[实用新型]一种小尺寸金属靶材的批量绑定装置

摘要

本申请涉及磁控溅射靶材制备的技术领域，特别是涉及一种小尺寸金属靶材的批量绑定装置。该批量绑定装置包括：加热平台、防护堤坝和涂铟机构；所述防护堤坝置于所述加热平台的上方且呈合围结构，合围结构的内部形成用于放置背板、靶材及铟焊材的容纳空间；所述涂铟机构用于将熔融状态的铟焊材涂抹到所述背板与所述靶材焊接结合表面。本申请的小尺寸金属靶材的批量绑定装置，可以实现小尺寸靶材的批量润湿、统一堤坝防护和快速调整，大大提升了靶材的绑定效率，减少了操作者面对加热平台的操作时间。