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[实用新型]一种单晶炉用环形降氧工装及系统-CN202223493656.0有效
发明人：杨春祥;石鑫;董宇豪;何阳 -专利权人：乐山市京运通新材料科技有限公司
申请日： 2022-12-27 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及单晶炉技术领域，公开了一种单晶炉用环形降氧工装及系统，其中单晶炉用环形降氧工装，包括若干个弧形阻热装置，弧形阻热装置安装在单晶炉内的环形加热器的下方，弧形阻热装置安装在环形加热器上的相邻的两个脚板之间；单晶炉用环形降氧系统，包括单晶炉和上述的单晶炉用环形降氧工装。本实用新型能够解决单晶炉内的高氧问题，提高了生成的单晶硅的品质。
一种单晶炉用环形工装系统

[发明专利]单晶炉用热场及单晶炉-CN201610177122.7有效
发明人：邓浩;张龙龙;刘培东;张骏凯 -专利权人：隆基绿能科技股份有限公司
申请日： 2016-03-25 - 公布日： 2019-10-25 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本发明公开的单晶炉用热场，包括坩埚及位于其上方的冷却件，还包括护套，护套设置于冷却件靠近坩埚中心轴线的一侧。本发明公开的单晶炉，包括炉体和如上所述的单晶炉用热场，单晶炉用热场位于炉体内。本发明的单晶炉用热场及单晶炉解决了现有技术拉制单晶时提高拉晶速度与提高单晶质量两者不可兼顾的问题。本发明的单晶炉用热场及单晶炉具有冷却件，可以优化温度梯度、提高拉晶速度并降低拉晶成本；并且由于设置了护套，还能确保生长的晶体不受杂质污染、提供具有良好少子寿命的晶体产品。
单晶炉用热场单晶炉

[发明专利]一种单晶炉及单晶炉用热场-CN202310374884.6在审
发明人：闫洪嘉;李安君;许堃 -专利权人：云南宇泽半导体有限公司
申请日： 2023-04-10 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种单晶炉及单晶炉用热场，涉及单晶炉技术领域。该单晶炉及单晶炉用热场，包括固定台，所述固定台的上侧固定连接有下炉筒，所述下炉筒的上侧放置有炉盖，所述炉盖的上侧中部开孔，所述炉盖的上侧固定连接有副室筒，所述副室筒的下端通过炉盖上的孔与炉盖的下侧连通，该单晶炉及单晶炉用热场，通过设置有防掉落机构可保障在限位环断裂时避免出现晶棒掉落造成的断晶问题。
一种单晶炉单晶炉用热场

[发明专利]一种用于制造准单晶籽晶用9英寸直拉单晶硅的生长方法-CN201310130245.1有效
发明人：张忠安;张忠华;凌继贝;高岩 -专利权人：江西豪安能源科技有限公司
申请日： 2013-04-16 - 公布日： 2013-07-10 - 主分类号： C30B15/36 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于制造准单晶籽晶用9英寸直拉单晶硅的生长方法，该方法包括如下步骤：拆炉，清炉；装炉、装料；抽空、检验；加温、化料；引晶、放肩；转肩、等径；收尾；停炉。与目前使用的8英寸单晶切割而成的准方籽晶相比，用9英寸单晶加工的准单晶籽晶为方形，有利于提高铸锭的单晶比例从而提高准单晶的转化效率。
一种用于制造准单晶籽晶英寸单晶硅生长方法

[实用新型]单晶材料生产的新炉型-CN03247213.7无效
发明人：陈欣阳 -专利权人：陈欣阳
申请日： 2003-06-13 - 公布日： 2004-08-25 - 主分类号： F27B14/00 文献下载
摘要：本实用新型单晶材料生产的新炉型属单晶材料的生产设备，适合生产普通金属(铜、铝…)的单晶材料用炉。单晶材料生产的新炉型采用联体炉和连通器技术的结构。本实用新型单晶材料生产的新炉型由熔炉、保温炉组成，其特征是有联体炉，联体炉包含有熔炉(3)和保温炉(2)，熔炉和保温炉之间用中间隔层(2)分开，中间隔层下部靠近炉底处有连通孔(6)相通。
材料生产新炉型

[实用新型]一种单晶炉用掺杂装置-CN202221262595.4有效
发明人：黄剑雄;沈吟青;顾彬彬 -专利权人：无锡松瓷机电有限公司
申请日： 2022-05-25 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： C30B15/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种单晶炉用掺杂装置，单晶炉用掺杂装置包括磁力驱动结构、加料结构和密封结构，其中：密封结构与单晶炉的加料口密封连通；加料结构设于密封结构内部；磁力驱动结构与加料结构的驱动端套接设置，磁力驱动结构通过磁力作用于加料结构的驱动端，以带动加料结构的加料端通过单晶炉的加料口向单晶炉内提供待加物料。通过磁力驱动结构可以使加料结构在密闭条件下移动并将物料投入单晶炉，不会破坏密封条件。
一种单晶炉用掺杂装置

