[发明专利]一种基于氧化炉的铜皮分段氧化工艺在审

专利信息
申请号: 202310523297.9 申请日: 2023-05-10
公开(公告)号: CN116426863A 公开(公告)日: 2023-07-14
发明(设计)人: 严星冈;陈华星;邱本光;詹学武;韩健 申请(专利权)人: 广德东风半导体科技有限公司;广德东风电子有限公司
主分类号: C23C8/10 分类号: C23C8/10
代理公司: 合肥正则元起专利代理事务所(普通合伙) 34160 代理人: 杨润
地址: 242200 安徽省*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开一种基于氧化炉的铜皮分段氧化工艺,步骤一:启动隧道炉内的电阻丝进行加热;步骤二:将铜片输送至隧道炉内;步骤三:对铜片进行氧化,并进行输送;步骤四:重复步骤三,再进行退火;通过选用能够进行分段加热的氧化炉,并以逐渐升温的方式对铜皮表面进行氧化,能够优先在铜皮的表面生成氧化亚铜,再经过多次高温进行氧化,从而再对铜皮表面的氧化亚铜氧化成氧化铜,相较于传统的直接对铜皮表面进行氧化的方式,能够避免氧化后的铜片表面存在部分氧化亚铜被氧化铜所覆盖,从而能够对铜皮进行充分氧化,导致氧化后的铜片表面不均匀的情况。
搜索关键词: 一种 基于 氧化 铜皮 分段 工艺
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