[发明专利]MEMS麦克风在审
| 申请号： | 202310298593.3 | 申请日： | 2023-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN116806004A | 公开（公告）日： | 2023-09-26 |
| 发明（设计）人： | 丝山寿毅;叶肇;内田雄喜;吉田拓马;大尾光明;堀本恭弘 | 申请（专利权）人： | MMI半导体有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 范胜杰;文志 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种MEMS麦克风，其在抑制MEMS麦克风的电路规模的增大的同时，生成相位反转的差动信号。MEMS麦克风具有：具有导电性的振动膜；第一可变电容器，其具有与振动膜对置的第一固定电极，且静电电容根据振动膜的振动而变化；第二可变电容器，其具有与振动膜对置的第二固定电极，且静电电容根据振动膜的振动而变化；第一电压输出部，其输出根据第一可变电容器的静电电容的变化而变化的第一电压；以及第二电压输出部，其输出根据第二可变电容器的静电电容的变化而变化的第二电压，对第一固定电极施加第一偏置电压，对第二固定电极施加基准电压，对振动膜施加第二偏置电压，该第二偏置电压与基准电压之差为第一偏置电压与基准电压之差的一半。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 | ||
【主权项】：
暂无信息
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