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[发明专利]一种汉麻秆生物质石墨烯基硫掺杂氧化锡复合气敏材料的制备方法及应用-CN202010420658.3有效
发明人：阚侃;史克英;李文娜;王珏;马宇良 -专利权人：黑龙江省科学院高技术研究院;黑龙江大学
申请日： 2020-05-18 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：一种汉麻秆生物质石墨烯基硫掺杂氧化锡复合气敏材料的制备方法及应用，本发明涉及一种汉麻秆生物质石墨烯基硫掺杂氧化锡复合气敏材料的制备方法及应用。本发明的目的是为了解决电阻型室温NO2气体传感器灵敏度低、响应速率慢、选择性和稳定性差的问题，本发明方法为：一、采用碳化活化法制备汉麻秆碳模板；二、采用水热法结合高温煅烧法以制备HBG/SnO2复合材料；三、采用化学气相沉积法制备HBG/S‑SnO2复合材料，复合材料用于检测NO2气体传感器灵敏度低、响应速率慢、选择性和稳定性差等关键性问题，作为NO2气敏材料展现出了优异的气敏性能。
一种汉麻秆生物石墨烯基硫掺杂氧化复合材料制备方法应用

[发明专利]一种纳米双晶相氧化铟气敏材料及其制备方法与应用-CN202011055681.3在审
发明人：张文惠;孔蒙;许万银;冯程杰;刘子翔;岳鹿;关荣锋 -专利权人：盐城工学院
申请日： 2020-09-30 - 公布日： 2021-01-29 - 主分类号： C01G15/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种纳米双晶相氧化铟气敏材料及其制备方法与应用，通过可溶性铟盐为原料，以水为溶剂，以柠檬酸三钠作为晶型调节剂和表面活性剂，以尿素作为沉淀剂和pH值调节剂一步水热制备具有双晶相结构的氧化铟纳米材料本发明根据气敏材料的敏感特性，设计制备具有独特双晶相结构而形成的“异相结”的纳米氧化铟，将该材料制备成传感器材料，对乙醇、二甲胺、甲醇气体的具有较高的响应。本发明制备原料便宜，以水为溶剂合成途径环保，操作工艺简单，收率高，材料的气敏性能优异，便于工业化生产。
一种纳米双晶氧化铟气敏材料及其制备方法应用

[发明专利]金掺杂多孔硅/氧化钒纳米棒气敏材料的制备方法-CN201410394351.5有效
发明人：胡明;闫文君;王登峰;魏玉龙;张玮祎 -专利权人：天津大学
申请日： 2014-08-12 - 公布日： 2014-12-03 - 主分类号： G01N27/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种金掺杂多孔硅/氧化钒纳米棒气敏材料的制备方法：首先将p型单面抛光的单晶硅基片清洗干净，采用双槽电化学腐蚀法在其抛光表面制备多孔硅层，再在多孔硅表面溅射形成金属钒薄膜；再将其置于离子溅射仪的真空室中，采用金为靶材，在多孔硅/金属钒薄膜表面沉积金薄膜，溅射电流5mA，溅射时间10s～30s；再于550～650℃热处理，制得金掺杂多孔硅/氧化钒纳米棒气敏材料。本发明的工艺方法简单，重复性好，参数易于控制，在室温下对低浓度二氧化氮气体具有较好的气敏特性。
掺杂多孔氧化纳米棒气敏材料制备方法

[发明专利]多孔硅基二氧化碲纳米棒复合结构气敏传感器元件的制备方法-CN201310365771.6无效
发明人：胡明;武雅乔;韦晓莹;马双云;杜明月 -专利权人：天津大学
申请日： 2013-08-20 - 公布日： 2013-12-04 - 主分类号： G01N27/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种多孔硅基二氧化碲纳米棒复合结构气敏传感器元件的制备方法，采用双槽电化学腐蚀法在p型单面抛光的单晶硅片的抛光表面制备多孔硅层，再利用蒸发法在多孔硅上原位生长二氧化碲纳米棒，制得复合结构的多孔硅基二氧化碲纳米棒提供了一种制备过程简单，易于控制、实现室温下对氮氧化物气体探测，具有高灵敏度等优异气敏特性的新型多孔硅基二氧化碲纳米棒复合结构的气敏传感器元件。
多孔硅基二氧化纳米复合结构传感器元件制备方法

[发明专利]用于室温的超快探测氮氧化物气体的气敏元件的制备方法-CN201310240510.1无效
发明人：胡明;李明达;马双云;闫文君;曾鹏 -专利权人：天津大学
申请日： 2013-06-17 - 公布日： 2013-09-04 - 主分类号： G01N27/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于室温的超快探测氮氧化物气体的气敏元件的制备方法，先将p型单晶硅基片衬底清洗干净，采用双槽电化学腐蚀法在清洗过的单晶硅基片的抛光表面制备多孔硅，再将制得的多孔硅置于超高真空对靶磁控溅射设备的真空室，采用金属铂作为靶材，以氩气作为工作气体，在多孔硅表面沉积一对铂电极，制成氮氧化物气体的气敏元件。本发明的多孔硅兼具高孔隙率和孔道有序化的优点，提供了一种可在室温工作且对ppm级氮氧化物气体实现超快探测的气敏元件的制备方法。
用于室温探测氧化物气体元件制备方法

