[发明专利]一种探针全方位测量装置及方法在审
申请号: | 202311219788.0 | 申请日: | 2023-09-21 |
公开(公告)号: | CN116953590A | 公开(公告)日: | 2023-10-27 |
发明(设计)人: | 汪明涛;罗雄科;邹斌 | 申请(专利权)人: | 上海泽丰半导体科技有限公司 |
主分类号: | G01R35/00 | 分类号: | G01R35/00;G01B11/00;G01B11/30 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 陶玉龙 |
地址: | 201306 上海市浦东新区中国(上海)自由*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明涉及半导体测试技术领域,更具体的说,涉及一种探针全方位测量装置及方法。本装置,包括3D扫描设备、吸取探针结构、载盘、夹取探针结构以及若干测量相机:载盘用于摆放所需测量的探针;3D扫描设备用于对探针进行形态扫描;吸取探针结构用于在扫描完成后吸取探针并调节探针位置,使得探针指向特定方向;夹取探针结构用于从吸取探针结构处夹取探针并移动至测量位置;若干测量相机安装在测量位置对应的若干功能区域,从不同测量方向对探针进行识别、测量与判断,获得探针全方位的形态与尺寸数据。本发明可以对整个探针以及针尖进行全方位测量,直观地判断探针的全方位尺寸和平整度,有效筛选适用于探针卡的探针。 | ||
搜索关键词: | 一种 探针 全方位 测量 装置 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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