“分子泵”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果1257814个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[实用新型]一种磁控溅射仪-CN201720046804.4有效
发明人：侯则良 -专利权人：福建省诺希科技园发展有限公司
申请日： 2017-01-16 - 公布日： 2017-09-19 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种磁控溅射仪，包括溅射室、预处理室、磁力传递杆、机械泵、分子泵和冷却水管，溅射室和处理室之设有阀板，预处理室和磁力传递杆相连，预处理室还与机械泵和分子泵相连，分子泵与冷却水管相连，冷却水管进水处设有水位检测开关，所述水位检测开关包括壳体、壳体内设有水管，水管上设有一受其内水压可上下运动的活塞，活塞上端部设有一具有导电能力的顶针，顶针上方设有一具有导电能力的弹片，顶针和弹片串接在分子泵的电源线的L线上，这种磁控溅射仪在使用过程中，活塞受到水的压强作用向上浮起，顶针与弹片连通，分子泵通电正常工作，反之活塞受重力影响而落下，顶针和弹片断开，分子泵就停止工作，防止分子泵被烧毁。
一种磁控溅射

[发明专利]一种KYKY分子泵机组真空系统检漏方法-CN202111659611.3在审
发明人：田红义 -专利权人：武汉亿贝达科技有限公司
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2022-05-06 - 主分类号： F04B41/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种KYKY分子泵机组真空系统检漏方法，包括一种KYKY分子泵机组，一种KYKY分子泵机组包括前置真空泵、分子泵和封堵机构，所述封堵机构的一端固定安装有真空环境设备。本发明中对分子泵机内部填充示漏物质，通过施加负压的方式对分子泵机组进行检漏，通过对多处漏点堵漏的方式，使机组内的漏点更加全面的露出，使对机组的检查更加全面，通过机组原始封闭无漏点模型与机组内部含有漏点的三维立体模型的对比
一种 kyky 分子机组真空系统检漏方法

[发明专利]真空泵-CN201110048747.0有效
发明人： I·D·斯通斯;N·P·肖菲尔德;M·N·斯图尔特 -专利权人：爱德华兹有限公司
申请日： 2004-09-23 - 公布日： 2011-05-18 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：本发明提出一种真空泵，该真空泵包括分子拖曳泵送机构和再生泵送机构。分子拖曳泵送机构的转子元件围绕再生泵送机构的转子元件。
真空泵

[发明专利]增强排气型复合分子泵-CN200810228430.3无效
发明人：刘坤;李涛;常学森;巴德纯 -专利权人：东北大学;成都南光机器有限公司
申请日： 2008-10-31 - 公布日： 2009-06-17 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种增强排气型复合分子泵，涉及真空技术领域，包括泵壳、泵座、光轴、转子体和定子，转子体由涡轮级转子和螺旋槽牵引分子级转子组成，光轴与转子体连接，转子体中涡轮级转子位于螺旋槽牵引分子级转子上方，螺旋槽牵引分子级转子下方连有增强排气级转子，增强排气级转子为光板；涡轮级转子之间设有涡轮级定子叶片，螺旋槽牵引分子级转子之间设有螺旋槽牵引分子级定子，增强排气级转子两侧设有增强排气级定子。并汇集了拖动气体分子运动和涡轮分子的原理，通过这种结构设计达到具有大抽速、高真空能力和增大排气能力的复合分子泵，该泵具有效率高、体积小、造价低的优点。
增强排气复合分子

[发明专利]真空泵-CN201980019833.3有效
发明人：三轮田透;高井庆行;坂口祐幸 -专利权人：埃地沃兹日本有限公司
申请日： 2019-03-20 - 公布日： 2022-07-26 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：提供能够使泵正常运转的同时抑制气体的固化的真空泵。在具有从外部吸入气体的吸气口（11b）和将被吸入的气体向外部排出的排气口（11a）的壳（11）内，设置有涡轮分子泵机构（PA）、螺纹槽泵机构（PB）、第1温度调整机构（39）、第2温度调整机构（40），前述涡轮分子泵机构（PA）具有被沿轴向交替地多级排列的旋转翼（23）及固定翼（31），前述螺纹槽泵机构（PB）被与涡轮分子泵机构（PA）的排气口（18a）侧连续设置，前述第1温度调整机构（39）将涡轮分子泵机构（PA）的温度冷却调整，前述第2温度调整机构（40）将涡轮分子泵机构（PA）加热调整。
真空泵

