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[发明专利]压电元件及其制造方法、以及压电元件应用装置-CN201810733889.2有效
发明人：角浩二;古林智一;酒井朋裕;北田和也;两角浩一;浅川勉 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2018-07-06 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： H01L41/08 文献下载
摘要：本发明提供一种泄漏电流较少的压电元件。压电元件包括：第一电极；压电体层，其被设置于所述第一电极的上方，且包括钾、钠、铌、钛以及氧；第二电极，其被设置于所述压电体层的上方。
压电元件及其制造方法以及应用装置

[发明专利]压电元件以及压电元件应用装置-CN201711114556.3有效
发明人：一色铁也;两角浩一 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2017-11-13 - 公布日： 2020-12-08 - 主分类号： B41J2/045 文献下载
摘要：本发明提供一种能够很容易地实施取向控制以及组成控制，并且使用了由具有优异的压电特性的KNN类复合氧化物构成的压电薄膜材料的压电元件以及压电元件应用装置。压电元件具备第一电极、第二电极、以及被配置在第一电极与第二电极之间的压电体层，压电体层为，包含钾、钠、铌，且包含优选取向为(100)面的钙钛矿型复合氧化物的薄膜，在钙钛矿型复合氧化物的结晶结构中包含具有氧八面体的基本晶格结构和氧八面体倾斜了的超晶格结构。
压电元件以及应用装置

[发明专利]压电元件以及液体喷出头-CN201910183903.0有效
发明人： 两角浩一;宫泽弘;清水稔弘;朝冈一郎 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2019-03-12 - 公布日： 2020-09-29 - 主分类号： B41J2/14 文献下载
摘要：本发明提供一种压电特性良好的压电元件以及液体喷出头。压电元件具备：第一电极，其被设置在基体的上方；取向控制层，其含有钛，并且被设置在所述第一电极的上方；压电体层，其具有钙钛矿型的结晶结构，并且被设置在所述取向控制层的上方；第二电极，其被设置在所述压电体层的上方，所述取向控制层的厚度在5.0nm以上且22.0nm以下。
压电元件以及液体喷出

[发明专利]压电元件、压电执行器以及压电元件的制造方法-CN201710877982.6在审
发明人：古林智一;国分刚;两角浩一 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2017-09-25 - 公布日： 2018-04-06 - 主分类号： H01L41/02 文献下载
摘要：提供能够降低失效概率的压电元件、压电执行器以及压电元件的制造方法。压电元件具有压电体以及配置在所述压电体的第一电极，在所述第一电极和所述压电体的排列方向观察的平面图中，所述压电体的配置有所述第一电极的一侧的面中的、位于所述第一电极的周围且从所述第一电极的边缘起10μm以内的区域具有晶面。
压电元件执行以及制造方法

[发明专利]压电元件、液体喷射头、液体喷射装置和传感器-CN201510141449.4有效
发明人：古林智一;两角浩一 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2015-03-27 - 公布日： 2017-06-09 - 主分类号： B41J2/14 文献下载
摘要：本发明提供使用可减小电压下降对施加电压的影响的晶种层而能够使压电体层在(100)面优选取向并且能够提高位移量的压电元件、具备压电元件的液体喷射头、液体喷射装置以及传感器。压电元件(300)具备第1电极(60)、隔着晶种层(65)设置于第1电极(60)的压电体层(70)以及设置于压电体层(70)的第2电极(80)，晶种层(65)由具有钙钛矿结构且A位点含有铋、B位点含有铁和钛的在(100)面优先取向的复合氧化物构成，压电体层(70)由具有钙钛矿结构且在(100)面优先取向的压电材料构成，晶种层(65)的厚度小于20nm。
压电元件液体喷射装置传感器

[发明专利]液体喷射头和液体喷射装置以及压电元件-CN201110435790.2有效
发明人：宫泽弘;米村贵幸;两角浩一 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2011-12-22 - 公布日： 2012-07-11 - 主分类号： B41J2/045 文献下载
摘要：本发明提供降低环境负荷，具有高绝缘性而抑制漏电流的液体喷射头、液体喷射装置以及压电元件。上述液体喷射头具备与喷嘴开口连通的压力发生室、以及具有压电体层和设置于该压电体层的电极的压电元件，上述压电体层由具有包含铋以及铁的钙钛矿型结构的复合氧化物构成，包含从由钠、钾、钙、锶以及钡构成的组中选择的至少一种第一掺杂元素、和由铈构成的第二掺杂元素。
液体喷射装置以及压电元件

