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[发明专利]化学液供应与回收装置-CN201310113136.9无效
发明人：王坚;何增华;贾照伟;王晖 -专利权人：盛美半导体设备(上海)有限公司
申请日： 2013-04-02 - 公布日： 2014-10-15 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明揭示了一种化学液供应与回收装置，包括：溶剂供应单元、化学液原液供应单元、化学液混合和供应单元及回收液混合和供应单元。溶剂供应单元分别向化学液混合和供应单元及回收液混合和供应单元供应溶剂。化学液原液供应单元分别向化学液混合和供应单元及回收液混合和供应单元供应化学液原液。化学液混合和供应单元将溶剂和化学液原液均匀混合并输出。回收液混合和供应单元将已经过净化处理过的回收液与溶剂或化学液原液均匀混合并供应至化学液混合和供应单元。本发明通过将回收液回收并净化，然后配比成浓度与化学液混合和供应单元内的化学液的浓度一致，最后再供应至化学液混合和供应单元用于工艺加工，从而使回收液得到了循环利用，降低了工艺加工成本，同时，也减少了回收液的排放
化学供应回收装置

[发明专利]化学物质供应单元、基板处理装置和基板处理方法-CN202011609935.1在审
发明人：尹泰锡;朴贤淑 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2021-07-16 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种用于处理基板的装置包括：壳体，具有处理基板的处理空间；支撑单元，在处理空间中支撑基板；喷嘴，将化学物质分配到基板上；化学物质供应单元，将化学物质供应到喷嘴；以及控制器，控制化学物质供应单元。化学物质供应单元包括：罐，具有储存化学物质的内部空间；传感器，检测储存在罐中的化学物质的剩余量；入口管线，将化学物质从化学物质供应源供应到罐；出口管线，将化学物质从罐供应到喷嘴；以及排放管线，排出罐中的化学物质在化学物质保留在罐中的状态下，当由传感器检测到的剩余量达到第一预设量或更少时，控制器控制化学物质供应单元将新的化学物质从化学物质供应源供应到罐。
化学物质供应单元处理装置方法

[发明专利]化学供应系统及其阀箱设计-CN200310101602.8有效
发明人：洪锡焜;徐乾智 -专利权人：旺宏电子股份有限公司
申请日： 2003-10-21 - 公布日： 2005-04-27 - 主分类号： F17D1/00 文献下载
摘要：本发明是关于一种化学供应系统及其阀箱设计，该化学供应系统，包括一第一化学供应装置、数个主管路以及一第二化学供应装置。其中，第一化学供应装置是配置在一第一楼层，且该第一化学供应装置内具有一控制单元。数个主管路是与第一供应装置连通，且其中一主管路是用来配送化学物至第一楼层的使用端。而第二化学供应装置是配置在一第二楼层，且另一主管路是由第一化学供应装置连通至第二化学供应装置，以配送化学物至第二楼层的使用端。本发明使用多个主管路以配送化学试剂或气体，因此可以解决管路限流的问题。
化学供应系统及其设计

[发明专利]化学物质供应单元、基片处理设备及使用该基片处理设备处理基片的方法-CN201410126980.X有效
发明人：尹泰锡;金秉彦;曹昌律 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2014-03-31 - 公布日： 2017-05-17 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供了一种基片处理设备，包括壳体；支承单元，该支承单元位于壳体内并且支承基片；喷嘴单元，该喷嘴单元将化学物质供应至设置在支承单元上的基片；以及化学物质供应单元，该化学物质供应单元将化学物质供应至喷嘴单元在本文中，化学物质供应单元包括化学物质供应源；第一罐和第二罐，该第一罐和第二罐存储化学物质；化学物质供应管路，该化学物质供应管路将化学物质从化学物质供应源供应至第一罐和第二罐；化学物质排放管路，该化学物质排放管路将化学物质从第一罐和第二罐供应至喷嘴单元；循环管路，该循环管路允许化学物质分别循环通过第一罐和第二罐；安装在循环管路上的构件；和控制器，该控制器控制所述构件。
化学物质供应单元处理设备使用方法

[发明专利]多种化学制品供应管线-CN201410858458.0在审
发明人： C·A·奥古斯特;R·达尔兹尔 -专利权人：通用电气石油和天然气英国有限公司
申请日： 2014-12-18 - 公布日： 2015-08-12 - 主分类号： F17D3/03 文献下载
摘要：本发明涉及多种化学制品供应管线。在供应管线中供应多种化学制品的方法，其中化学制品作为不连续的块而供应，即不在供应管线中混合。化学制品可以这样的顺序供应，相邻化学制品之间不相混合也不相互反应。备选地，不活泼隔离件可以用于每一化学制品之间。在供应管线的远端，化学制品可存储在相应化学制品罐中，且不活泼隔离件被送到废弃罐。
多种化学制品供应管线

