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[发明专利]氮化铝压电薄膜及其制造方法、压电材、压电部件-CN201580011354.9有效
发明人：梅田圭一;秋山守人;长濑智美;西久保桂子;本多淳史 -专利权人：株式会社村田制作所;独立行政法人产业技术综合研究所
申请日： 2015-03-02 - 公布日： 2018-09-04 - 主分类号： C23C14/06 文献下载
摘要：本发明提供一种氮化铝压电薄膜及其制造方法、压电材、压电部件。可得出呈氮极性且量产性优越的氮化铝压电薄膜。提供使含有锗的氮化铝压电薄膜(3)以及在基材(2)上通过溅射而含有锗的氮化铝压电薄膜生长的氮化铝压电薄膜的制造方法。
氮化压电薄膜及其制造方法部件

[发明专利]压电薄膜灵敏度测试方法及设备-CN201910935604.8在审
发明人：黄锦钊;章哲宇;牛洋洋 -专利权人：深圳和而泰家居在线网络科技有限公司
申请日： 2019-09-29 - 公布日： 2019-12-20 - 主分类号： G01L27/00 文献下载
摘要：本发明涉及压电薄膜技术领域，公开了一种压电薄膜灵敏度测试方法及设备。其中，该测试方法应用于压电薄膜测试设备，测试设备包括测试台，测试台具有承载面，承载面用于承载叠设的被测压电薄膜和基准压电薄膜；滚轮；驱动装置，用于驱动滚轮在承载面上移动；以及测试装置，包括控制器，控制器连接被测压电薄膜和基准压电薄膜，该测试方法包括：控制器控制驱动装置驱动滚轮滚压于叠设的被测压电薄膜和基准压电薄膜；控制器获取被测压电薄膜输出的第一电信号波形以及基准压电薄膜输出的第二电信号波形；控制器根据第一电信号波形和第二电信号波形，对被测压电薄膜进行灵敏度测试。
压电薄膜电信号波形控制器灵敏度测试测试设备驱动滚轮驱动装置测试台承载面叠设承载滚压控制器控制控制器连接测试输出测试装置滚轮移动

[发明专利]压电薄膜器件以及该压电薄膜器件的制造方法-CN200710078708.9有效
发明人：吉野隆史;山口省一郎;岩田雄一;浜岛章;铃木健吾 -专利权人：日本碍子株式会社;NGK光陶瓷株式会社
申请日： 2007-02-25 - 公布日： 2007-08-29 - 主分类号： H03H3/02 文献下载
摘要：本发明的压电薄膜器件可提高构成压电薄膜的压电材料或压电体薄膜中结晶方位的选择自由度。含有4个压电薄膜谐振子(R11～R14)的压电薄膜滤波器(1)具有通过粘接层(12)粘接滤波器部(11)和平坦的底座基板(13)的结构，该滤波器部(11)提供压电薄膜滤波器(1)的过滤功能，该底座基板(13)机械地支撑滤波器部(11)，在制造压电薄膜滤波器(1)时，通过对压电体基板进行去除加工得到压电体薄膜(111)，但由去除加工得到的压电体薄膜(111)不能单独承受自重，所以在去除加工前预先将包含压电体基板的所定部件粘接在用作支撑体的底座基板
压电薄膜器件以及制造方法

[实用新型]图形化薄膜压电组件及其电子装置-CN202020896787.5有效
发明人：郑岳世;刘驰中 -专利权人：华一声学股份有限公司
申请日： 2020-05-25 - 公布日： 2020-12-18 - 主分类号： H04M1/02 文献下载
摘要：本实用新型公开一种图形化薄膜压电组件及其电子装置，图形化薄膜压电组件包括一压电薄膜，所述压电薄膜区分为多个压电组件区块，且所述压电薄膜在每一所述压电组件区块的两个侧面分别设置导电层；所述压电薄膜及多个所述导电层具有可挠性，而使得所述图形化薄膜压电组件可弯曲；多个所述压电组件区块分别形成扬声器、麦克风、压力传感器或触压传感器的其中之一。
图形薄膜压电组件及其电子装置

