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- [发明专利]光学元件-CN202210584160.X在审
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雷永庆
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麦斯塔微电子(深圳)有限公司
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2022-05-26
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2022-09-13
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G02B1/10
- 本发明公开一种光学元件,包括衬底、应力调控层和光学功能膜。衬底具有预设表面形状的光学应用面;应力调控层设置在所述光学应用面上;光学功能膜设置在应力调控层上;其中,所述应力调控层的内应力与所述衬底的内应力和/或所述光学功能膜的内应力耦合,所述应力调控层和所述光学功能膜与所述光学应用面吻合本发明所提供的光学元件,通过在衬底与光学功能膜之间设置应力调控层,利用应力调控层产生的变形以诱导光学功能膜产生微小且受控的变形,使得最终状态下的光学功能膜满足设计要求。或者,使应力调控层抵消衬底和/或光学功能膜产生的不良应力,以提高光学功能膜的面型精度。
- 光学元件
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