[发明专利]化学液体供应装置和具有其的半导体处理装置-CN201910583940.0在审
发明人：丁大声;苏相允;宋钟民;姜泯浩 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2019-07-01 - 公布日： 2020-06-02 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：提供了一种化学液体供应装置和半导体处理装置。在半导体制造工艺期间向处理室供应化学液体的化学液体供应装置可以包括：化学液体供应管，化学液体在其中流动，并且化学液体供应管的通过其喷射化学液体的喷射端延伸到处理室中；设置在化学液体供应管外部的外部电极；
化学液体供应装置具有半导体处理

[发明专利]化学制剂容器自动运送装置及自动运送方法-CN201980045975.7有效
发明人：宋勇益;尹炳春;赵济东;高秉导;林钟佑 -专利权人：系统科技公司
申请日： 2019-06-24 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： B65G47/74 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种可将已确认化学制剂供应装置所需的化学制剂信息的化学制剂容器自动供应于化学制剂供应装置的化学制剂容器自动运送装置及自动运送方法。用于实现该目的的化学制剂容器自动运送装置包括：至少一条运送路线，用于将投放于投放部(110)的化学制剂容器(2)运送至化学制剂供应装置(5)；控制部，进行控制使通过所述运送路线运送的所述化学制剂容器(2)供应至所述化学制剂供应装置(5)；运送车(600)，用于将所述化学制剂容器(2)从所述运送路线传递于所述化学制剂供应装置(5)，或者将所述化学制剂容器(2)从所述化学制剂供应装置(5)传递至所述运送路线
化学制剂容器自动运送装置方法

[发明专利]用于晶圆刻蚀的化学液供应装置及化学液供应方法-CN201711167852.X有效
发明人：吴良辉;蒋阳波;张静平;汪亚军;顾立勋 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2017-11-21 - 公布日： 2020-12-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明属于半导体技术领域，具体涉及一种用于晶圆刻蚀的化学液供应装置及化学液供应方法。本发明所述的用于晶圆刻蚀的化学液供应装置，包括第一化学液供应槽、第二化学液供应槽和液压泵，液压泵的输出端的总管路上设有第一支路和第二支路，第一支路上设有第一控制阀门，第二支路与第一化学液供应槽的内部相通连接，第二支路上设有第二控制阀门，液压泵的输入端分别与第一化学液供应槽和第二化学液供应槽的内部相通连接。通过使用本发明所述的用于晶圆刻蚀的化学液供应装置及化学液供应方法，能够有效地对化学液进行预处理，同时，在化学液预处理过程中能够对化学液的液位高度进行实时检测，减少了化学液供应过程中存在的安全隐患。
用于刻蚀化学供应装置方法

[发明专利]化学液供应装置及半导体设备-CN201911221421.6在审
发明人：代迎伟;李军世;金一诺;王坚;王晖 -专利权人：盛美半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2019-12-03 - 公布日： 2021-06-04 - 主分类号： B01F13/04 文献下载
摘要：本发明提供一种化学液供应装置及半导体设备。化学液供应装置包括原液供应模块、混液模块及互连模块；原液供应模块包括多个化学液供应单元，多个化学液供应单元用于供应不同的化学液；混液模块包括混合腔体，用于将化学液进行混合；互连模块包括互连管和多个液体管路，互连管用于连通原液供应模块和混液模块的内部空间，液体管路用于连通化学液供应单元和混合腔体，液体管路的数量与化学液供应单元的数量相对应。相较于现有技术，本发明的化学液供应装置及半导体设备结构更加紧凑、可减少设备占用空间，设备的稳固性大大提高，有助于提高生产安全性。
化学供应装置半导体设备

[发明专利]化学制剂容器自动运送装置及自动运送方法-CN201880092951.2有效
发明人：宋勇益;尹炳春;赵济东;高秉导;林钟佑 -专利权人：系统科技公司
申请日： 2018-12-27 - 公布日： 2022-06-21 - 主分类号： B65G43/08 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种化学制剂容器自动运送装置及自动运送方法，可将已确认化学制剂供应装置所需的化学制剂信息的化学制剂容器自动供应于化学制剂供应装置。为了实现该目的的本发明的化学制剂容器自动运送装置，包括：至少一个运送路线，用于将投放于投放部(110)的化学制剂容器(2)运送至化学制剂供应装置(5)；控制部，接收通过所述运送路线运送的所述化学制剂容器(2)的化学制剂信息，若所述接收的化学制剂信息与所述化学制剂供应装置(5)所需的信息一致，则进行控制使所述化学制剂容器(2)供应至所述化学制剂供应装置(5)。
化学制剂容器自动运送装置方法

