[发明专利]压电元件、以及压电元件应用装置

摘要

本发明提供一种提高了压电特性的压电元件、以及压电元件应用装置。所述压电元件为，具备第一电极(60)、第二电极(80)、和被设置于所述第一电极(60)与所述第二电极(80)之间的、由包括钾、钠、铌的钙钛矿型的复合氧化物构成的薄膜的压电体层(70)的压电元件(300)，所述压电体层(70)在由θ‑2θ测量所得到的X射线衍射图案中，在2θ为45°～47°的范围内存在因(002)以及(200)而得到的峰值，所述峰值的高角度侧的峰值位置为46.0°≤2θ≤46.5°，且高角度侧的峰值与低角度侧的峰值的2θ之差大于0.60°。

主权项

1.一种压电元件，其特征在于，具备：第一电极；第二电极；压电体层，其为被设置于所述第一电极与所述第二电极之间的、由包括钾、钠、铌的钙钛矿型的复合氧化物构成的薄膜，所述压电体层在由θ‑2θ测量所得到的X射线衍射图案中，在2θ为45°～47°的范围内存在因(002)以及(200)而得到的峰值，所述峰值的高角度侧的峰值位置为46.0°≤2θ≤46.5°，且高角度侧的峰值与低角度侧的峰值的2θ之差大于0.60°。