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- [发明专利]键合装置、键合装置的形成方法及键合方法-CN202310693688.5在审
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骆中伟;蓝天;华文宇
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芯盟科技有限公司
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2023-06-12
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2023-09-15
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H01L21/67
- 一种键合装置、键合装置的形成方法及键合方法，其中键合装置用于键合芯片和第一晶圆，所述第一晶圆包括若干芯片区，且各芯片区内具有待键合区，所述键合装置包括：衬底晶圆，所述衬底晶圆包括若干单元格区，当所述第一晶圆与所述衬底晶圆表面相贴合时各所述单元格区与各所述芯片区重合；位于所述衬底晶圆表面的辅助层，各单元格区上的所述辅助层内具有凹槽，所述凹槽底部暴露出所述衬底晶圆表面，所述凹槽用于容纳所述芯片，所述凹槽相对其所在的单元格区的位置与所述待键合区相对所述芯片区的位置一致，降低了若干所述芯片与第一晶圆之间的对准难度，有利于提高对准精度，提高键合获取的结构性能。
- 装置形成方法
- [发明专利]激光合束系统-CN201410693817.1在审
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郭丽;吕启涛;何柏林;高云峰
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大族激光科技产业集团股份有限公司
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2014-11-26
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2015-04-08
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G02B27/28
- 激光合束系统通过第一全反射模块和第二全反射模块分别将S偏振态激光及P偏振态激光进行全反射处理，使得能够调整入射S偏振态激光和P偏振态激光的水平和垂直。经过全反射处理的S偏振态激光经由第一偏振模块反射到第二偏振模块后，由第二偏振模块进行再次反射。经过全反射处理的P偏振态激光则由第二偏振模块折射到与第二偏振模块反射的S偏振态激光的光路上，从而完成S偏振态激光与P偏振态激光的合束。单台倍频激光器随着频率增加平均功率会降低。因此，S偏振态激光与P偏振态激光的合束后，频率是单台激光器的两倍，而平均功率不变。即相当于提高了高频下的单脉冲能量，从而能够提高激光的加工速度。
- 激光系统
- [发明专利]一种自由空间复合光合波器-CN201510824203.7在审
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高国祥
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深圳新飞通光电子技术有限公司
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2015-11-24
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2017-05-31
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G02B6/27
- 包括两个非偏振合波器、一个偏振旋转器、及一个偏振合波器；所述其中一个非偏振合波器合并第一组输入光信号并保持其偏振态，所述另一个非偏振合波器合并第二组输入光信号并保持其偏振态，然后经过偏振旋转器将第二组各光信号偏振态全部旋转至与第一组光信号偏振态垂直，然后两组光信号分别透射和反射进入偏振合波器，合并成一路光信号输出。通过本发明实施例可以克服单个非偏振合波器信号通道数目大于4个且信号通道密集时无法做到低插损，输入通道位置准确，易加工等问题，从而使更高如400G的多通道高速光组件及模块的商用成为可能。
- 一种自由空间复合光合
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