[实用新型]智能型空气监测报警净化装置-CN02276698.7无效
发明人： -专利权人：
申请日： 2002-09-28 - 公布日： 2003-09-24 - 主分类号： G08B21/12 文献下载
摘要：智能型空气监测报警净化装置，包括排风扇、臭氧发生器、负氧离子发生器，设气敏探头与控制电路连接，控制电路的输出经导线分别与排风扇、臭氧发生器连接。当气敏探头感应外界信号，即产生一个信号，控制电路接收到来自气敏探头的信号后，输出信号控制排风扇、臭氧发生器和负氧离子发生器工作。
智能型空气监测报警净化装置

[发明专利]MEMS气敏元件及模组的陶瓷封装-CN201710955012.3在审
发明人：王利利;高胜国;钟克创;武传伟;王瑞铭;王风鸣 -专利权人：郑州炜盛电子科技有限公司
申请日： 2017-10-14 - 公布日： 2018-02-16 - 主分类号： G01N27/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种MEMS气敏元件及模组的陶瓷封装，其中，MEMS气敏元件包括气敏芯片、陶瓷基座和不锈钢盖板，所述气敏芯片设置在所述陶瓷基座内部，所述不锈钢盖板盖设在陶瓷基座上；所述陶瓷基座包括基座主体和基座焊盘；所述不锈钢盖板上开设有透气孔；所述气敏芯片包括硅基微热板、加热电极、测量电极和气敏料，所述硅基微热板上表面的一端为两个加热电极，所述硅基微热板上表面的另一端为两个测量电极，所述硅基微热板上表面的中部为气敏料
mems 元件模组陶瓷封装

[发明专利]一种MEMS气体敏感结构及其制备工艺方法-CN202011187079.5在审
发明人：刘宇航;汪震海;张晨生;彭渤;许诺 -专利权人：北京机械设备研究所
申请日： 2020-10-29 - 公布日： 2021-03-16 - 主分类号： G01N27/00 文献下载
摘要：一种MEMS气体敏感结构及其制备工艺方法，MEMS气体敏感结构包括衬底、金属电极层和气敏层，金属电极层通过在衬底上经过溅射‑图形化‑腐蚀工艺而形成，气敏层为在金属电极层上通过物理气相沉积(PVD)与溶液滴涂或旋涂工艺制备，并经过图形化后形成气敏材料薄膜，该气敏材料薄膜由过渡金属氧化物薄层和有机高分子薄膜复合形成。本发明的MEMS气体敏感结构基于过渡金属氧化物和高分子有机物复合后形成的薄膜作为气敏层，可在常温条件下实现对多种气体的敏感，相比于传统的金属氧化物气敏材料，可大幅改善其场景可用性，并可降低系统的复杂度，且气敏结构的制备基于标准MEMS工艺，易于实现标准化和批量化。
一种 mems 气体敏感结构及其制备工艺方法

[发明专利]一种基于光激发的气敏传感器、制备方法及应用-CN202210700851.1在审
发明人：王晓夏;曾大文 -专利权人：武汉铂纳智感科技有限公司
申请日： 2022-06-21 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于光激发的气敏传感器，包括轴向上依次层叠设置的基座、绝缘基板、三氧化钨气敏材料层以及测试电极；所述测试电极包括贴设于所述三氧化钨气敏材料层上下端面的正极电极和负极电极，用于通电后测试所述三氧化钨气敏材料层的电信号变化；所述三氧化钨气敏材料层贴设于所述绝缘基板上层，用于在光照激发下与锂离子电池内泄漏的DMC气体和/或EMC气体响应。本发明的基于光激发的气敏传感器，采用光电联合激发气敏传感器作为锂离子电池漏液的检测手段，实现了不用施加加热电压即可检测气体，在室温检测领域具有巨大的潜力，安全性更高，且制作简单，成本低。
一种基于激发传感器制备方法应用

[发明专利]氧化锡-氧化锌复合空心微球气敏传感器件及制备方法-CN201310264387.7有效
发明人：葛美英;尹桂林;姜来新;何丹农 -专利权人：上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司
申请日： 2013-06-28 - 公布日： 2013-10-23 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种氧化锡-氧化锌复合空心微球气敏传感器及其制备方法，氧化锡-氧化锌复合空心微球利用模板法制备，气敏传感器件采用旁热式器件结构，以氧化铝陶瓷管为载体，陶瓷管内部有加热丝，外表面附有金电极，两端由铂金丝引出电极在陶瓷管外部涂有氧化锡-氧化锌复合空心微球气敏材料，焊接、封装后得到气敏传感器件。本发明的优点在于：利用比表面积大的金属氧化物微球做气敏材料，可大大增加材料表面的活性空位；提高气敏传感器的响应率和响应时间；本发明采的气敏传感器件制作简单、性能稳定、灵敏度高，在工作温度下对乙醇有很高的灵敏性
氧化氧化锌复合空心微球气敏传感器件制备方法

