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- [发明专利]一种工艺不敏感调制器-CN202111488082.5有效
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夏晓亮;黄小伟
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杭州芯耘光电科技有限公司
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2021-12-08
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2022-04-05
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G02F1/035
- 本申请提供了一种工艺不敏感调制器,包括经耦合区耦合的闭合波导与条形波导,耦合区包括第一固定宽度波导段、第二固定宽度波导段、第三固定宽度波导段、第四固定宽度波导段、第一渐变宽度波导段、第二渐变宽度波导段;第一固定宽度波导段、对称设置在第一固定宽度波导段两侧的第一渐变宽度波导段、对称设置在第一渐变宽度波导段两侧的第二固定宽度波导段设置于耦合区中的闭合波导中;第三固定宽度波导段、对称设置在第三固定宽度波导段两侧的第二渐变宽度波导段、对称设置在第二渐变宽度波导段两侧的第四固定宽度波导段设置于耦合区中的条形波导中。
- 一种工艺敏感调制器
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