[发明专利]复合压电材料、自聚焦式复合压电薄膜、超声换能器及其制备方法-CN202111196874.5在审
发明人：任丹阳;施钧辉;尹永刚;陈睿黾;李驰野 -专利权人：之江实验室
申请日： 2021-10-14 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： H01L41/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种复合压电材料、自聚焦式复合压电薄膜、超声换能器及其制备方法。该材料主要由有机压电相、无机压电相颗粒及掺杂相复合而成，所述的无机压电相颗粒为导电相@无机压电相异质结颗粒，所述掺杂相能与所述有机压电相中的极性原子形成氢键。该薄膜的制备方法包括：将上述的复合压电材料入半球型薄膜模具中，以成型为自聚焦式复合薄膜；将所述聚焦式压电薄膜进行梯度热处理，而后脱模，得到自聚焦式复合压电薄膜。该超声换能器包括上述的自聚焦式复合压电薄膜；第一电极层，分布在所述自聚焦式复合压电薄膜的内表面；及第二电极层，分布在所述自聚焦式复合压电薄膜的外表面。具有较高压电性能以及较高机电耦合系数。
复合压电材料自聚焦薄膜超声换能器及其制备方法

[发明专利]压电传感器和使用了该压电传感器的显示器-CN201780033709.3在审
发明人：木曽宪俊;拝师基希;矢野孝伸;别府浩史;梨木智刚 -专利权人：日东电工株式会社
申请日： 2017-05-30 - 公布日： 2019-01-11 - 主分类号： G01L1/16 文献下载
摘要：本发明提供与以往相比改善了透光性和雾度的压电传感器和使用了该压电传感器的显示器。本发明的压电传感器(10)、(11)配置于显示器(12)的显示面。压电传感器(10)、(11)具备：具有压电性的压电薄膜(15)；在压电薄膜(15)的一面及另一面形成的透明电极(16)、(17)；在透明电极(16)、(17)中一者的与压电薄膜(15)相反的一面形成的透明填充层压电薄膜(15)是在基材薄膜(13)层叠具有压电性的涂层(14)而成的薄膜状构件。作为压电薄膜(15)，可以使用具有压电性的单独薄膜。
压电传感器压电薄膜压电性显示器透明电极薄膜状构件透明填充层单独薄膜基材薄膜透光性显示面雾度配置

[发明专利]一种新型的压电复合薄膜传感器的制备方法-CN201610958003.5在审
发明人：何晶靖;刘晓鹏;方小亮;张卫方;娄伟涛;董邦林 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2016-10-27 - 公布日： 2017-03-29 - 主分类号： H01L41/37 文献下载
摘要：本发明一种新型的压电复合薄膜传感器的制备方法，它包括新型压电复合薄膜的制备、压电复合薄膜的局部极化和压电复合薄膜传感器的封装；本发明所提供的新型压电复合薄膜与一般的复合薄膜相比具有更好的压电性能。所制备的新型压电复合薄膜传感器有轻质、可设计性和良好的柔韧性，可适用于曲面结构，并且其相比于传统PVDF压电薄膜在压电性能方面有了较大提高，其在结构健康监控领域有着广阔的应用前景。
一种新型压电复合薄膜传感器制备方法

[发明专利]压电薄膜过滤装置-CN201610749757.X在审
发明人：蔡高荣;谢宏炅;郑博之 -专利权人：川源(中国)机械有限公司
申请日： 2016-08-28 - 公布日： 2017-02-22 - 主分类号： B01D61/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种压电薄膜过滤装置，包含一壳体，至少一压电薄膜装设在壳体中，压电薄膜系过滤流通于壳体中的流体，及一电源供应器电性连接至压电薄膜的二面，电源供应器分别供给电压至压电薄膜的二面，以使压电薄膜产生形变，当电源供应器停止供给电压时，压电薄膜则会恢复原状，电源供应器则可因反覆的开启及关闭以传输电压，并使压电薄膜产生振动，并使压电薄膜与流体中粒子的电性相同以排开流体中的粒子。本发明可以增加压电薄膜表面的粗糙度，使表面流体紊流程度加大，以造成剪力使浓度极化区厚度减少，增加过滤时的效能及减少维护的成本。
压电薄膜过滤装置