[发明专利]基于传感器的丙酮检测装置及方法-CN201910535515.4有效
发明人：漆江玲 -专利权人：北京中聚高科科技有限公司
申请日： 2019-06-19 - 公布日： 2021-11-26 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：该基于传感器的丙酮检测装置包括包括：半导体气敏传感器、光学气敏传感器、辅助传感器、修正模块、以及计算模块，其中：辅助传感器检测用于辅助计算气体中丙酮浓度的环境数据；半导体气敏传感器通过气敏原件检测气体中丙酮浓度的第一数据；光学气敏传感器通过光检测原件检测气体中丙酮浓度的第二数据；修正模块用于根据所述环境数据对所述半导体气敏传感器检测到的气体丙酮浓度第一数据进行修正；计算模块用于对数据进行处理，得出气体中丙酮浓度的最终数据本申请解决了现有基于半导体气敏传感器的丙酮检测装置容易受到干扰，导致丙酮浓度数据误差较大的技术问题。
基于传感器丙酮检测装置方法

[实用新型]一种气敏传感器性能测试用气体循环装置-CN202320875843.0有效
发明人：李静;邓勇辉;程金生;郑捷亭;孙文滢;陈晓娜;林宝杰;陈佳耀;马婷婷;黄俊豪;林嘉怡;雷文韬 -专利权人：韶关学院
申请日： 2023-04-18 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种气敏传感器性能测试用气体循环装置，包括气敏传感器测试装置，所述气敏传感器测试装置包括底座和两个测试主机，两个所述测试主机相对固定装设于底座的顶端。本实用新型在使用气敏传感器测试装置进行气敏传感器的测试时，通过调节组件与限位组件的相互配合，使得测试气体只会在固定筒与限位筒内流动，可在气体由固定筒内或是限位筒内流出时进行气敏传感器的更换，使得气敏传感器在更换时几乎不会有测试气体由装置内流出散发到外界空气中影响操作者的操作环境
一种传感器性能测试气体循环装置

[发明专利]基于氧化锌薄膜的丙酮蒸汽气敏传感元件的制备方法-CN201210308812.3无效
发明人：何平;陈翠欣;杨帆;张炳强;潘国峰 -专利权人：河北工业大学
申请日： 2012-08-28 - 公布日： 2012-12-19 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于氧化锌薄膜型的丙酮蒸汽气敏传感元件的制备方法。本发明在超高真空多功能射频磁控溅射设备上，按照下述步骤进行：溅射前将系统抽为真空，系统的气压达到3x10-3Pa；打开氧气和氩气的气路阀门，向系统中通入这两种气体，给陶瓷管载片加热，温度达到250℃；Zn本发明采用溅射法制备气敏元件，所制备出的气敏元件仅对丙酮蒸气有敏感特性,可在众多的混合有机蒸气中,检测出丙酮蒸气的存在与否及其浓度。
基于氧化锌薄膜丙酮蒸汽传感元件制备方法

[发明专利]一种气敏传感元件的电极部件及其制造方法-CN200710026326.1无效
发明人：佘峻聪;朱联烽;许宁生;邓少芝;陈军 -专利权人：中山大学
申请日： 2007-01-10 - 公布日： 2008-02-20 - 主分类号： G01N27/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种气敏传感元件的电极部件，包括基片和在该基片上形成的加热电极和气敏信号电极，加热电极和气敏信号电极位于基片的同一端面，加热电极和气敏信号电极之间不接触。该部件可应用于气敏传感元件上，制作成本低且制造效率高，且部件表面温度均匀性及加热效率高，从而可提高气敏传感元件性能。本发明同时还公开了该电极部件的制造方法及使用该电极部件的气敏传感元件。
一种传感元件电极部件及其制造方法

[发明专利]一种基于有序纳米线阵列的气敏元件制备方法-CN201310032316.4有效
发明人：岳双林 -专利权人：北京大学
申请日： 2013-01-28 - 公布日： 2013-05-15 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于有序纳米线阵列的气敏元件制备方法。本方法为：1)在基片上制备一阵列结构图形；2)在制备有所述阵列结构图形的基片上制备一金属层，然后对所述金属层进行剥离处理，得到金属催化剂阵列；3)将制备有所述金属催化剂阵列的基片和气敏元件的纳米线所需金属置于反应室内，制备金属纳米线阵列；4)在所述金属纳米线阵列上方套刻测试用电极，制备所需气敏元件。本发明的气敏元件更有利于从材料本征气敏特性方面分析气敏机理、稳定性高。
一种基于有序纳米阵列元件制备方法