[发明专利]用于超高真空的永磁体及其制造方法无效
| 申请号： | 96192129.3 | 申请日： | 1996-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN1091537C | 公开（公告）日： | 2002-09-25 |
| 发明（设计）人： | 菊井文秋;池上雅子;吉村公志 | 申请（专利权）人： | 住友特殊金属株式会社 |
| 主分类号： | H01F1/04 | 分类号： | H01F1/04;H01F41/02 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 徐汝巽 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 为了提供可用于超高真空气氛的永磁体，所述磁体可用于要求低于1×10-9Pa的超高真空气氛的波动器，具有优异的磁性能，并涂敷致密的附着膜，避免产生气体或者排出气体；利用以下顺序的工艺在R-Fe-B系永磁体表面涂敷各种膜，亦即，(1)利用离子溅射法清洁磁体表面区域，(2)通过薄膜形成技术例如离子镀法形成Ti下涂层，(3)利用薄膜形成技术例如离子镀法，在氩气和氮气的混合气体中，形成具有朝向Ti涂敷层缓慢增大的氮浓度的氮扩散层(TiNx，x＝0～1)；或者利用离子镀法在Ti涂敷层上形成Al涂敷层；或者利用离子反应技术，在N2气氛中在所述Al涂敷层上形成AlN涂敷膜；或者在含N2气氛中提供离子反应镀法，在Al涂敷层上形成复合化合物Ti1-xAlxN。#! | ||
| 搜索关键词： | 用于 超高 真空 永磁体 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种R-Fe-B系合金制成的可用于超高真空的磁体，具有涂敷于所述磁体表面层上的Ti层作为下涂敷层、和AlN涂敷层或Ti1-xAlxN涂敷层(x：0.03～0.70)中任一种作为外涂敷层，其中在所述的下涂敷层和外涂敷层之间插入铝涂敷层作为中间层。
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