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- [发明专利]一种多晶硅铸锭时的长晶控制方法-CN201310668942.2无效
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王土军;徐闻韬;徐增宏
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浙江硅宏电子科技有限公司
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2013-12-11
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2014-04-02
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C30B29/06
- 本发明涉及一种多晶硅铸锭时的长晶控制方法，该方法包括下列步骤：A、将平铺在坩埚底部的硅块料部分溶化，余少部分作为长晶用，降温至硅溶点以下，开始长晶；B、长晶初期，长晶速度控制在0.4-0.8mm/h，时间持续3-4h；C、长晶过渡期，长晶速度控制在0.8-1.2mm/h，时间持续在4-6h；D、长晶稳定期，长晶速度控制在1.0-1.4mm/h，时间持续20-24h；E、长晶收尾期，长晶速度控制在0.8-1.0mm采用本发明，控制过程增加了长晶过渡期，长晶速度由慢至快，再由快至慢，使长晶处于相对均衡状态，能减少长晶中的位错，减少杂质沉积，有效地提高了光电转换效率。
- 一种多晶铸锭控制方法
- [发明专利]一种链式晶圆清洗干燥用链式提升装置-CN202111309584.7在审
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彭虎
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彭虎
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2021-11-06
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2022-02-15
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H01L21/677
- 本发明公开了一种链式晶圆清洗干燥用链式提升装置，涉及晶圆清洗技术领域。该链式晶圆清洗干燥用链式提升装置包括装置主体，所述装置主体内部设置有传输链，所述传输链呈矩形设置且四个角内侧分别与四个定位轮贴合。该链式晶圆清洗干燥用链式提升装置，通过在传输链底部和顶部分别设置清洗长槽和烘干器可以分别对夹持件上的晶圆进行清洗和干燥，并且当夹持件在清洗长槽内部移动时，推动条与传输链上的半圆槽口配合可以使得夹持件产生上下运动，以实现晶圆在清洗长槽内部的纵向移动，增强了晶圆与清洗长槽内部清洗液的接触效果，从而提高晶圆的清洗效果，防止晶圆的清洗不充分而导致次品率较高。
- 一种链式清洗干燥提升装置
- [发明专利]一种长晶炉的冷却系统-CN202110212579.8有效
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薛传艺;张长银;马振华
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山东天岳先进科技股份有限公司
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2021-02-25
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2022-04-08
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C30B35/00
- 本申请公开了一种长晶炉的冷却系统，包括冷却介质通道、过滤装置、储放装置和控制单元，冷却介质通道的一端穿入长晶炉炉体，过滤装置与设于长晶炉炉体外侧的冷却介质通道连通设置，过滤装置包括的过流通道上设有过滤单元，冷却介质流经过滤单元后对长晶炉炉体内部提供冷却介质；储放装置上设有备用过滤单元；长晶炉还包括受控置换装置和监测单元，监测单元监测流入长晶炉炉体内冷却介质的流量并对控制单元提供监测信息，受控置换装置受控制单元控制，当过流通道的流量小于设定值时，受控置换装置用备用过滤单元置换过流通道上的过滤单元。本申请所公开的所述长晶炉的冷却系统具有实时监测、自动排障、确保长晶炉安全稳定工作等优点。
- 一种长晶炉冷却系统
- [实用新型]一种单晶金刚石生长用晶种座-CN202221288091.X有效
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陈孝洲;李稳稳;王二社;陈奎
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焦作万可科技有限公司
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2022-05-27
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2022-10-11
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C30B29/04
- 本实用新型公开了一种单晶金刚石生长用晶种座，包括晶种座，晶种座的顶部插入有金刚石育长器皿，金刚石育长器皿的正面固定连接有支撑块。该单晶金刚石生长用晶种座，通过观察水平观测盘内部的气泡位置，了解其金刚石育长器皿的水平状态，然后再调节对应的螺纹调节推杆旋转，利用斜撑铰接杆的铰接和角度倾斜改变，并配合限位滚球在稳定座块的球形凹槽内滚动，使其调节其金刚石育长器皿的倾斜状态，随后再通过两侧的稳固螺纹推杆的螺纹推进原理，带动稳定梯形垫块在其晶种座的内部水平位移，对其金刚石育长器皿底部组装滚轮进行支撑，从而达到了可针对性的调节其金刚石育长器皿的水平状态
- 一种金刚石生长用晶种座
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