[发明专利]液体喷射头和液体喷射装置以及压电元件-CN201110360314.9有效
发明人：酒井朋裕;两角浩一;浅川勉 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2011-11-14 - 公布日： 2012-07-04 - 主分类号： B41J2/045 文献下载
摘要：本发明涉及液体喷射头、液体喷射装置以及压电元件。提供具有电极与压电体层的密合性优异的压电元件的液体喷射头。该液体喷射头具备与喷嘴开口连通的压力发生室和压电元件，所述压电元件具备由铂形成的第1电极，和由含有铋、钡、铁、锰和钛的具有钙钛矿结构的复合氧化物形成的压电体层，和第2电极；在所述压电体层与所述第1电极之间具有含铁、钡、钛和氧的层状化合物。
液体喷射装置以及压电元件

[发明专利]液体喷射头及液体喷射装置和压电元件-CN201110096414.5有效
发明人： 两角浩一;加藤治郎;傅田聪;朝冈一郎 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2009-07-08 - 公布日： 2011-10-26 - 主分类号： B41J2/14 文献下载
摘要：本发明提供具有可抑制压电体层发生裂纹、且绝缘性出色的压电元件的液体喷射头及液体喷射装置和压电元件。该液体喷射头具备：与喷射液体的喷嘴开口连通的压力发生室、和使该压力发生室发生压力变化的压电元件，该压电元件由第一电极(60)、形成在该第一电极上的压电体层(70)、和形成在所述压电体层的与所述第一电极相反一侧的第二电极(80)构成，在所述压电体层中形成有粒状的域(511)。
液体喷射装置压电元件

[发明专利]液体喷射头及液体喷射装置-CN201110005307.7有效
发明人：加藤治郎;原寿树;田村博明;传田聪;两角浩一 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2011-01-06 - 公布日： 2011-09-14 - 主分类号： B41J2/045 文献下载
摘要：本发明提供一种液体喷射头及液体喷射装置，用于防止压电体层的驱动劣化、使耐久性提高。该液体喷射头具备：与喷嘴开口连通的压力产生室；以及具有第一电极、形成在该第一电极上的压电体层和形成在该压电体层上的第二电极的压电元件；所述压电体层由含有铅(Pb)、锆(Zr)及钛(Ti)的金属氧化物构成，且包括具有负电荷的Pb-O复合缺陷和具有正电荷的Pb-O复合缺陷，具有负电荷的Pb-O复合缺陷比具有正电荷的Pb-O复合缺陷更多地存在。
液体喷射装置

[发明专利]喷液头、喷液装置及压电元件-CN201010502376.4有效
发明人：宫泽弘;两角浩一 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2010-09-29 - 公布日： 2011-04-27 - 主分类号： B41J2/045 文献下载
摘要：本发明提供能得到良好移位量的喷液头、喷液装置和压电元件。具有：具有连通于喷嘴孔(28a)的压力室(20a)的基板(20)；和压电元件，使压力室内的液体中产生压力变化，具有下部电极(10)、形成于下部电极(10)的上方的包含钙钛矿型氧化物的压电体层(12)和形成于压电体层(12)的上方的上部电极(14)。压电体层(12)具有位于下部电极(10)侧的第一压电体层(12a)和位于第一压电体层(12a)与上部电极(14)之间的第二压电体层(12b)，第一压电体层(12a)的极化轴，优先朝向该第一压电体层的膜面内方向，第二压电体层(12b)以准立方晶表示优先按(100)取向。
喷液头装置压电元件

[发明专利]压电元件、压电执行器、液体喷射头及液体喷射装置-CN201010282918.1有效
发明人： 两角浩一;原寿树;加藤治郎;傅田聪 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2010-09-14 - 公布日： 2011-04-20 - 主分类号： H01L41/187 文献下载
摘要：本发明提供压电体层的结晶质量良好且压电特性良好的压电元件、压电执行器、液体喷射头及液体喷射装置。本发明的压电元件100包括：第1导电层10；与第1导电层10相对向配置的第2导电层20；在第1导电层10和第2导电层20之间配置，由至少包含铅、锆、钛和氧的复合氧化物形成的压电体层30。压电体层30包括在压电体层30的第1导电层10侧的端配置的第1晶体层32和与第1晶体层32连续、与第1晶体层32相比靠第2导电层20侧配置的第2晶体层34。压电体层30的铅的浓度在第1晶体层32的第1导电层10侧比在第2晶体层34的第2导电层20侧低，压电体层30的氧的浓度在第1晶体层32的第1导电层10侧比在第2晶体层34的第2导电层20侧高。
压电元件执行液体喷射装置

