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[发明专利]射频电源-CN201710798722.X有效
发明人：王宏根;廖传飞;凌强强 -专利权人：武汉驭波科技有限公司
申请日： 2017-09-07 - 公布日： 2018-12-28 - 主分类号： G05F1/56 文献下载
摘要：本发明创造公开了一种射频电源，包括：供电模块、处理模块以及四个输出模块；供电模块包括：供电接头、第一供电模块以及第二供电模块；输出模块包括：控制模块、十进制计数器、升压变压器以及一对输出子模块，控制模块本发明创造结构简单，使用方便，利用四个输出模块各自一对输出子模块组成稳定的射频电源。
射频电源

[实用新型]射频电源-CN201620788504.9有效
发明人：冯兴建 -专利权人：深圳市大公检测技术有限公司
申请日： 2016-07-25 - 公布日： 2017-02-22 - 主分类号： H01J49/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电感耦合等离子体质谱仪及其射频电源，解决了功率放大器输出功率精度低的问题，其技术方案要点是包括射频信号发生器、射频功率放大器和谐振电路，射频功率放大器包括第一功率放大电路，耦接于射频信号发生器接收射频信号并线性放大射频信号的射频功率第一功率放大电路对射频信号发生器输出的射频信号进行线性放大，使射频信号放大的射频频率失真低，但线性放大的程度小，第二功率放大电路再对线性放大的射频信号进行放大，提高射频信号的输出功率和效率，使射频信号输出更稳定
射频电源

[实用新型]射频电源-CN202123384296.6有效
发明人：姚志毅;唐亚海;张桂东 -专利权人：深圳市恒运昌真空技术有限公司
申请日： 2021-12-29 - 公布日： 2022-06-17 - 主分类号： H02M1/00 文献下载
摘要：本申请提供一种射频电源，包括电源本体以及与电源本体输出端连接的检测模块，检测模块包括与电源本体连接的输出电缆以及与输出电缆连接的电流检测元件和电压检测元件；电流检测元件用于检测输出电缆的电流；电压检测元件该射频电源通过箝在电源本体上设置具有电流检测元件和电压检测元件实现合并了电流和电压检测，使得检测的电流和电压无延时，采集数据时间的一致性上得到保证，确保得到射频电源输出功率的精度和可靠性。检测模块电路简化，使得该射频电源模块小型化，解决现有电源的电流和电压分别采用两个对应传感器采集，存在采集的电压、电流数据响应时间不同，得到电源输出功率值的精度低和可靠性差的问题。
射频电源

[实用新型]射频电源-CN202122906868.6有效
发明人：梁永生;丁毅;陈飞;雷晓兵 -专利权人：深圳半岛医疗有限公司
申请日： 2021-11-24 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： H05K7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开一种射频电源，射频电源包括箱体、散热件以及第一风扇，使散热件两端的与箱体的围板以及底板连接，散热件的对接部与射频电源内部的发热器件对接，用于将发热器件产生的热量传导至底板及围板，加快发热器件及射频电源内部的散热
射频电源

[外观设计]射频电源-CN201730077248.2有效
发明人：王衡;刘知华 -专利权人：中山市凯美电子有限公司
申请日： 2017-03-16 - 公布日： 2017-09-22 - 主分类号： 13-02 文献下载
摘要：1．本外观设计产品的名称射频电源。2．本外观设计产品的用途本外观设计产品用于射频功率发生输出及调节。3．本外观设计产品的设计要点产品的按键、接口位置布置。
射频电源

[外观设计]射频电源-CN202230521516.6有效
发明人：郭威位;林梦溪;张军 -专利权人：上海联影医疗科技股份有限公司
申请日： 2022-08-10 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： 13-02 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：射频电源。2.本外观设计产品的用途：用于为医疗设备和其他使用射频电流的设备供电。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。
射频电源

