[发明专利]外观检查装置有效
| 申请号： | 201680023617.2 | 申请日： | 2016-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN107533015B | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 佐藤敬行 | 申请（专利权）人： | 株式会社V技术 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956;G03F1/84 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华;洪秀川 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种使光掩膜的检查迅速化的技术。在外观检查装置中，透射照明光源照射透射光掩膜的光。反射照明光源在透射照明光源的照射中照射被光掩膜反射的光。物镜将透射过光掩膜的透射光和由光掩膜反射的反射光转换为平行光。分光部将物镜转换了的平行光分离为透射光和反射光。透射光用成像透镜对分光部分离出的透射光进行成像。反射光用成像透镜对分光部分离出的反射光进行成像。拍摄部对透射光用成像透镜成像出的透射光和反射光用成像透镜成像出的反射光进行拍摄。 | ||
| 搜索关键词： | 外观 检查 装置 | ||
【主权项】：
一种外观检查装置，具备：透射照明光源，其照射透射光掩膜的光；反射照明光源，其在所述透射照明光源的照射中照射被所述光掩膜反射的光；物镜，其将透射过所述光掩膜的透射光和由所述光掩膜反射的反射光转换为平行光；分光部，其将所述物镜转换了的平行光分离为透射光和反射光；透射光用成像透镜，其对所述分光部分离出的透射光进行成像；反射光用成像透镜，其对所述分光部分离出的反射光进行成像；以及拍摄部，其对所述透射光用成像透镜成像出的透射光和所述反射光用成像透镜成像出的反射光进行拍摄。
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