[发明专利]真空获得设备、磁共振系统及真空获得方法-CN202210568584.7在审
发明人：童俊达;张楠;袁亚洲 -专利权人：深圳市联影高端医疗装备创新研究院
申请日： 2022-05-24 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： F04C18/12 文献下载
摘要：该真空获得设备包括：罗茨泵组、分子泵组、连接于罗茨泵组、分子泵组和真空容器之间的管路组件，以及用以监测真空容器的真空度的真空规：管路组件上设有控制阀组件，控制阀组件用于控制罗茨泵组与真空容器之间的连通和断开，且用于控制分子泵组与真空容器之间的连通与断开；真空规和控制阀组件分别与控制装置连接，控制装置用于根据真空规的监测数据控制罗茨泵组的启闭、分子泵组的启闭以及控制阀组件的动作。该真空获得设备使得罗茨泵组与分子泵组切换非常方便。
真空获得设备磁共振系统方法

[发明专利]真空泵、以及真空泵构成零件-CN201980068548.0在审
发明人：坂口祐幸 -专利权人：埃地沃兹日本有限公司
申请日： 2019-10-24 - 公布日： 2021-05-28 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：提供一种能够高效地冷却气体，并且检修频次较少的真空泵。具备：主体壳体（14），具有气体的进气部（12）和排气部（13）；涡轮分子泵机构部（17），形成有定子翼（19）和转子翼（20）；螺纹槽泵机构部（18），设置于涡轮分子泵机构部（17）的下游侧；冷却阱部（81），将从涡轮分子泵机构部（17）导出的气体冷却而使其向螺纹槽泵机构部（18）侧流出；分隔壁（29），将从涡轮分子泵机构部（17）导出的气体引导至冷却阱部（81）。
真空泵以及构成零件

[发明专利]磁悬浮分子泵的转子悬浮中心测定方法-CN201110266901.1有效
发明人：张剀;武涵;李奇志;张小章;邹蒙 -专利权人：北京中科科仪技术发展有限责任公司;清华大学
申请日： 2011-09-09 - 公布日： 2012-04-25 - 主分类号： F04D27/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种磁悬浮分子泵的转子悬浮中心测定方法，该方法利用磁悬浮分子泵控制器控制磁悬浮分子泵转子转到较高的预设转速，然后再根据此时磁轴承各个磁极电流是否相等来调整和确定合适的转子悬浮中心，并将获得的转子悬浮中心位置记录到存储介质中；藉此本发明的测定方法可以自动寻找到合适的转子悬浮中心，保证了磁悬浮分子泵的稳定工作，并可实现磁悬浮分子泵与控制器的互换。
磁悬浮分子转子悬浮中心测定方法

[发明专利]用于涡轮分子泵的定子叶片单元-CN201780086639.8在审
发明人： R.G.霍尔勒;P.米尔纳 -专利权人：爱德华兹有限公司
申请日： 2017-12-14 - 公布日： 2019-09-20 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：包括聚合物定子叶片(2)阵列的用于涡轮分子泵的定子叶片单元(1)，包括这种定子叶片单元的涡轮分子泵，以及组装用于涡轮分子泵的定子叶片单元的方法。
定子叶片涡轮分子泵聚合物组装

[发明专利]涡轮分子泵减震器-CN201710683709.X在审
发明人：戴晓鹏 -专利权人：上海锆智电子科技有限公司
申请日： 2017-08-11 - 公布日： 2019-02-26 - 主分类号： F16F3/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种涡轮分子泵减震器，包括法兰一、筒体一、不锈钢波纹管，橡胶填充物、筒体二及法兰二。本发明提供的涡轮分子泵减震器，其通过上下两个法兰分别与扫描电子显微镜样品室和涡轮分子泵密封联接，通过不锈钢波纹管和橡胶填充物的共同作用，可以有效防止涡轮分子泵在运转过程中产生的震动向扫描电子显微镜样品室传递本发明在解决涡轮分子泵减震问题的同时又完成了涡轮分子泵的安装固定，极大地简化了装配过程的复杂性。
涡轮分子泵减震器法兰扫描电子显微镜不锈钢波纹管橡胶填充物样品室筒体减震安装固定密封联接运转过程装配过程震动传递

[发明专利]磁悬浮分子泵的主轴结构及磁悬浮分子泵-CN202111495714.0在审
发明人：顾艳庆;成航航;蒋国安;李赏 -专利权人：苏州中科科仪技术发展有限公司
申请日： 2021-12-08 - 公布日： 2022-03-22 - 主分类号： F04D29/053 文献下载
摘要：本发明提供了一种磁悬浮分子泵的主轴结构及磁悬浮分子泵，该磁悬浮分子泵的主轴结构包括：主轴，主轴具有与磁悬浮分子泵的保护轴承配合安装的周向圆周面；凹槽，设置于主轴的周向圆周面上；以及减震缓冲部件，设置于凹槽内本发明提供的磁悬浮分子泵的主轴结构在主轴的周向圆周面上设置了凹槽以及凹槽内的减震缓冲部件，当主轴跌落时，凹槽内减震缓冲部件使磁悬浮分子泵的主轴和保护轴承之间形成软连接，从而缓冲主轴与保护轴承之间由于碰撞产生的震动
磁悬浮分子主轴结构

