合利用了内部流股的冷、热量，公用工程冷量消耗少，降低了生产成本。
多晶还原尾气回收方法系统

[发明专利]电加热吸附柱及其温度控制系统-CN201810185909.7在审
发明人： 夏祥剑;刘帅;王燕飞;李禄元;倪志伟;何佳;胡启红;叶冬梅 -专利权人：新特能源股份有限公司
申请日： 2018-03-07 - 公布日： 2019-09-17 - 主分类号： B01D53/04 文献下载
摘要：本发明提供一种电加热吸附柱，其包括采用中空结构的吸附柱本体，吸附柱本体的整个外表面被划分为多个区域，每个区域内均设置有一组至少部分覆盖该区域的电加热元件，每组电加热元件均通过一组连接件连接至位于吸附柱本体内部的一组传热管，各组电加热元件用于吸附柱再生时加热，各组传热管用于将各组电加热元件产生的热量均匀地传递至吸附柱本体内部。相应地，提供一种前述电加热吸附柱的温度控制系统。本发明所述电加热吸附柱能够避免现有内外盘管式吸附柱存在的泄漏不易及时发现、投资成本高等问题。
吸附柱电加热元件电加热温度控制系统热量均匀中空结构传热传热管内外盘组连接管式加热泄漏再生传递覆盖发现投资

[发明专利]一种尾气回收系统-CN201510325792.4有效
发明人： 夏祥剑;黄彬;叶冬梅;张凯兴;王瑞聪 -专利权人：新特能源股份有限公司
申请日： 2015-06-12 - 公布日： 2019-05-17 - 主分类号： B01D53/00 文献下载
摘要：本发明提供一种尾气回收系统，用于回收来自上游工序的尾气，尾气包括氢气、氯化氢气体和氯硅烷气体，尾气回收系统包括尾气冷凝器、尾气分离单元、吸收塔、解析塔和吸收液冷凝器，其中吸收塔的底部输出的含有氯化氢的低温氯硅烷富液被分成两部分，其中第一部分含有氯化氢的低温氯硅烷富液与解析塔的底部输出的氯硅烷贫液混合后进入吸收液冷凝器，经过吸收液冷凝器的冷凝处理后进入吸收塔；其中第二部分含有氯化氢的低温氯硅烷富液与尾气分离单元分离出来的低温氯硅烷液体混合后进入解析塔，以实现吸收塔的底部输出的含有氯化氢的低温氯硅烷富液的部分自循环。本发明所述尾气回收系统既能实现低耗能又能减少氟利昂的用量，从而降低氟利昂泄露的风险。
一种尾气回收系统

[发明专利]太阳能级多晶硅和电子级多晶硅联产的方法和系统-CN201710756829.8在审
发明人：相文强;宋高杰;侯雨;张伟;夏祥剑;孙荣义;陈朝霞;王惠 -专利权人：新特能源股份有限公司
申请日： 2017-08-29 - 公布日： 2019-03-05 - 主分类号： C01B33/03 文献下载
摘要：本发明公开了一种太阳能级多晶硅和电子级多晶硅联产的方法和系统，1)将生产太阳能级多晶硅的尾气与生产电子级多晶硅的尾气混合通过尾气分离得到分离开的粗制氢气、粗制氯硅烷；2)通过氢气初级提纯得到太阳能级氢气；通过氯硅烷初级提纯得到太阳能级氯硅烷；3)将部分太阳能级氢气用来作为生产太阳能级多晶硅的原料，其余部分通过氢气中级提纯得到电子级氢气；将部分太阳能级氯硅烷用来作为生产太阳能级多晶硅的原料，其余部分通过氯硅烷中级提纯得到电子级氯硅烷；4)生产太阳能级多晶硅；生产电子级多晶硅。实现单套系统具备同时进行太阳能级多晶硅和电子级多晶硅的生产能力，在不进行电子级多晶硅生产期间仍可以生产太阳能级多晶硅。
太阳能级多晶硅电子级多晶硅氢气氯硅烷太阳能级生产尾气初级提纯电子级提纯粗制联产生产期间生产能力