[发明专利]一种单晶硅制造用单晶炉及其安装固定方法-CN202011292168.6在审
发明人：高俊伟;宋生宏;高玉顺;张培顺;韩永龙;祁永福;何旭;杨延生 -专利权人：阳光能源（青海）有限公司
申请日： 2020-11-18 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种单晶硅制造用单晶炉及其安装固定方法，该单晶炉包括单晶炉本体、固定座和底座，单晶炉本体固定安装于底座顶端的中部，底座底端的中部设置有圆柱形凸起，固定座顶端的中部固定安装有安装座，安装座内端的顶部设置有圆槽，圆柱形凸起的底部滑动安装于圆槽内，圆槽内端的底部固定安装有缓冲垫；本发明的有益效果是：本发明一种单晶硅制造用单晶炉，通过在圆槽内设置缓冲垫可以在安装时起到缓冲作用，通过加固机构和固定环均可进一步的对单晶炉本体进行加固，稳固性较好，安装时首先将固定座安装在地面上，然后再进行单晶炉本体进行安装，简化了单晶炉本体的安装流程，安装过程中不易对单晶炉本体造成损坏。
一种单晶硅制造用单晶炉及其安装固定方法

[实用新型]一种氮化镓半导体生产用的单晶炉-CN202023235916.5有效
发明人：鲁煜;王祎;刘玉良;姜经理;谭大胜 -专利权人：浙江中电环境科技有限公司
申请日： 2020-12-29 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： C30B29/40 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种氮化镓半导体生产用的单晶炉，包括固定框、单晶炉本体、抽气口、搅拌轴和伺服电机，所述固定框的内部通过轴承安装有单晶炉本体，且单晶炉本体的内部设置有加热管，所述单晶炉本体的底端开设有下料槽，所述固定框顶端通过轴承安装有贯穿单晶炉本体的第一转轴，且第一转轴的外壁皆设置有搅拌轴，所述第一转轴的外壁设置有第一锥形齿轮，所述单晶炉本体的外壁设置有第二锥形齿轮，所述固定框的内侧通过轴承安装有第二转轴该氮化镓半导体生产用的单晶炉，通过第三锥形齿轮带动第二锥形齿轮相啮合，进而第二锥形齿轮带动单晶炉本体与第一转轴异向转动，便于对单晶炉本体内材料充分搅拌，调高了搅拌效率。
一种氮化半导体生产单晶炉

[实用新型]一种蓝宝石单晶晶体长晶用真空炉-CN201420338049.3有效
发明人：姚以力;姚泰 -专利权人：姚以力
申请日： 2014-06-14 - 公布日： 2014-11-26 - 主分类号： C30B29/20 文献下载
摘要：蓝宝石单晶晶体长晶用真空炉涉及一种蓝宝石单晶晶体长晶用真空炉。主要是为解决现有的蓝宝石单晶晶体长晶用真空炉生产的单晶蓝宝石切片时浪费大的问题而设计的。它包括炉体，炉体上有大炉盖，电极装在大炉盖上，大炉盖上有小炉盖，单晶提拉机构装在固定柱上，固定柱固定在地面基础上，单晶提拉机构下面有单晶提拉杆，炉体内的坩埚置于坩埚托盘上，坩埚托盘置于托盘顶柱上，托盘顶柱立在炉底上，坩埚上方有坩埚盖，坩埚盖上面有上隔热屏，坩埚外面有发热体，发热体与大炉盖上的电极连接，发热体的下面和四周有下隔热屏和侧隔热屏，所述的坩埚、发热体、侧隔热屏均为椭圆形偏平状。优点是可生产出椭圆形偏平状的蓝宝石单晶体，切片时浪费少。
一种蓝宝石晶体长晶用真空炉

[实用新型]一种高效生产直拉式单晶炉用硅料复投装置-CN202221956958.4有效
发明人：贡梦涛 -专利权人：常州益群新能源科技有限公司
申请日： 2022-07-27 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： C30B15/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高效生产直拉式单晶炉用硅料复投装置，涉及直拉式单晶炉用具技术领域。该高效生产直拉式单晶炉用硅料复投装置，包括单晶炉炉体、复投仓，所述复投仓通过绕线电机内的线绳放置于单晶炉炉体的内部，所述单晶炉炉体的内壁底部固定有电动伸缩底座，所述电动伸缩底座的顶端固定有坩埚，所述单晶炉炉体的内壁底部右侧固定有高度警报器，所述单晶炉炉体的内壁左侧固定有连动组件。
一种高效生产直拉式单晶炉用硅料复投装置

[发明专利]直拉硅单晶炉炉盖-CN200910175319.7无效
发明人：刘彬国;张呈沛;何京辉 -专利权人：晶龙实业集团有限公司;宁晋晶兴电子材料有限公司
申请日： 2009-12-14 - 公布日： 2010-07-14 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种改进的直拉硅单晶炉炉盖，包括设置在炉盖顶部的进气口，该炉盖下方、进气口的边缘处连接有挡流装置。挡流装置以合理角度插入或采用活动铰链连接于炉盖上。生长单晶硅过程用利用该改进的直拉硅单晶炉炉盖可以达到保护单晶表面免于污染，促进硅单晶生长，提高热场元件寿命的目的。
直拉硅单晶炉炉盖