[实用新型]压电薄膜过滤装置-CN201620988782.9有效
发明人：蔡高荣;谢宏炅;郑博之 -专利权人：川源(中国)机械有限公司
申请日： 2016-08-30 - 公布日： 2017-03-29 - 主分类号： B01D61/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种压电薄膜过滤装置，包含一壳体，至少一压电薄膜装设在壳体中，压电薄膜系过滤流通于壳体中的流体，及一电源供应器电性连接至压电薄膜的二面，电源供应器分别供给电压至压电薄膜的二面，以使压电薄膜产生形变，当电源供应器停止供给电压时，压电薄膜则会恢复原状，电源供应器则可因反覆的开启及关闭以传输电压，并使压电薄膜产生振动，并使压电薄膜与流体中粒子的电性相同以排开流体中的粒子。本实用新型可以增加压电薄膜表面的粗糙度，使表面流体紊流程度加大，以造成剪力使浓度极化区厚度减少，增加过滤时的效能及减少维护的成本。
压电薄膜过滤装置

[发明专利]传感体及其制备方法-CN201810074901.3在审
发明人：杨松 -专利权人：杨松
申请日： 2018-01-25 - 公布日： 2018-07-10 - 主分类号： G01L19/06 文献下载
摘要：本发明揭示了一种传感体及其制备方法，其中，传感体包括：柔软材料密封腔体、压电薄膜；所述压电薄膜上设置一个或多个垂直穿透所述压电薄膜的过孔；所述柔软材料密封腔体的内壁与所述压电薄膜紧密粘合，并于所述过孔处设置辅助固定件，以辅助固定所述压电薄膜。本发明通过在压电薄膜上部署过孔，并穿过过孔设置辅助固定件，以辅助柔性材料固定压电薄膜，加固柔性材料和压电薄膜间的紧密结合的固定结构，以防在外力作用下遭受破坏。
压电薄膜传感体辅助固定件密封腔体柔软材料柔性材料制备垂直穿透辅助固定固定结构紧密粘合外力作用孔设置内壁穿过部署

[实用新型]传感体-CN201820132095.6有效
发明人：杨松 -专利权人：杨松
申请日： 2018-01-25 - 公布日： 2018-09-18 - 主分类号： G01L19/06 文献下载
摘要：本实用新型揭示了一种传感体包括：柔软材料密封腔体、压电薄膜；所述压电薄膜上设置一个或多个垂直穿透所述压电薄膜的过孔；所述柔软材料密封腔体的内壁与所述压电薄膜紧密粘合，并于所述过孔处设置辅助固定件，以辅助固定所述压电薄膜本实用新型通过在压电薄膜上部署过孔，并穿过过孔设置辅助固定件，以辅助柔性材料固定压电薄膜，加固柔性材料和压电薄膜间的紧密结合的固定结构，以防在外力作用下遭受破坏。
压电薄膜本实用新型辅助固定件密封腔体柔软材料柔性材料传感体垂直穿透辅助固定固定结构紧密粘合外力作用孔设置内壁穿过部署

[发明专利]一种柔性压电传感器及其制备方法、脉搏波检测方法-CN202310526673.X在审
发明人：胡志军;梁紫旭 -专利权人：苏州大学
申请日： 2023-05-11 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： H10N30/80 文献下载
摘要：本发明涉及一种柔性压电传感器及其制备方法、脉搏波检测方法，涉及压电传感器技术领域。本发明提供的柔性压电传感器包括：柔性压电薄膜层；涂敷在柔性压电薄膜层上下表面的电极层；设置在涂敷有电极层的柔性压电薄膜层表面的柔性聚合物薄膜层。其制备方法包括：制备表面具有微纳米结构的柔性聚合物薄膜；将柔性聚合物薄膜贴敷于表面具有电极层的柔性压电薄膜表面，得到柔性压电传感器。本发明提供的柔性压电传感器使用表面具有微纳米结构的柔性聚合物薄膜层，以在柔性压电薄膜层表面产生非均匀压力，使得柔性压电薄膜层在压力作用下不仅能够产生压电效应，还能够产生挠曲电效应，从而能够更精确地检测到微弱的压力信号，提高柔性压电传感器的灵敏度。
一种柔性压电传感器及其制备方法脉搏检测

