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- [发明专利]外观检查装置-CN200610066698.2无效
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辻治之;菅义明;内木裕
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奥林巴斯株式会社
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2006-04-19
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2006-11-01
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G01N21/896
- 外观检查装置。本发明的外观检查装置具备:向晶片(13)照射照明光的广域照明部(2)、狭缝照明部(3)、点照明部(4)等照明部;摇动机构(12),其可摇动移动地保持晶片(13);以及控制单元(9),其进行这些照明部以及摇动机构该外观检查装置通过键盘(16)、鼠标(17)等输入检查条件设定值,将它们作为针对各检查工序种类汇总后得到的检查工序设定信息存储于存储部中,通过控制单元(9)中的设定信息选择部选择检查工序设定信息,进行检查
- 外观检查装置
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