[实用新型]单晶炉用螺栓及单晶炉-CN202221651305.5有效
发明人：陈林军;肖瑶;许正友;涂鑫鑫;陈昌林 -专利权人：四川晶科能源有限公司;晶科能源股份有限公司
申请日： 2022-06-28 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： F16B35/00 文献下载
摘要：本实用新型实施例涉及单晶硅制造技术领域，提供一种单晶炉用螺栓及单晶炉，单晶炉用螺栓包括：相连接的螺杆以及螺盖，所述螺盖远离所述螺杆的表面具有第一螺孔，所述第一螺孔的底面至少具有一个与所述第一螺孔相贯通的第二螺孔本实用新型提供的单晶炉用螺栓及单晶炉至少可以降低硅棒的生产成本。
单晶炉用螺栓单晶炉

[发明专利]单晶硅拉制炉用热场炭/炭坩埚的制备方法-CN200610043186.4有效
发明人：肖志超;彭志刚;苏君明;邓红兵;吴大云;孟凡才;李睿;邵海成;邢如鹏;赵大明 -专利权人：西安超码科技有限公司
申请日： 2006-07-20 - 公布日： 2007-02-07 - 主分类号： C04B35/83 文献下载
摘要：本发明涉及一种单晶硅拉制炉用热场炭/炭坩埚的制备方法，该方法采用针刺炭布准三向结构预制体；通过化学气相沉积和糠酮树脂浸渍炭化以及热等静压沥青浸渍炭化相结合的致密工艺，反复致密处理数次，制品密度≥1.83g/cm³时致密工艺结束，在通入氯气和氟利昂的条件下对制品进行高温纯化处理，机械加工后即可制得单晶硅拉制炉用热场炭/炭坩埚。本发明在用于单晶硅拉制炉用热场炭/炭坩埚方面，可有效提高单晶硅拉制炉用热场炭/炭坩埚的强度，工艺一致性好，可实施性强，成本低，可延长单晶硅拉制炉用热场炭/炭坩埚的使用寿命和降低单晶硅拉制炉用热场炭/炭坩埚的更换率
单晶硅拉制炉用热场炭坩埚制备方法

[发明专利]单晶硅拉制炉及多晶硅冶炼炉用炭/炭隔热屏的制备方法-CN200610043184.5有效
发明人：肖志超;彭志刚;苏君明;邓红兵;吴大云;孟凡才;李睿;邵海成;邢如鹏;赵大明 -专利权人：西安超码科技有限公司
申请日： 2006-07-20 - 公布日： 2007-01-03 - 主分类号： C04B35/66 文献下载
摘要：本发明涉及一种单晶硅拉制炉及多晶硅冶炼炉用炭/炭隔热屏的制备方法，该方法采用针刺炭布和无纬布相结合全炭纤维三向结构隔热屏预制体；通过中温沥青或糠酮树脂浸渍炭化工艺致密隔热屏预制体，反复致密处理数次，到密度≥1.30g/cm³时致密工艺结束，在通入氯气和氟利昂的条件下对隔热屏制品进行高温纯化处理，机械加工后即可制得单晶硅拉制炉及多晶硅冶炼炉用热场炭/炭隔热屏。本发明可有效降低单晶硅拉制炉及多晶硅冶炼炉用热场炭/炭隔热屏的导热系数，工艺一致性好，可实施性强，成本低，可延长单晶硅拉制炉及多晶硅冶炼炉用炭/炭隔热屏的使用寿命，降低单晶硅拉制炉及多晶硅冶炼炉用炭/炭隔热屏的更换率
单晶硅拉制多晶冶炼炉用炭隔热制备方法

[实用新型]一种单晶炉气动单元用氮气安保系统-CN201520609217.2有效
发明人：张明亮;高林玉;司鹏辉;刘要普 -专利权人：麦斯克电子材料有限公司
申请日： 2015-08-14 - 公布日： 2015-12-02 - 主分类号： F17D1/04 文献下载
摘要：一种单晶炉气动单元用氮气安保系统，包括向单晶炉供应压缩空气的气动单元和氮气备用单元，气动单元通过压缩空气管道向单晶炉炉台备用气点供应压缩空气，且在压缩空气管道上依次设置主阀门和常开气动阀以控制压缩空气的通断，氮气备用单元包括向单晶炉炉台备用气点供应氮气的氮气总管道、向常开气动阀供应氮气的支管路和安装在压缩空气管道上的电接点压力表。本实用新型将稳定的氮气作为备用气源，当气动单元出现异常情况时，气动装置自动动作，不间断的将氮气切入单晶炉用压空系统，从而保证单晶炉的正常生产，能最大限度降低因压空系统出现异常对单晶炉造成的影响。
一种单晶炉气动单元氮气安保系统

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