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[实用新型]光电阴极及X射线诊断系统-CN201820409282.4有效
发明人：王瑜英;曹柱荣;高聪;徐习斌;高扬;王雪敏;王建军;景峰 -专利权人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
申请日： 2018-03-23 - 公布日： 2018-11-30 - 主分类号： H01J1/34 文献下载
摘要：本实用新型实施例提供一种光电阴极及X射线诊断系统。光电阴极包括X射线多层反射膜及设置在X射线多层反射膜表面上的金。X射线多层反射膜作为光电阴极的基底，金为纳米结构。X射线多层反射膜用于将入射至X射线多层反射膜表面上的X射线进行反射。金用于在X射线入射至金的表面后产生光电子，以进行X射线的诊断。其中，入射至金的表面的X射线包括光源直接射出的X射线及X射线多层反射膜反射的X射线。所述光电阴极的光电子产额高，稳定性好且环境适应性强。
多层反射膜光电阴极入射光电子反射本实用新型环境适应性纳米结构基底射出光源诊断

[发明专利]一种光电子注入型X射线探测器件及其制备方法-CN201811094472.2有效
发明人：王凯;徐杨兵;陈军 -专利权人：中山大学
申请日： 2018-09-19 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： H01L31/115 文献下载
摘要：本发明公开了一种光电子注入型X射线探测器件，包括衬底、栅电极、栅绝缘层、沟道半导体层、源电极、漏电极、源电极隔离层、漏电极隔离层、X射线光电导层、上电极及保护层，所述上电极与X射线光电导层的接触为欧姆接触或肖特基接触本发明还公开了该光电子注入型X射线探测器的制备方法。本发明的光电子注入型X射线探测器件通过采用纵向堆叠的器件结构设计，采用高迁移率沟道半导体材料和高灵敏度X射线光电导材料，能够实现高灵敏度快速X射线探测，该器件同时具有传感器、放大器和开关的功能，将其应用于X射线探测和成像中能够有效提高平板X探测器的响应速度和灵敏性，实现快速高分辨率X射线成像。
一种光电子注入射线探测器件及其制备方法

[发明专利]检测X射线光电子能谱仪稳定性的方法-CN202010160621.1有效
发明人：陆朋朋 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2020-03-10 - 公布日： 2022-03-22 - 主分类号： G01N23/2273 文献下载
摘要：本发明涉及一种检测X射线光电子能谱仪稳定性的方法，包括获取表面形成有氮氧化硅薄膜的校准片对应的氧氮含量的比率的第一上限值和第一下限值，氧氮含量的比率是指校准片对应的氧含量和氮含量之和与氮氧化硅薄膜厚度的比值；使用所述光电子能谱仪对校准片进行测量，获取氧氮含量的比率的第一测试值；当第一测试值在第一上限值和第一下限值之间时，使用X射线光电子能谱仪获取的制程监控片的氮含量的值在正常波动范围内，认为该光电子能谱仪能准确测试出制程监控片的氮含量，进而判定光电子能谱仪处于稳定状态，能够排除校准片的氮氧化硅薄膜被进一步氧化带来的干扰，避免了因X射线光电子能谱仪测试异常引起的生产失误，降低了生产成本。
检测射线光电子能谱仪稳定性方法

[发明专利]一种近常压电子产额模式X射线吸收谱装置及采集方法-CN202010579140.4有效
发明人：章辉;李小宝;汪威;刘志 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2020-06-23 - 公布日： 2021-07-09 - 主分类号： G01N23/2273 文献下载
摘要：本发明涉及一种近常压电子产额模式X射线吸收谱装置，包括：单色器、光强监测机构、光电子能谱装置和近常压气室，所述近常压气室内设置有用于放置待测样品的固定支撑结构，所述固定支撑结构连接有接地的第一电流检测装置；控制分析模块分别与单色器、光强监测机构、光电子能谱装置、第一电流检测装置和第二电流检测装置相连，用于控制单色器，并根据采集到的X射线单色入射光的光强度信号、第一出射光电子信号和第二出射光电子信号进行处理分析，并根据分析结果输出所需电子产额模式的X射线吸收谱图。
一种常压电子模式射线吸收装置采集方法

[发明专利]阿秒X-射线脉冲强度和啁啾时间分布的测量方法及应用-CN201110451978.6无效
发明人：葛愉成 -专利权人：北京大学
申请日： 2011-12-29 - 公布日： 2012-06-20 - 主分类号： G01J11/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种同时确定阿秒X-射线脉冲强度和啁啾时间分布的测量方法及应用。本发明的方法利用参数化的计算公式从两种不同激光强度下测量得到的光电子能谱确定每个测量得到的光电子的相关激光相位，利用光电子能谱变换方程解析性的解谱技术，重建脉冲的形状和具体的时间结构，包括脉冲的强度和啁啾时间分布本发明的方法不需要大量的光电子能谱的时间分辨测量，也不需要冗长的迭代计算和实验数据拟合过程，能从两个测量得到的光电子能谱重建出阿秒X-射线脉冲的时域特性。本发明的测量结果作为参考数据用于研究、分析、评估、优化阿秒X-射线脉冲光源的技术参数和性能指标，以及研究、分析超快速反应动力学过程中随时间变化的相关信息。
射线脉冲强度啁啾时间分布测量方法应用

