[发明专利]一种用于制备纳米晶薄膜的夹具台、制备装置及制备方法在审
| 申请号： | 202311185988.9 | 申请日： | 2023-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN116926492A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 许高坡;梁蝉;滕飞 | 申请（专利权）人： | 广州广钢气体能源股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/02;C23C14/35 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 林丽明 |
| 地址： | 511464 广东省广州市*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及纳米晶体薄膜制备技术领域，具体是涉及一种用于制备纳米晶薄膜的夹具台、制备装置及制备方法，夹具台包括基板、用于吸附固定玻璃衬片的承托机构及能将导电丝的两端夹紧并绷设在承托机构上的两组夹丝机构，制备装置包括夹具台、开槽机构、嵌丝机构、等离子清洁机构及磁控溅射机构；夹具台能够在开槽机构、嵌丝机构、等离子清洁机构和磁控溅射机构所在的工作区间内移动。本发明通过将玻璃衬片放置在夹具台上，通过开槽机构在玻璃衬片上开槽后嵌入导电丝，在等离子清洁机构清洁后通过磁控溅射机构在玻璃衬片上溅射纳米晶膜，提供一种新的制备纳米晶薄膜的制备装置及其制备方法，操作过程简单，效率高，能够实现批量产品的加工。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 制备 纳米 薄膜 夹具 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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