[实用新型]一种化学品自动切换供应设备-CN202021359573.0有效
发明人：吴启聪;喻正义;申元澈;唐双双 -专利权人：阁壹系统集成设备（滁州）有限公司
申请日： 2020-07-13 - 公布日： 2021-02-12 - 主分类号： G05B19/05 文献下载
摘要：本实用新型提供一种化学品自动切换供应设备，包括供应组件，防溅组件，电控柜和PLC控制器，本实用新型中，供应组件和PLC控制器的设置，供应箱通过供应管为各个应用处进行化学品的供应，PLC控制器控制相应电磁阀的开启和关闭，实现对不同应用处化学品供应的自动切换，相比采用人工进行阀门的开启和关闭，减少供应设备的人工成本，操作人员与供应设备不用近距离接触，提高供应设备的安全性能；防溅组件的设置，通过进料管往供应箱内添加化学品时，防溅板随着化学品液面的上升而上升，防溅板始终处于化学品的液面表层，对化学品起到防护作用，避免在添加时化学品出现溅起的现象，防止不安全情况的发生。
一种化学品自动切换供应设备

[实用新型]一种化学品供应稳压装置-CN202121663610.1有效
发明人：李杨;张峰;孙荣兵;周文斌;孙剑;高裕弟 -专利权人：昆山梦显电子科技有限公司
申请日： 2021-07-21 - 公布日： 2021-12-14 - 主分类号： F04B15/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及稳压设备技术领域，公开一种化学品供应稳压装置，包括：容器主体，容器主体中形成容腔，容腔的内壁上设有防腐蚀层；弹性膜片，弹性膜片的边沿密封连接于容器主体的内壁上以将容腔分为稳压腔和化学品供应腔，稳压腔中充有具有一定压力的稳压气体；化学品进口，化学品进口设置于容器主体上并与化学品供应腔连通，化学品进口与隔膜泵的出口连通用于将隔膜泵输送的化学品通入化学品供应腔；化学品出口，化学品出口设置于容器主体上并与化学品供应腔连通，化学品出口用于排出化学品。通过上述结构，该化学品供应稳压装置能够保证化学品的供应压力相对稳定，且具有较长的使用寿命。
一种化学品供应稳压装置

[发明专利]化学制剂容器自动运送装置及自动运送方法-CN202080070098.1在审
发明人：宋勇益;蔡熙峯;崔鎭圭;尹炳春;元锺豪 -专利权人：系统科技公司
申请日： 2020-10-06 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： B65G37/00 文献下载
摘要：本发明的目的在于，提供可使将化学制剂供应装置的空的化学制剂容器更换为新的化学制剂容器时消耗的时间最小化的化学制剂容器自动运送装置及自动运送方法。用于实现其的化学制剂容器自动运送装置包括：化学制剂供应装置，用于将收容在第一化学制剂容器的化学制剂供应至化学制剂使用位置；等待部，使用于投放至上述化学制剂供应装置的第二化学制剂容器暂时等待，成为运出上述第一化学制剂容器的路径；避让部，当从上述化学制剂供应装置运出在上述化学制剂供应装置中使用完的上述第一化学制剂容器时，使上述第一化学制剂容器避让来能够将上述第二化学制剂容器投放至上述化学制剂供应装置的内部；入口部，设置于上述化学制剂供应装置的入口侧，成为用于运出上述第一化学制剂容器的路径和用于投放上述第二化学制剂容器的路径；以及控制部，在上述等待部、避让部及入口部中分别控制上述第一化学制剂容器和第二化学制剂容器的运送。
化学制剂容器自动运送装置方法

[发明专利]液体化学品供应装置及液体化学品供应系统-CN202310187784.2在审
发明人：孙永俊;郑雨信;尹荣云;高定奭 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2023-02-28 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： F17D1/14 文献下载
摘要：本发明提供了用于向设置在不同高度处的多个基板处理装置供应液体化学品的液体化学品供应装置及液体化学品供应系统，液体化学品供应装置包括：泵，用于提供用于将液体化学品移动到基板处理装置的液压；多个液体化学品供应线，具有连接到泵的端部和分别连接到多个基板处理装置的另一端部，从而提供液体化学品通过其移动的通道；以及泵排放线，连接到泵以将液体化学品中的一些排出到外部，其中，在液体化学品供应线与泵排放线之间连接有流量校准线
液体化学品供应装置系统

[发明专利]化学供应系统-CN200410003594.8无效
发明人：郑振华 -专利权人：矽统半导体股份有限公司
申请日： 2004-02-03 - 公布日： 2005-08-10 - 主分类号： B01J19/00 文献下载
摘要：一种化学供应系统，具有一第一系统与一第二系统。第一系统具有一第一储存部与一第一过滤元件；第一储存部是用以储存一化学液体，第一过滤元件则以一第一管状物与一第二管状物与第一储存部连接。且本发明的化学供应系统还具有一第三管状物，以连接第一系统与第二系统。第二系统则具有一第二储存部与一第二过滤元件，第二过滤元件以一第四管状物与一第五管状物与第二储存部连接。
化学供应系统

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