[发明专利]覆金属箔层压板、布线板、带树脂的金属箔、以及树脂组合物-CN201980064338.4有效
发明人：有泽达也;山口峻;佐藤文则;入船晃;西野充修 -专利权人：松下知识产权经营株式会社
申请日： 2019-09-27 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： B32B15/08 文献下载
摘要：本发明一个方面涉及覆金属箔层压板，其具备绝缘层、及与所述绝缘层的至少一侧表面接触的金属箔，其中，所述绝缘层包含树脂组合物的固化物，所述树脂组合物含有聚苯醚化合物，所述金属箔是如下的金属箔：在与所述绝缘层接触一侧的表面中，由X射线光电子能谱测得的第一镍元素量相对于由X射线光电子能谱测得的全部元素量为4.5原子％以下；并且，在以SiO2换算计为3nm/分钟的速度的条件下，对与所述绝缘层接触一侧的表面进行了1分钟溅射时，在该表面中，由X射线光电子能谱测得的第二镍元素量相对于由X射线光电子能谱测得的全部元素量为4.5原子％以下。
金属层压板布线树脂以及组合

[发明专利]一种准原位光电子能谱测试装置及其测试方法-CN202110773779.0有效
发明人：杨帆;倪兴明;隆柳柳;程佩红 -专利权人：上海科技大学
申请日： 2021-07-08 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： G01N23/2273 文献下载
摘要：本发明涉及一种准原位光电子能谱测试装置及其测试方法，在无氧反应腔体内进行无氧电催化后的电极被提取安装到样品托上，后密闭转移仓主腔，样品便携式转移仓连接样品制备仓后，通过螺旋推进杆密闭和打开将电极样品从便携式转移仓转移至样品制备仓，X射线光电子能谱分析腔体与样品制备仓连接相通，在X射线光电子能谱分析腔体内进行封闭测试。装置和测试方法可以实现电化学电极在进行电化学反应后进行化学价态测试，能后隔绝大气中的氧气以及水汽的影响，避免对电极价态产生影响，从而解决了电化学反应电极测试X射线光电子能谱由于氧气影响而不能反应真实测试条件的问题
一种原位光电子测试装置及其方法

[发明专利]一种材料表面及体相测试的联用装置-CN202310887808.5在审
发明人：刘天慧;李海菁;杨纯臻;舒淼;林晓胜;王苗苗;王旭 -专利权人：深圳综合粒子设施研究院
申请日： 2023-07-18 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G01N23/2273 文献下载
摘要：本发明公开了一种材料表面及体相测试的联用装置，属于材料分析测试技术领域，为了研究分析锂离子电池多层结构的表面及体相结构的微观粒子活动，所述材料表面及体相测试的联用装置包括硬X射线光电子能谱仪(1)和X射线拉曼散射光谱仪(2)，当入射硬X射线(31)掠入射位于样品点(4)的样品(41)时能够激发出电子和散射出光子，硬X射线光电子能谱仪(1)能够检测所述电子，X射线拉曼散射光谱仪(2)能够检测所述光子。所述材料表面及体相测试的联用装置基于同步辐射光源设施上，将硬X射线光电子能谱与硬X射线拉曼散射技术联合应用于锂离子电池测试上，具体结构简单的优点，可对锂离子电池进行表层和体相结构的同步分析。
一种材料表面测试联用装置

[发明专利]掩模坯料、相移掩模及半导体器件的制造方法-CN201980014769.X有效
发明人：前田仁;大久保亮;堀込康隆 -专利权人： HOYA株式会社
申请日： 2019-01-08 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： G03F1/32 文献下载
摘要：本发明涉及一种掩模坯料，在其透光性基板上具备的相移膜至少包含含氮层和含氧层，含氮层由氮化硅类材料形成，含氧层由氧化硅类材料形成，对含氮层进行X射线光电子能谱分析，获得Si2p窄谱的光电子强度的最大峰PSi_f，并对透光性基板进行X射线光电子能谱分析，获得Si2p窄谱的光电子强度的最大峰PSi_s时，用含氮层中的最大峰PSi_f除以透光性基板中的最大峰PSi_s而得到的数值(PSi_f)/(PSi_s)为1.09
坯料相移半导体器件制造方法

[发明专利]光照-X射线光电子能谱同步分析测试装置-CN201510833493.1在审
发明人：刘佳梅;毕迎普;焦正波;杨培菊;黄晓卷;任伟;牛建中 -专利权人：中国科学院兰州化学物理研究所
申请日： 2015-11-25 - 公布日： 2016-01-20 - 主分类号： G01N23/227 文献下载
摘要：本发明公开了一种光照-X射线光电子能谱同步分析测试装置，该装置包括置于真空腔室内的X射线源、电子传输透镜、电子能量分析器和检测器，该装置还包括外载光源，该外载光源包括光源探头、光源发生器和光源控制器；光源发生器置于真空腔室的外部本发明在目前的X射线光电子能谱技术上增加一种外载光源，实现了外载光源及X射线同步照射材料表面进行物性分析，扩展了X射线光电子能谱表征分析技术应用范围，进而可以准确研究材料内部的物理性质。
光照射线光电子同步分析测试装置

