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[发明专利]浆料供应装置和浆料供应方法-CN202280008058.3在审
发明人：崔贤偶;姜成模;金相珉;文景錄;朴鍾九;申宗祐;安塗詠;李在弼;全信煜;崔相勳 -专利权人：株式会社LG新能源
申请日： 2022-09-30 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： H01M4/04 文献下载
摘要：公开一种浆料供应装置和浆料供应方法。根据本公开内容的实施方式的浆料供应装置包括：浆料罐，用于储存浆料；温度控制器，用于将热水或冷水供应到浆料罐，以控制浆料的温度；和双管，用于在连接到浆料罐的同时将浆料供应到浆料罐并且允许热水或冷水流动以控制浆料的温度
浆料供应装置方法

[发明专利]晶片边缘抛光单元以及包括其的对晶片边缘抛光的装置和方法-CN201780093985.9在审
发明人：张俊荣 -专利权人：爱思开矽得荣株式会社
申请日： 2017-09-14 - 公布日： 2020-04-21 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：实施例提供了一种晶片边缘抛光单元，包括：处理腔室；抛光台，布置在所述处理腔室的下部区域，使得晶片被布置在其上；抛光单元，布置在所述抛光台的边缘上，用于抛光所述晶片；浆料存储单元，布置在所述处理腔室的上部区域；浆料供应单元，用于将浆料供应到所述浆料存储单元；纯水供应单元，用于将纯水供应到所述抛光台的上部区域；第一管道，用于将所述浆料从所述浆料存储单元供应到所述抛光台；浊度检测单元，用于检测所述第一管道内部的所述浆料的所述浊度；第二管道，用于将来自所述抛光台的所述浆料恢复到所述浆料存储单元；以及控制单元，用于根据所检测到的浊度来调节从所述浆料供应单元供应到所述浆料存储单元的所述浆料的量。
晶片边缘抛光单元以及包括装置方法

[发明专利]介电浆料的制造方法和多层电容器的制造方法-CN202210811948.X在审
发明人：朴廷振;金秀珉;崔虎森;沈揆正;尹政贺;李种晧 -专利权人：三星电机株式会社
申请日： 2022-07-11 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： H01G4/12 文献下载
摘要：本公开提供一种制造介电浆料的方法和制造多层电容器的方法。所述制造介电浆料的方法包括：将包括介电颗粒和溶剂的介电浆料供应到浆料供应模块；通过将所述介电浆料引入到颗粒分散模块中来分散所述介电浆料；通过将分散的介电浆料引入分级模块中，根据颗粒尺寸对所述介电颗粒进行分级；将所述介电颗粒的至少一部分回收到所述浆料供应模块；以及将回收到所述浆料供应模块的包括所述介电颗粒的所述至少一部分的所述介电浆料通过所述颗粒分散模块进行再分散。
浆料制造方法多层电容器

[发明专利]浆料供应系统-CN200810179778.8有效
发明人：徐铭宗;陈保罗;杨智强 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2008-12-03 - 公布日： 2009-06-10 - 主分类号： F17D1/08 文献下载
摘要：本发明提供一种浆料供应系统，此浆料供应系统具有多个供应模块及冲洗模块，此冲洗模块同时连接多个供应模块。每个供应模块包含浆料储槽及连接浆料储槽的至少一输送线，每条输送线导向一个化学机械抛光装置。
浆料供应系统

[发明专利]电极浆料批次信息跟踪管理系统及电极浆料批次信息跟踪管理方法-CN202280008618.5在审
发明人：全奇英;徐准孝 -专利权人：株式会社LG新能源
申请日： 2022-08-03 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： G06Q10/06 文献下载
摘要：提供了一种用于当电极浆料从混合器输送到涂布机时管理电极浆料的批次信息的电极浆料批次信息跟踪管理系统，该系统包括：多个槽，多个槽通过管路连接在混合器与涂布机之间，并且多个槽配置为将从混合器供应的电极浆料顺序地输送到涂布机；以及控制器，控制器配置为识别电极浆料的批次信息，为每个槽分配并记录供应到每个槽的电极浆料的批次信息，并且通过参考为每个槽记录的批次信息的历史来检测将电极浆料供应到涂布机的最终的供应槽的电极浆料批次信息
电极浆料批次信息跟踪管理系统方法