[发明专利]一种移动式真空校准装置-CN202111312387.0有效
发明人：任元国;梁盈盈;曾玉林;林红 -专利权人：成都国光电气股份有限公司
申请日： 2021-11-08 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： G01L25/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种移动式真空校准装置，包括安装箱，所述安装箱上安装有超高真空室和低真空室，所述安装箱内安装有分子泵Ⅰ、分子泵Ⅱ、稳压瓶、缓冲罐、分子筛、涡旋式干泵和控制系统，所述分子泵Ⅰ、分子泵Ⅱ、稳压瓶、缓冲罐、分子筛、涡旋式干泵之间连接有循环管路，所述循环管路上设有控制阀门组件，所述安装箱底部安装有移动组件，用于移动安装箱。
一种移动式真空校准装置

[发明专利]一种磁悬浮分子泵的自适应控制系统及控制方法-CN201010619785.2有效
发明人：张凯;张小章;李奇志;邹蒙;武涵 -专利权人：清华大学;北京中科科仪技术发展有限责任公司
申请日： 2010-12-31 - 公布日： 2011-04-27 - 主分类号： F04D27/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种磁悬浮分子泵的自适应控制系统及控制方法，所述的控制系统包括数据采集存储单元和调整控制单元，所述的数据采集存储单元所采用的数据采集存储方法为采集并存储调试过程中分子泵安装于若干预定位置时的安装角α和旋转角β，以及通过实验得到的各预定安装位置处能使分子泵稳定运行的径向磁轴承偏置电流、轴向磁轴承偏置电流以及PID控制参数；所述调整控制单元所采用的调整控制方法为当磁悬浮分子泵安装在某一位置时，根据磁轴承静态工作电流估算分子泵的安装角α和旋转角β，并据此合理调整分子泵的径向磁轴承偏置电流、轴向磁轴承偏置电流和PID控制参数，使分子泵在任意安装位置均能稳定工作。
一种磁悬浮分子自适应控制系统控制方法

[发明专利]一种磁悬浮分子泵转子章动峰振动控制方法-CN201110272653.1有效
发明人：张剀;武涵;李奇志;张小章;邹蒙 -专利权人：北京中科科仪股份有限公司;清华大学
申请日： 2011-09-15 - 公布日： 2012-03-28 - 主分类号： F04D27/00 文献下载
摘要：种磁悬浮分子泵的转子章动峰振动控制方法，磁悬浮分子泵转子升速时，磁悬浮分子泵控制器控制转子位移检测装置采集转子位移信号，将所述位移信号经过快速傅里叶变换得到转子振动频谱。如果超过则采用章动峰抑制方法来抑制章动峰，实现了磁悬浮分子泵整个工作频段内转子章动峰的自适应控制。上述过程中如果所述转子振动超过安全阈值，则控制电机停机，保证磁悬浮分子泵的运行安全。本发明提出的控制方法解决了现有技术中通过预设固定参数抑制磁悬浮分子泵转子章动峰，抑制效果受到限制的技术问题，实现了对磁悬浮分子泵转子章动峰的自适应控制。
一种磁悬浮分子转子章动振动控制方法

[实用新型]分子泵结构镀膜用单元式真空室-CN201020190002.9有效
发明人：李桂良;苏宜龙 -专利权人：上海子创镀膜技术有限公司
申请日： 2010-05-12 - 公布日： 2010-12-29 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型涉及到一种分子泵结构镀膜用单元式真空室，属于磁控镀膜机械领域，技术方案是一个大真空腔室通过隔板分为若干个小真空单元，在每个真空单元的隔板上覆盖有阴极盖板，所述阴极盖板径向中心线位置上设置有分子泵安装法兰，同时，其上端和下端还分别设置有至少四个以上的溅射阴极安装孔，所述分子泵安装法兰上安装有分子泵，溅射阴极安装孔上安装有溅射阴极，当阴极盖板覆盖分子泵时，阴极溅射工作；当阴极盖板覆盖阴极溅射时，分子泵工作，解决了以前溅射阴极和分子泵不能同时工作的缺陷。
分子结构镀膜单元真空