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[发明专利]使用批式制程腔室的基材处理装置-CN200580039849.9有效
发明人：兰多赫·撒库尔;史缔文·G·查那耶;约瑟夫·尤多夫斯基;阿朗·韦伯;阿达姆·A·布莱劳弗;尼尔·曼瑞;斐内·K·沙阿;安德列斯·G·贺格妲斯 -专利权人：应用材料股份有限公司
申请日： 2005-11-22 - 公布日： 2007-10-24 - 主分类号： C23C16/00 文献下载
摘要：本发明的态样包含一种利用适于在一或多个批式及/或单一基材制程腔室中处理基材以增加该系统产能的多腔室制程系统(例如集结式机台)处理基材的方法及设备。在一实施例中，一系统是经配置以执行一基材制程程序，其仅含有批式制程腔室，或批式及单一基材制程腔室，以最佳化产能并最小化制程缺陷。在一实施例中，使用批式制程腔室来增加系统产能，通过在其中执行与该基材制程程序中其他制程配方步骤相比特别冗长的制程配方步骤。本发明的态样也包含一种传送前驱物至制程腔室的设备及方法，因此可重复执行ALD(原子层沉积)或CVD(化学气相沉积)沉积制程。
使用批式制程腔室基材处理装置

[发明专利]一种半导体制程批间控制系统的控制性能诊断方法-CN202110491048.7有效
发明人：凌丹;栗朝松;王妍;孙军伟;王英聪;郭群力;王延峰;张勋才;刘鹏;姜素霞 -专利权人：郑州轻工业大学
申请日： 2021-05-06 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： G05B23/02 文献下载
摘要：本发明提出一种半导体制程批间控制系统的控制性能诊断方法，首先，根据历史正常工况的闭环数据和实际工况的闭环数据，估计基准工况白噪声、基准工况扰动模型、基准工况模型残差、实际工况白噪声、实际工况扰动模型和实际工况模型残差根据基准工况白噪声及其模型残差、实际工况白噪声及其模型残差获取四个诊断监控量，并根据历史正常工况的闭环数据获取控制性能监控量和四个诊断监控量的控制上限/下限；最后，根据控制性能监控量及其控制上限/下限评估批间控制系统的控制性能本发明在半导体制程常规操作条件下不仅正确评价闭环系统的控制性能，还能有效的诊断导致系统性能下降的原因，降低了系统维护的成本，提高了系统安全性。
一种半导体制程批间控制系统控制性能诊断方法

[发明专利]晶圆加工方法-CN202110707623.2在审
发明人：张其学;陈浩;栾会倩 -专利权人：华虹半导体（无锡）有限公司
申请日： 2021-06-17 - 公布日： 2021-10-15 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：该晶圆加工方法包括将晶圆按批次送入加工机台，并记录加工机台的加工批数；通过加工机台在预定作业条件下对晶圆按批进行加工；当加工批数达到预定批数时，控制加工机台暂停晶圆加工作业；获取已加工的预定批数批晶圆的特征量测数据，特征量测数据用于指示每批晶圆的加工情况；根据已加工的预定批数批晶圆的特征量测数据，控制加工机台的工作状态；加工机台的工作状态包括停止作业和继续作业；解决了目前同一道制程的多个联批作业未进行有效管控，容易导致大规模返工的问题；达到了及时监控同一道制程的加工状态，有效避免大规模返工的效果。
加工方法

[发明专利]集成电路量测结果图像化分析方法及系统-CN201811076469.8有效
发明人：闫晓东;其他发明人请求不公开姓名 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2018-09-14 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：本发明提供一种集成电路量测结果图像化分析方法及系统，能够收集集成电路测试站点及其量测结果，并将收集的数据进行包括货批级视图在内的多种视图的图形化显示，使得集成电路量测结果显示更直观，由此，可以使得用户能够结合各种视图中的基本信息甚至一些统计信息，来追溯制程和机台问题，提高了良率分析效率。特别是本发明的方案能够在货批级视图中显示制程和机台信息以及良率损失特征，使得用户可以基于货批级视图中显示的良率损失特征迅速关联制程和机台问题。
集成电路结果图像化分方法系统

[发明专利]一种去批锋加工装置-CN202010681557.1在审
发明人：章继波 -专利权人：深圳惠科精密工业有限公司
申请日： 2020-07-15 - 公布日： 2020-11-03 - 主分类号： B24B9/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种去批锋加工装置，包括控制台、正位去批锋单元、第一旋转单元和定位单元，定位单元安装设在所述第一旋转单元上，用于对被加工物品的定位，定位单元上设有治具，所述第一旋转单元用于将治具旋转至所述正位去批锋单元的加工工位下，以通过所述正位去批锋单元对放置与所述治具上的被加工物品的去批锋作业加工。该装置适应当前制造业手机中框素材压铸后，手机中框有批锋毛刺而没有自动设备替换人工作业的需求。实现了自动装置替换人工作业，通过可编程路径、且适应毛刺位置多变生产制程加工工艺需求，适用全自动化生产制程，便于规模性应用以及推广为行业的自动去批锋装置。
一种去批锋加工装置