[发明专利]抛光工件的抛光装置及方法-CN200410082052.4有效
发明人：土肥俊郎;A·菲里迫西安;D·德那笛斯 -专利权人：土肥俊郎;不二越机械工业株式会社
申请日： 2004-11-22 - 公布日： 2005-07-27 - 主分类号： B24B37/04 文献下载
摘要：抛光装置能够改变浆料的pH值以调整抛光速率并且使用较高的平面度抛光工件。该抛光装置包括：压力容器；在压力容器中配备的抛光板；将工件挤压到抛光板上的挤压板；相对于挤压板移动抛光板从而抛光工件的驱动装置；向压力容器中供应碱性气体或酸性气体的气体供应源；从压力容器释放所供应气体的气体释放部；以及向抛光板上供应浆料的浆料供应装置。可以通过在浆料中溶解碱性气体或酸性气体来调整浆料的pH值。
抛光工件装置方法

[发明专利]具有刮擦固定装置的化学机械抛光设备-CN201880002198.3在审
发明人：高林;蒋阳波;王光毅;杨俊铖 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2018-10-24 - 公布日： 2019-04-02 - 主分类号： B24B37/10 文献下载
摘要：在示例中，一种用于CMP的设备包括台板、浆料供应源和至少一个刮擦固定装置。台板被配置为使其上的垫绕垫的中心轴旋转。浆料供应源被配置为在垫旋转时将浆料供应到垫上。所述至少一个刮擦固定装置被配置为当浆料随着垫旋转而在垫的圆周方向上行进浆料供应源与所述至少一个刮擦固定装置之间的距离时将浆料从垫上刮除。
浆料固定装置刮擦供应源台板配置化学机械抛光设备化学机械抛光中心轴刮除行进

[发明专利]用于二次电池的电极板的涂覆装置-CN201110340070.8有效
发明人：金廷庸;李虎燮;金秀涣;文炤壹;李亨鲁 -专利权人：三星SDI株式会社
申请日： 2011-11-01 - 公布日： 2012-10-17 - 主分类号： B05C5/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于二次电池的电极板的涂覆装置，该涂覆装置能够通过在实时基础上控制浆料涂覆条件而均匀地保持在活性材料层的宽度方向或涂覆方向上的涂覆厚度或涂覆品质。该涂覆装置包括：罐，存储浆料；泵，连接到罐并供应浆料；供应控制阀，控制从泵供应的浆料的供应；背压控制阀，连接在罐和供应控制阀之间并控制回流到罐的浆料的量；模具涂覆器，将从供应控制阀提供的浆料喷射到电极集流器的表面；干燥炉，干燥在电极集流器的表面上涂覆的浆料以形成活性材料层；密度计，测量活性材料层的负载水平；以及控制器，根据从密度计传输的负载水平数据来控制泵、供应控制阀、背压控制阀和模具涂覆器中的至少一个的操作。
用于二次电池极板装置

[发明专利]抛光装置和半导体器件的制造方法-CN202210957581.2在审
发明人：安宰仁;尹钟旭;郑恩先;徐章源 -专利权人： SKC索密思株式会社
申请日： 2022-08-10 - 公布日： 2023-02-17 - 主分类号： B24B37/10 文献下载
摘要：本发明提供一种抛光装置和半导体器件的制造方法，所述抛光装置包括在抛光浆料的供应中能够实现细分化的驱动的浆料供应部，所述浆料供应部的驱动能够实现在所述载体和所述平板的旋转和/或振动运动以及所述载体对所述抛光面的垂直加压条件等的有机关系上最佳的驱动，所述抛光装置包括：平板，抛光垫，安装于所述平板上，载体，用于容纳抛光对象，以及浆料供应部，包括至少一个喷嘴；所述载体沿从所述平板的中心到所述平板的末端的轨迹进行振动运动，所述浆料供应部以与所述载体的振动运动的轨迹和速度相同的轨迹和速度进行振动运动
抛光装置半导体器件制造方法

[发明专利]用于生产含有生物碱的材料的流延片材的流延设备和方法-CN201980042482.8有效
发明人： S·卡波;M·A·F·范登布加特 -专利权人：菲利普莫里斯生产公司
申请日： 2019-06-28 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： A24B3/14 文献下载
摘要：本发明涉及一种流延含有生物碱的材料的片材(50)的流延设备(100)，所述流延设备包括：流延箱(10)，所述流延箱适于容纳待流延以形成所述片材的浆料(18)，所述流延箱限定内体积；浆料供应元件(5)，所述浆料供应元件限定供应通道(15)，所述供应通道适于沿着供应方向将所述浆料从入口(90)进给到所述流延箱的内体积中，所述供应方向与水平面形成约‑45度与约+45度之间的角度；可移动支撑件(2)；以及流延元件(1)，所述流延元件适于使容纳于所述流延箱中的浆料流延到所述可移动支撑件上以便形成所述流延片材
用于生产含有生物碱材料流延片材设备方法

