[实用新型]光罩拾取装置和光刻设备

摘要

本申请涉及一种光罩拾取装置及光刻设备。光罩拾取装置包括安装座体、转动主体、拾取组件及感测组件。安装座体包括基座、第一驱动件及升降座；转动主体包括转动座及第二驱动件，转动座绕第一方向上的轴线转动安装于升降座的顶部，第二驱动件用以驱动转动座转动至拾取位置；拾取组件包括接触件与拾取件，在转动座处于拾取位置时，接触件与盖板凸出于盒体的部分接触；感测组件包括控制器及安装于接触件的第一传感器；第一传感器用于获取接触件与盖板接触的接触信号，控制器根据接触信号控制拾取件拾取光罩，当未接收到接触信号或者接触信号出现异常时，控制器还可以控制第一驱动件与第二驱动件停止，防止光罩出现碰撞而损坏。