[实用新型]一种等离子射频电源-CN202223115083.8有效
发明人：陈晓东 -专利权人：常州鑫立离子技术有限公司
申请日： 2022-11-23 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H05K5/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及电子仪器技术领域，且公开了一种等离子射频电源，包括射频电源装置，射频电源装置呈矩形盒状，射频电源装置的正面固定安装有射频电源安装面板，射频电源安装面板呈矩形，射频电源装置的顶部中端固定安装有射频电源可充电电池仓，射频电源可充电电池仓呈矩形盒状，射频电源可充电电池仓的顶部固定安装有射频输出盒，射频输出盒呈矩形盒状，射频电源安装面板的正面右侧固定安装有第一提手，通过设置了射频电源可充电电池仓，射频电源可充电电池仓能够加大整个射频电源装置的功率，使射频电源装置的功率得到提升，从而提高了射频电源装置的阅读距离，还提高了射频电源装置适应物体运动的速度，使其能够适用于各种领域。
一种等离子射频电源

[实用新型]一种高速扫频射频电源快速安装机构-CN202221876886.2有效
发明人：李树瑜;李晓静;张光勋 -专利权人：天津吉兆源科技有限公司
申请日： 2022-07-21 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： H05K5/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种高速扫频射频电源快速安装机构，尤其涉及射频电源领域。以解决高速扫频射频电源快速安装机构需要用力将射频电源推入到安装机构内安装，增加了人员对射频电源安装的工作的消耗力，且射频电源推到安装机构内后，射频电源容易在安装机构内部造成滑动现象，耽误人员对射频电源的安装效率的问题，包括：安装架，安装架的中部设置有射频电源。与原有安装方式相比，将射频电源放在该机构处的滚轮上，可以轻松的将射频电源进行带入，减少人员对射频电源的推入消耗力，且将射频电源推入到该机构内后，可以将滚轮缩回，射频电源的后侧会与磁块相吸，防止射频电源在该机构内容易出现位置移动
一种高速射频电源快速安装机构

[实用新型]一种射频电源切换装置-CN201921893495.X有效
发明人：姜寰 -专利权人：沈阳中科汉达科技有限公司
申请日： 2019-11-05 - 公布日： 2020-06-05 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种射频电源切换装置，涉及射频电源技术领域。本实用新型包括：射频电源；射频电源上设置有射频输入端、第一射频输出端以及第二射频输出端；射频电源上还设置有位置切换开关；第一射频输出端与第二射频输出端并联；位置切换开关切换到第一射频档位时，射频电源与第一射频输出端连通；位置切换开关切换到第二射频档位时，射频电源与第二射频输出端连通。本实用新型通过位置切换开关切换射频电源分别与第一射频输出端、第二射频输出端连接；实现同一射频电源通过位置切换开关切换为不同的磁控溅射镀膜设备供电，降低成本；同时避免拆卸线缆，便于操作，适用性强。
一种射频电源切换装置

[发明专利]一种功率放大器电源选择电路及射频电路-CN202211424820.4在审
发明人：王勇;程黎辉;关亚东 -专利权人：合肥龙旗智能科技有限公司
申请日： 2022-11-14 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： H04B1/40 文献下载
摘要：本发明揭示了一种功率放大器电源选择电路及射频电路，包括：系统电源、射频电源、第一负载开关、第二负载开关、CPU、射频电路和射频功率放大器；系统电源通过第一负载开关连接射频功率放大器；射频电源通过第二负载开关连接射频功率放大器；CPU连接第一负载开关和第二负载开关，射频电路连接CPU和射频功率放大器；CPU根据射频电路和射频电源之间的信号反馈，控制第一负载开关和第二负载开关的通断，选择系统电源或者射频电源为射频功率放大器供电本发明利用所述第一负载开关以及所述第二负载开关选择系统电源或射频电源为射频功率放大器供电，使系统电源也能够直接为射频功率放大器供电，便可减少射频供电模块数量，缩小主板面积，减少硬件成本。
一种功率放大器电源选择电路射频