[实用新型]光照-X射线光电子能谱同步分析测试装置-CN201520953338.9有效
发明人：刘佳梅;毕迎普;焦正波;黄晓卷;杨培菊;任伟;牛建中 -专利权人：中国科学院兰州化学物理研究所
申请日： 2015-11-25 - 公布日： 2016-04-13 - 主分类号： G01N23/227 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光照-X射线光电子能谱同步分析测试装置，该装置包括置于真空腔室内的X射线源、电子传输透镜、电子能量分析器和检测器，该装置还包括外载光源，该外载光源包括光源探头、光源发生器和光源控制器本实用新型在目前的X射线光电子能谱技术上增加一种外载光源，实现了外载光源及X射线同步照射材料表面进行物性分析，扩展了X射线光电子能谱表征分析技术应用范围，进而可以准确研究材料内部的物理性质。
光照射线光电子同步分析测试装置

[发明专利]抑制光电子发射的结构设计方法-CN201810075738.2在审
发明人：王艳;曾超;周开明 -专利权人：中国工程物理研究院电子工程研究所
申请日： 2018-01-26 - 公布日： 2018-07-06 - 主分类号： G21F1/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种抑制光电子发射的结构设计方法，在原有结构件的表面涂覆低原子序数材料层。本发明指在原有结构件的表面上镀膜一定厚度的低原子序数材料来抑制光电子发射的结构设计方法，该方法能够非常有效的抑制X射线辐照系统/系统内设备结构件时在其表面发射的光电子数量，从而大幅度降低X射线在系统/设备内部产生的
光电子发射低原子序数材料结构件表面发射表面涂覆辐照系统设备结构设备内部光电子镀膜

[发明专利]一种光电子能谱分析设备及使用该设备的方法-CN200680035806.8有效
发明人： B·W·许勒尔;D·A·雷德 -专利权人：瑞沃瑞公司
申请日： 2006-09-08 - 公布日： 2008-09-24 - 主分类号： G01J3/42 文献下载
摘要：该系统可以包括围绕室的室壁；被设置在所述室中的衬底支架，用于支撑衬底；电磁放射源，用于发射电磁放射线至衬底支架上的衬底上，所述电磁放射线使光电子从所述衬底上的材料被发射出来；分析器，用于捕获从衬底发射出来的光电子；以及磁场发生器，用于在所述室中创建磁场并将所述光电子从所述衬底引到所述分析器。
一种光电子谱分析设备使用方法

[发明专利]一种阿秒X-射线脉冲的测量方法及其应用-CN201110416546.1有效
发明人：葛愉成 -专利权人：北京大学
申请日： 2011-12-14 - 公布日： 2012-07-04 - 主分类号： G01J11/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种阿秒X-射线脉冲的测量方法及其应用。本发明的方法利用参数化的计算公式确定每个测量得到的光电子的相关相位，利用解析性的光电子能谱解谱技术，一步重建脉冲的形状和具体的时间结构。本发明的方法不需要大量的光电子能谱的时间分辨测量，也不需要的冗长的迭代计算和实验数据拟合过程，能从每个测量得到的光电子能谱重建出阿秒X-射线脉冲的时域特性。由于变换方程建立了阿秒脉冲时间特性、重要的激光参数(峰值强度、电场包络形状、相位、载波-包络相位等)、原子或分子的电离能、光电子能谱之间的直接联系，可以用它从各个已知参数值计算出未知的参量。
一种射线脉冲测量方法及其应用

[发明专利]一种用于空间X射线通信的激光调制脉冲X射线源-CN201710078006.4在审
发明人：刘云鹏;杭爽;汤晓斌;李欢 -专利权人：南京航空航天大学
申请日： 2017-02-14 - 公布日： 2017-07-18 - 主分类号： H01J35/02 文献下载
摘要：本发明公开一种用于空间X射线通信的激光调制脉冲X射线源，包括光纤接口、阴极底座、激光调制阴极、聚焦电极、除气装置、真空腔室外壳以及阳极金属靶。激光调制阴极由负阴极亲和势光电阴极、微通道板和阴极外壳组成。基本原理是利用激光激发光电阴极产生光电子，光电子又经微通道板进行倍增，倍增后的电子在真空腔室内经阳极高压和聚焦电极共同作用，产生高速强聚焦的电子束，电子束轰击阳极金属靶并最终产生X射线。由于输入激光具备高重频窄脉宽的特点，通过激光调制脉冲X射线源有效的信号转换，能够使得X射线也具备高重频窄脉宽的特点，并且能够对输入激光脉冲信号进行良好还原，从而实现激光脉冲信号对X射线脉冲信号的调制。
一种用于空间射线通信激光调制脉冲