[实用新型]用于改善辊压工序中基材边缘断带的涂胶装置-CN201922486376.9有效
发明人：马运法;闫志强;谢马龙;施源鹏;张盛武 -专利权人：时代上汽动力电池有限公司
申请日： 2019-12-31 - 公布日： 2020-10-27 - 主分类号： B05C5/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于改善辊压工序中基材边缘断带的涂胶装置，它包括基座、用于对基材边缘进行涂胶的涂布头、用于储存浆料的浆料供应罐及用于对涂布头在基材边缘所涂的浆料进行烘干的烘干装置，所述涂布头安装在基座上；所述浆料供应罐与所述涂布头相连通以向所述涂布头供应浆料。
用于改善工序基材边缘涂胶装置

[发明专利]浆料供应设备-CN201610044162.4在审
发明人：黄继震;黄胜茂;邱智宇 -专利权人：汉民科技股份有限公司
申请日： 2016-01-22 - 公布日： 2016-10-05 - 主分类号： B05C5/00 文献下载
摘要：一种浆料供应设备包含一浆料容器、一搅拌装置、一供料管以及一供料进气装置。浆料容器用以容纳浆料。搅拌装置用以搅拌浆料容器中的浆料。供料管连通浆料容器。供料进气装置连通浆料容器，用以提供一第一气体至该浆料容器中，并利用第一气体推动浆料容器中的浆料流经供料管，而进入一浆料喷涂机中。由于浆料供应设备可利用第一气体将浆料容器中的浆料补充至浆料喷涂机中，而无须由操作者手动地打开料管，倒入浆料，再封闭料管，故可大幅节省人力成本。
浆料供应设备

[发明专利]化学机械抛光装置及驱动其的方法-CN202010521547.1有效
发明人：朴宗烈;潘俊昊 -专利权人：爱思开海力士有限公司
申请日： 2020-06-10 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： B24B37/10 文献下载
摘要：化学机械抛光(CMP)装置可以包括：附接有晶片的抛光头；布置在抛光头下方的抛光垫；以及被配置为将浆料供应到抛光垫与晶片之间的空间的浆料供应器。浆料供应器可以包括在抛光垫的直径方向上布置的多喷射喷嘴。
化学机械抛光装置驱动方法

[发明专利]一种精抛机浆料供应装置-CN201910427616.X在审
发明人：刘金升;杨青山 -专利权人：苏州施密科微电子设备有限公司
申请日： 2019-05-22 - 公布日： 2019-07-19 - 主分类号： B24B57/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种精抛机浆料供应装置，包括横板，所述横板顶部的左侧固定连接有壳体，所述壳体顶部的左侧连通有进料仓，所述壳体的顶部固定连接有传动箱，所述传动箱的顶部固定连接有电机。进料仓、传动箱、电机、传动机构、第二固定杆、第二固定柱、第三固定杆、第四固定杆、第一固定杆、毛刷、过滤网、第一固定柱、第一搅拌杆、第二搅拌杆、抽水泵、第一排污管、第二排污管和滚轮的配合使用，解决了现有的浆料供应装置在使用过程中过滤网容易堵塞，浆料容易沉淀，从而造成浆料供应装置使用不方便的问题，该精抛机浆料供应装置，具备方便使用的优点，提高了浆料供应装置的实用性。
浆料供应装置固定杆传动箱精抛机横板壳体固定柱过滤网搅拌杆进料仓排污管电机壳体顶部抽水泵滚轮浆料毛刷连通沉淀堵塞

[实用新型]一种精抛机浆料供应装置-CN201920737588.7有效
发明人：刘金升;杨青山 -专利权人：苏州施密科微电子设备有限公司
申请日： 2019-05-22 - 公布日： 2019-12-31 - 主分类号： B24B57/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种精抛机浆料供应装置，包括横板，所述横板顶部的左侧固定连接有壳体，所述壳体顶部的左侧连通有进料仓，所述壳体的顶部固定连接有传动箱，所述传动箱的顶部固定连接有电机。进料仓、传动箱、电机、传动机构、第二固定杆、第二固定柱、第三固定杆、第四固定杆、第一固定杆、毛刷、过滤网、第一固定柱、第一搅拌杆、第二搅拌杆、抽水泵、第一排污管、第二排污管和滚轮的配合使用，解决了现有的浆料供应装置在使用过程中过滤网容易堵塞，浆料容易沉淀，从而造成浆料供应装置使用不方便的问题，该精抛机浆料供应装置，具备方便使用的优点，提高了浆料供应装置的实用性。
浆料供应装置固定杆传动箱横板壳体本实用新型固定柱过滤网搅拌杆进料仓精抛机排污管电机壳体顶部抽水泵滚轮浆料毛刷沉淀连通堵塞

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