[实用新型]一种金属有机化学气相沉积设备

摘要

本实用新型涉及化学气相沉积设备技术领域，具体涉及一种金属有机化学气相沉积设备，包括炉体、原料仓、尾气管道、尾气吸收罐和气密装置，气密装置包括定位圆环、移动圆环、移动组件、固定组件和辅助组件，定位圆环与炉体固定连接，并与尾气管道抵接，移动圆环通过移动组件与炉体连接，固定组件分别设置在定位圆环和移动圆环上，在对尾气进行排出至尾气吸收罐内时，通过移动组件将移动圆环朝着定位圆环的方向移动，使得移动圆环与定位圆环抵接，此时移动圆环与定位圆环将尾气管道与炉体的连接处完全包裹住，从而提高尾气管道与炉体之间的气密性，使得未经处理的尾气不会泄露至空气中，对空气起到保护作用。