[发明专利]蒸镀掩模中间体在审
| 申请号： | 202310870828.1 | 申请日： | 2020-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN116926466A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 新纳干大;寺田玲尔;武田宪太;小林昭彦 | 申请（专利权）人： | 凸版印刷株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H10K71/16;H10K59/10;H05B33/10 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 戚宏梅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： |
本发明涉及一种蒸镀掩模中间体，具备：铁‑镍系合金制的多个掩模板，包括多个掩模孔，具有第1面以及第2面，该第2面是与上述第1面相反侧的面，用于与蒸镀对象接触；掩模框架，具有比上述掩模板高的刚性，且具有多个开口，该掩模框架以各掩模板覆盖1个上述开口的方式与上述掩模板的上述第1面接合；多个树脂层，各一个树脂层与上述掩模板的上述第2面接合；以及多个玻璃基板，各一个玻璃基板与各树脂层接合，在25℃以上100℃以下的温度范围内，各玻璃基板的线膨胀系数小于层叠于该玻璃基板的上述掩模板的线膨胀系数，且各玻璃基板的线膨胀系数与层叠于该玻璃基板的上述掩模板的线膨胀系数之差的绝对值为1.3×10 |
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| 搜索关键词： | 蒸镀掩模 中间体 | ||
【主权项】：
暂无信息
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