[发明专利]一种应用于压力传感器的压电薄膜在线检测方法及系统-CN202310050910.X在审
发明人：吴梦楠;王志刚 -专利权人：深圳裕典通微电子科技有限公司
申请日： 2023-02-02 - 公布日： 2023-03-17 - 主分类号： G01N15/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种应用于压力传感器的压电薄膜在线检测方法及系统，本发明通过获取待测压电薄膜的尺寸参数，基于所述尺寸参数得到待测压电薄膜的预设压电常数，获取待测压电薄膜的实际压电常数，将所述实际压电常数与预设压电常数进行对比，若所述实际压电常数大于预设压电常数，则将该压电薄膜转移至下一加工工站；若所述实际压电常数不大于预设压电常数，则获取所述待测压电薄膜所反馈的涡流信息，基于所述涡流信号得到所述待测压电薄膜的实际孔隙率，能够避免不合格的半成品流入下一加工工站上
一种应用于压力传感器压电薄膜在线检测方法系统

[发明专利]一种异质集成压电单晶薄膜衬底的表面优化方法-CN202010644724.5有效
发明人：欧欣;鄢有泉 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2020-07-07 - 公布日： 2021-12-24 - 主分类号： H01L41/332 文献下载
摘要：本发明涉及材料制备技术领域，特别涉及一种异质集成压电单晶薄膜衬底的表面优化方法，包括：获取待优化的异质集成压电单晶薄膜衬底，所述压电单晶薄膜衬底包括支撑层和压电单晶薄膜层；对所述压电单晶薄膜衬底进行腐蚀处理得到第一产物，所述第一产物的压电单晶薄膜层表面形成有腐蚀层；对所述第一产物进行抛光处理得到第二产物。经过腐蚀处理的压电单晶薄膜表面会形成一定厚度的均匀腐蚀层，然后通过低背压的化学机械抛光即可将腐蚀层除去，实现压电单晶薄膜表面的优化。本申请实施例所述的表面优化方法可以提高异质集成压电单晶薄膜衬底的表面平整度和薄膜近表面区域的晶格质量，同时，又能保证压电单晶薄膜厚度的均匀性。
一种集成压电薄膜衬底表面优化方法

[发明专利]压电体薄膜元件、其制造方法、以及使用了该压电体薄膜元件的电子设备-CN201410374523.2在审
发明人：末永和史;柴田宪治;渡边和俊;堀切文正;野口将希 -专利权人：日立金属株式会社
申请日： 2014-07-31 - 公布日： 2015-03-18 - 主分类号： H01L41/22 文献下载
摘要：本发明提供压电体薄膜元件、其制造方法、以及使用了该压电体薄膜元件的电子设备。一种制造方法，能够对使用了不包含铅的铌酸碱金属系压电体的薄膜元件在不使其压电体特性发生劣化的情况下进行微细加工。本发明的压电体薄膜元件的制造方法的特征在于，具有如下工序：在基板上形成下部电极膜的下部电极膜形成工序、在前述下部电极膜上形成由铌酸碱金属系压电体构成的压电体薄膜的压电体薄膜形成工序、在前述压电体薄膜上按照成为所希望图案的方式形成蚀刻掩模的蚀刻掩模图案形成工序、以及对前述压电体薄膜进行干式蚀刻从而对该压电体薄膜进行所希望图案的微细加工的压电体薄膜蚀刻工序，前述蚀刻掩模中，至少与前述压电体薄膜相接的层由氧化物构成。
压电薄膜元件制造方法以及使用电子设备