[发明专利]一种去批锋加工方法-CN202010681581.5有效
发明人：章继波 -专利权人：深圳惠科精密工业有限公司
申请日： 2020-07-15 - 公布日： 2022-04-26 - 主分类号： B24B9/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种去批锋加工方法，该方法通过被加工物品上料，将被加工物品放置到加工工位；正位去批锋单元对放置在加工工位上的被加工物品自动化去批锋加工；自动去批锋加工完成后，将被加工物品下料。该方法适应当前制造业，在手机中框素材压铸后，有批锋毛刺而没有自动设备替换人工作业的需求。实现自动化替换人工作业，实现编程路径适应毛刺位置多变生产制程工艺，适用于全自动化生产制程，便于规模性应用以及推广为行业的自动去批锋工艺。其中，通过机外机器人自动上料，自动旋转递进工位，自动打磨去批锋，自动翻转，自动堆叠料，自动刷边，最终实现手机铝中框自动去锋工艺。
一种去批锋加工方法

[实用新型]一种去批锋加工装置-CN202021409110.0有效
发明人：章继波 -专利权人：深圳惠科精密工业有限公司
申请日： 2020-07-15 - 公布日： 2021-05-14 - 主分类号： B24B9/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种去批锋加工装置，包括控制台、正位去批锋单元、第一旋转单元和定位单元，定位单元安装设在所述第一旋转单元上，用于对被加工物品的定位，定位单元上设有治具，所述第一旋转单元用于将治具旋转至所述正位去批锋单元的加工工位下，以通过所述正位去批锋单元对放置于所述治具上的被加工物品去批锋作业加工。该装置适应当前制造业手机中框素材压铸后，手机中框有批锋毛刺而没有自动设备替换人工作业的需求。实现了自动装置替换人工作业，通过可编程路径、且适应毛刺位置多变生产制程加工工艺需求，适用全自动化生产制程，便于规模性应用以及推广为行业的自动去批锋装置。
一种去批锋加工装置

[发明专利]一种防止刻蚀制程中产生表面缺陷的方法-CN200710039788.7有效
发明人：徐艳博;刘瑛;王宏玲 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2007-04-20 - 公布日： 2008-10-22 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种防止刻蚀制程中产生表面缺陷的方法，涉及晶圆的刻蚀工艺。现有的刻蚀制程中，由于反应腔侧壁上聚合物淀积不够紧密，容易出现淀积物脱落，造成晶圆表面缺陷的问题。本发明的方法主要用于解决刻蚀制程中的表面缺陷问题，该刻蚀制程包括在反应腔中分别执行步骤一和步骤二；执行步骤一时，会在反应腔侧壁上形成紧密的聚合物淀积；执行步骤二时，会在反应腔侧壁上形成疏松的聚合物淀积，所述方法在同一反应腔内运行数批不同的晶圆时，每运行一批需要执行步骤二的晶圆之前，都要先运行至少两批需要执行步骤一的晶圆。
一种防止刻蚀制程中产生表面缺陷方法

[发明专利]缺陷检测参数分析方法-CN03102093.3无效
发明人：戴鸿恩;罗皓觉 -专利权人：力晶半导体股份有限公司
申请日： 2003-01-29 - 公布日： 2004-08-18 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：一种缺陷检测参数分析方法，用以分析多批分别具有一个批号的产品，每批产品经过多个机台所制得，而每批产品中一片或以上的晶圆至少经过一个缺陷检测项目的检测，以产生一个缺陷检测参数值，此缺陷检测项目及其参数值以及与此缺陷检测项目相关的一个制程站别储存于一个数据库中，本方法包括步骤：搜寻数据库以取得多批产品的缺陷检测参数值；依据缺陷检测参数值将多批产品区分为至少一个合格产品组及一个不合格产品组；从数据库中搜寻与缺陷检测项目相关的制程站别；搜寻合格产品组在制程站别所经过的机台；搜寻不合格产品组在制程站别所经过的机台；判断不合格产品组经过机率高于合格产品组经过机率的机台。
缺陷检测参数分析方法

