[实用新型]一种三氯氢硅合成炉的升温系统有效
| 申请号： | 202320095060.0 | 申请日： | 2023-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN219429720U | 公开（公告）日： | 2023-07-28 |
| 发明（设计）人： | 李兵;蒲勇;张芥铭;明勇;庹如刚;张小强;彭杨;侯槟;杨加平 | 申请（专利权）人： | 四川永祥新能源有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 成都天嘉专利事务所(普通合伙) 51211 | 代理人： | 王艳平 |
| 地址： | 614800 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种三氯氢硅合成炉的升温系统，属于多晶硅生产中三氯氢硅合成设备技术领域，包括三氯氢硅合成炉，所述三氯氢硅合成炉连接有用于升温三氯氢硅合成炉的氯硅烷管线或氢气与氯硅烷的混合气管线，氯硅烷管线或混合气管线上设有加热装置，三氯氢硅合成炉顶部的出料口连接气体回收子系统，解决了现有技术中升温三氯氢硅合成炉系统存在大量的氮气、氯化氢浪费或三氯氢硅合成炉升温慢，影响生产效率的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三氯氢硅 合成 升温 系统 | ||
【主权项】：
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