一种微影参数反馈系统(photo feed back system;PFBS),主要包括数据库以及曝光机台。该数据库中有基底历史数据以及曝光机台历史数据。该基底历史数据对应于预定的一批基底,并包含至少一前层的曝光后测量数据。该曝光机台历史数据(tool history information)包含处理中的预定层的至少一曝光后测量数据,对应曝光后的一批基底。该曝光机台,与该曝光机台历史数据相对应,用以对该预定的一批基底进行曝光。该曝光机台的至少一曝光参数是依据该批基底历史数据以及该曝光机台历史数据来反馈更新。