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- [发明专利]压电泵-CN200880001236.X有效
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金井俊吾
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株式会社村田制作所
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2008-11-28
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2010-01-06
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F04B43/04
- 在使用双压电晶片结构的压电元件的膜片式的压电泵中,去除阻碍压电元件的位移的主要原因,提供一种效率高的压电泵。压电泵包括:在与泵本体(10)之间形成泵室(12)的膜片(21)、以及面对面粘接在膜片的表面上的压电元件(22),压电元件(22)是层叠多个压电体层的双压电晶片型压电元件,在压电元件的厚度方向中间部设置不自发地位移的中性层由于包含压电元件的整个膜片的中性面(Fd)位于压电元件的中性层(22b)内,因此压电元件(22)可以高效地位移。
- 压电
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