[发明专利]多晶硅尾气回收方法及装置-CN201410102461.X有效
发明人：叶冬梅;陈朝霞;张凯兴;夏祥剑 -专利权人：新特能源股份有限公司
申请日： 2014-03-19 - 公布日： 2017-02-15 - 主分类号： B01D53/00 文献下载
摘要：本发明提供一种多晶硅尾气回收方法以及装置，该方法包括对多晶硅尾气进行冷凝，以将其中的氯硅烷冷凝成液态，并将液态氯硅烷与多晶硅尾气中的第一混合气分离；对第一混合气升压，将升压后的第一混合气与液态氯硅烷进行气液换热；气液换热后的液态氯硅烷进入解析塔解析出氯化氢，液态氯硅烷再进入吸收塔中吸收第一混合气中的氯化氢；经气液换热后的第一混合气与从吸收塔出来的第二混合气进行气气换热；气气换热后的第一混合气和第二混合气分别进入吸收塔和吸附塔中，当第二混合气中残余的气态氯化氢和氯硅烷滤除后，得到纯净的氢气。本发明能够有效降低进入吸收塔的气态氢气、氯化氢的温度，从而提高吸收塔的吸收效果，有效提高回收氢气的纯度。
多晶尾气回收方法装置

[实用新型]一种尾气回收装置清洗系统-CN201420425763.6有效
发明人：万宁宁;叶冬梅;夏祥剑;张凯兴 -专利权人：新特能源股份有限公司
申请日： 2014-07-30 - 公布日： 2014-12-31 - 主分类号： B01D53/18 文献下载
摘要：本实用新型提供一种尾气回收装置清洗系统，包括换热器、吸收塔和解析塔，换热器分别与吸收塔和解析塔相连，吸收塔与解析塔相连，合成尾气输送管线与换热器相连，用于向换热器输送包含有氯硅烷的合成尾气，该系统还包括流体输送装置，流体输送装置分别与解析塔、吸收塔和换热器相连，用于将从解析塔输送出的氯硅烷输送至吸收塔和换热器，以利用氯硅烷溶解吸收塔和换热器内附着的高沸化合物，高温氯硅烷能够再次回收至解析塔，实现循环利用，无需拆开设备管线，即可在线消除尾气回收装置中淤积的高沸化合物、硅粉尘和金属颗粒，保证生产的连续稳定，提高安全性、延长设备使用寿命，解决检维修后多晶硅产品质量长期下滑等问题，降低人工作业强度。
一种尾气回收装置清洗系统

[实用新型]一种尾气回收系统-CN201420388059.8有效
发明人：叶冬梅;张吉武;张彦军;张凯兴;夏祥剑 -专利权人：新特能源股份有限公司
申请日： 2014-07-14 - 公布日： 2014-11-26 - 主分类号： F04D29/06 文献下载
摘要：本实用新型提供一种尾气回收系统，包括屏蔽泵，屏蔽泵包括屏蔽泵本体和用于为屏蔽泵本体提供动力的屏蔽泵驱动装置，所述系统还包括用于向屏蔽泵驱动装置输送不含颗粒杂质的润滑液供给装置，润滑液供给装置与设置于屏蔽泵驱动装置的一端的屏蔽泵第一入口相连，屏蔽泵驱动装置能够利用润滑液供给装置输送的润滑液润滑并降温，并将所述润滑液从屏蔽泵驱动装置的另一端输送至屏蔽泵本体；屏蔽泵本体能够输出屏蔽泵驱动装置输送的润滑液，不再将反应尾气中的氯硅烷作为润滑介质输送至屏蔽泵驱动装置，从而避免了氯硅烷中含有的固体硅粉颗粒对轴承产生磨损，降低屏蔽泵故障发生率，延长屏蔽泵的使用寿命，提高屏蔽泵的可靠性。
一种尾气回收系统

[发明专利]一种电子级多晶硅生产中回收氢气的净化处理工艺-CN201310569193.8有效
发明人：张伟;银波;陈喜清;张凯兴;夏祥剑 -专利权人：新特能源股份有限公司
申请日： 2013-11-15 - 公布日： 2014-02-19 - 主分类号： C01B3/50 文献下载
摘要：本发明涉及气体分离净化工程领域，在电子级多晶硅生产中对回收氢气的净化，采用活性炭吸附，但氢气中的BCl3、硼烷、磷烷、PCl5、POCl3等杂质含量无法有效降低，影响了电子级多晶硅的生产，本发明提供的净化方案包括将回收氢气预冷，再冷，使氢气温度降到0℃以下，然后进入改性氧化铝吸附器进行吸附杂质，再经过滤器过过滤，使氢气纯度达到99.999%（V/V），达到生产电子级多晶硅的需要，本发明还具有工艺简单，易于操作，净化效果明显等有益效果。
一种电子多晶生产回收氢气净化处理工艺

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