[发明专利]电感耦合等离子体处理系统及处理方法-CN201510253317.0有效
发明人：罗伟义;刘骁兵;倪图强 -专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
申请日： 2015-05-18 - 公布日： 2018-10-16 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供了一种电感耦合等离子体的处理系统，其包括射频电源系统，所述射频电源系统包括源射频电源系统和偏置射频电源系统，所述源射频电源系统包括源射频电源和源匹配网络，所述偏置射频电源系统包括偏置射频电源和偏置匹配网络，其中，所述源射频电源为固定频率的电源，所述偏置射频电源为调频电源，所述源匹配网络为自动匹配网络，所述偏置匹配网络为具有宽频带工作的固定匹配网络。本发明提供的电感耦合等离子体处理系统能够实现射频电源和等离子体之间的阻抗快速准确地匹配。此外，本发明还提供了一种电感耦合等离子体的处理方法。
电感耦合等离子体处理系统方法

[发明专利]自动频率调谐源和偏置射频电源的电感耦合等离子处理室-CN201210175897.2有效
发明人：罗伟义;许颂临;倪图强 -专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
申请日： 2012-05-31 - 公布日： 2013-12-18 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明公开一种自动频率调谐源和偏置射频电源的电感耦合等离子处理室，其包含：处理室，其内腔底部设有阴极，其顶部上设有若干源线圈；源射频电源，其电路连接源线圈；偏置射频电源，其电路连接阴极；源射频电源和偏置射频电源可自动频率调谐，响应并匹配负载阻抗的变化；源射频电源与源线圈之间电路连接有匹配电路；偏置射频电源与阴极之间电路连接有匹配电路；匹配电路固定；处理室包含：检测负载阻抗的检测电路和电路连接检测电路的控制电路；源射频电源和偏置射频电源分别对应电路连接有控制电路本发明中源射频电源和偏置射频电源具有自动频率调谐功能，通过扫频电调输入处理室的源射频电源和偏置射频电源，调谐速度快，调谐范围大。
自动频率调谐偏置射频电源电感耦合等离子处理

[实用新型]一种RF射频电源过温保护装置-CN202021752745.0有效
发明人：吴海荣 -专利权人：苏州普业仪器有限公司
申请日： 2020-08-20 - 公布日： 2021-04-06 - 主分类号： H05K7/20 文献下载
摘要：本实用新型属于RF射频电源技术领域，公开了一种RF射频电源过温保护装置，包括RF射频电源散热块，所述RF射频电源散热块置于RF射频电源上，所述RF射频电源散热块内设置有温度传感器，所述温度传感器通过导线电性连接有温控系统本方案通过将温度传感器内置于RF射频电源散热块内，通过检测RF射频电源散热块的温度，并通过温控系统的配合，间接监控RF电源的工作状态，从而实现对RF射频电源的过温保护。
一种 rf 射频电源保护装置

[发明专利]一种射频电源、射频电源的叠层控制环路-CN202311027227.0在审
发明人：唐亚海;林伟群;林桂浩;乐卫平 -专利权人：深圳市恒运昌真空技术有限公司
申请日： 2023-08-16 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明涉及一种射频电源、射频电源的叠层控制环路，属于射频电源控制技术领域，解决了现有射频等离子体电源系统的功率控制具有较长的延滞性的问题。一种射频电源，所述射频电源的功率输出端连接至匹配器的功率输入端；所述射频电源基于射频电源的功率输出端的第一电信号、匹配器的功率输出端的第二电信号以及腔室负载的电信号参考值，调整射频电源的输出功率；并将调整后的射频电源的输出功率发送至所述匹配器的功率输入端
一种射频电源控制环路

[发明专利]等离子体刻蚀设备及刻蚀方法-CN201310222055.2有效
发明人：倪图强;叶如彬;吴世鎭 -专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
申请日： 2013-06-05 - 公布日： 2013-09-11 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种等离子体刻蚀设备及刻蚀方法，其中等离子体刻蚀设备包括：刻蚀腔室；第一射频电源，所述第一射频电源提供2MHz至120MHz的射频功率；第二射频电源，所述第二射频电源提供2MHz至40MHz的射频功率；电源脉冲控制器，所述电源脉冲控制器控制第一射频电源和/或第二射频电源的脉冲，使得所述第一射频电源的脉冲频率大于1000Hz和/或所述第二射频电源的脉冲频率小于1000Hz。
等离子体刻蚀设备方法

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