[发明专利]用于管理批次整合的系统、用于管理批次整合的方法-CN200510130509.9无效
发明人：黄启仁;林水典 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2005-12-13 - 公布日： 2006-07-19 - 主分类号： G05B23/00 文献下载
摘要：该界面是用以接收一批次整合设定数据。该储存装置是用以储存第一批次制造信息和该批次整合设定数据。该处理器是用以依据该批次整合设定数据与该第一批次制造信息，产生第二批次制造信息。本发明所述的用于管理批次整合的系统、用于管理批次整合的方法，依据更新过的该制造数据的制程时程表和派工设定数据，使得制造程序中的产品物流被调整，使得能够依据使用者的设定，将原本属于同一批次，而在制程中被分割开来的批次重新整合为同一批次
用于管理批次整合系统方法

[发明专利]一种大规模生产鸭坦布苏病毒灭活疫苗的方法-CN201310072357.6无效
发明人：鲍海忠;王蕾;徐龙涛;张青婵;吴昊;巩志宏;李晓静;彭建云;张中波;陈茹;张丹 -专利权人：齐鲁动物保健品有限公司
申请日： 2013-03-07 - 公布日： 2013-06-12 - 主分类号： A61K39/12 文献下载
摘要：本发明采用生物反应器培养技术进行细胞的高密度培养，生产鸭坦布苏病毒灭活疫苗，与传统的转瓶生产工艺相比，自动化控制程度高，生产可实时监控，保证了产品质量的均一、稳定；生产中可节省人力、物力，降低生产成本；生产的毒液病毒含量较高，批间差异小，副反应减少。
一种大规模生产鸭坦布苏病毒疫苗方法

[发明专利]化学机械研磨制程控制方法-CN200510055283.0有效
发明人：陈承先;黄雅仪;陈彦兆;陈开雄;林义雄 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2005-03-18 - 公布日： 2005-09-21 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：本发明提供一种化学机械研磨制程控制方法，帮助在半导体制程中从一批量的晶圆移除材料量的均匀性，且可适用于复杂的制程，例如：浅沟槽隔离制造程序。此方法包括：提供具有一组试作晶圆与一组剩余晶圆的数个晶圆，依据初始制程时间对试作晶圆进行研磨，决定出试作晶圆的补偿时间，再将初始制程时间加上补偿时间以决定更替时间，并依据更替时间对剩余晶圆进行研磨。
化学机械研磨程控方法

[发明专利]晶圆异常预警方法-CN202211020754.4在审
发明人：罗莹莹;吴冲;陈燕华;张亮;江杨 -专利权人：厦门士兰集科微电子有限公司
申请日： 2022-08-24 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提供了一种晶圆异常预警方法，由于制程站点出现异常时，经过异常的制程站点的同一批次的多个晶圆就会在同一位置上出现重复异常点，对于每个测试站点，本发明首先获取在测试站点需要进行异常分析的若干同一批次的晶圆测试图，然后获取同一位置上具有重复异常点的所述晶圆测试图的最大数量与所述晶圆测试图的总数量之间的占比，之后基于所述占比判定是否需要进行晶圆异常预警，如此一来，一旦有制程站点出现异常便可以及时、准确地发现，能够有效预警晶圆异常
异常预警方法

[发明专利]一种用条形码管理的自动化称重及进、出仓系统-CN200610036785.3无效
发明人：朱成祥 -专利权人：朱成祥
申请日： 2006-07-31 - 公布日： 2007-02-28 - 主分类号： G06Q10/00 文献下载
摘要：一种用条形码管理的自动化称重及进、出仓系统，属于技术工程领域，它是由数台计算机、自动称料平台、计算机软件控制程序、条形码打印机、条形码采集器组成，本发明的优点是，尤其适用于长货物的称重，同一批货物进、出仓比以往人工方法减少2/3搬运量，节约1/4时间，节省人力，提高效率，数据准确性提高。
一种条形码管理自动化称重系统

[发明专利]一种缺陷扫描结果控制制程机台的派工方法-CN201310220485.0有效
发明人：沈晓栋;娄晓祺;邵雄 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2013-06-04 - 公布日： 2017-07-07 - 主分类号： G06Q10/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种缺陷扫描结果控制制程机台的派工方法，其应用于设有输入单元、计算统计单元和控制单元的主机系统以及派工系统上，其中，采用如下步骤建立一数据记录的数据库；设定制程机台在规定生产时间范围或规定产品批数范围内无缺陷扫描结果的警告值和限定值；通过所述输入单元将所述制程机台每批产品生产完成时的生产数据输入到所述数据库中；通过所述计算统计单元对所述生产数据和所述警告值、所述限定值进行计算统计。本发明实现了控制任一制程机台在固定时间范围内或者在固定产品批数范围内有缺陷扫描结果，通过定时对缺陷扫描结果监控，能够及时发现有问题的机台或产品，避免或者减小产品良率的损失。
一种缺陷扫描结果控制机台方法

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