[发明专利]液体喷射头、液体喷射装置及执行元件装置-CN200910179424.8有效
发明人：宫泽弘;伊藤浩;两角浩一;加藤治郎 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2009-10-09 - 公布日： 2010-06-09 - 主分类号： B41J2/14 文献下载
摘要：本发明提供一种提高了变位特性的液体喷射头、液体喷射装置及执行元件装置。液体喷射头具有：流路形成基板，其形成有与喷射液滴的喷嘴开口连通的压力发生室；和压电元件(300)，其具有第1电极(60)、形成在该第1电极(60)上的压电体层(70)、和形成在该压电体层(70)的与上述第1电极(60)相反侧的第2电极(80)，通过使上述压力发生室产生压力，从上述喷嘴开口喷出液滴；在上述第1电极(60)和上述第2电极(80)未被施加电压的状态下，上述压电体层(70)的内部电场偏向上述第1电极(60)侧、或上述第2电极(80)侧。
液体喷射装置执行元件

[发明专利]液体喷射头及液体喷射装置和执行元件装置-CN200910173568.2有效
发明人：宫泽弘;伊藤浩;两角浩一;加藤治郎 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2009-09-17 - 公布日： 2010-03-24 - 主分类号： B41J2/045 文献下载
摘要：本发明提供一种能够减小因反复驱动而引起的变位量的变化率，提高耐久性的液体喷射头及液体喷射装置和执行元件装置。该液体喷射头包括：流路形成基板(10)，其形成有与喷射液滴的喷嘴开口连通的压力发生室(12)；和压电元件(300)，其具备：第一电极(60)、形成在该第一电极上的具有由通式ABO₃表示的钙钛矿构造的压电体层(70)、和形成在该压电体层的与第一电极相反侧的第二电极(80)；上述压电体层具有单斜晶系构造，上述第一电极(60)及上述第二电极(80)之间产生的电场的方向与上述压电体层的极矩的方向所成的角度，比上述压电体层的压电常数为极大时上述电场的方向与上述压电体层的极矩的方向所成的角度大。
液体喷射装置执行元件

[发明专利]液体喷射头和液体喷射装置及压电元件-CN200910161246.6有效
发明人： 两角浩一;加藤治郎;傅田聪;朝冈一郎 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2009-07-24 - 公布日： 2010-02-03 - 主分类号： B41J2/14 文献下载
摘要：本发明提供能够防止裂纹、膜剥离等破坏，并提高压电特性的液体喷射头、液体喷射装置和压电元件。该液体喷射头具备：与喷嘴开口(21)连通的压力发生室(12)；和使所述压力发生室(12)发生压力变化的压电元件(300)，该压电元件(300)具备第一电极(60)、在该第一电极(60)上形成的压电体层(70)、和在该压电体层(70)的与所述第一电极(60)相反一侧形成的第二电极(80)，所述第一电极(60)含有铂及氧化钛，该氧化钛的金红石结构的晶型部分为76.5mol％以上。
液体喷射装置压电元件

[发明专利]液体喷射头及液体喷射装置和压电元件-CN200910158840.X有效
发明人： 两角浩一;加藤治郎;傅田聪;朝冈一郎 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2009-07-08 - 公布日： 2010-01-13 - 主分类号： B41J2/14 文献下载
摘要：本发明提供具有可抑制压电体层发生裂纹、且绝缘性出色的压电元件的液体喷射头及液体喷射装置和压电元件。该液体喷射头具备：与喷射液体的喷嘴开口连通的压力发生室、和使该压力发生室发生压力变化的压电元件，该压电元件由第一电极(60)、形成在该第一电极上的压电体层(70)、和形成在所述压电体层的与所述第一电极相反一侧的第二电极(80)构成，在所述压电体层中形成有粒状的域(511)。
液体喷射装置压电元件

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