[实用新型]气体处理装置和基片处理装置有效
| 申请号： | 202221337643.1 | 申请日： | 2022-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN218485582U | 公开（公告）日： | 2023-02-17 |
| 发明（设计）人： | 津贺尾圭祐;青木大辅 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | B01D53/18 | 分类号： | B01D53/18;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;刘芃茜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供能够减少溶解液的使用量的气体处理装置和基片处理装置。气体处理装置包括管道、分隔板和液供给部。管道在内部具有供气体通过的流路。分隔板是将流路分隔为多个空间的分隔板，由能够透过气体且能够保持液体的多孔材料形成。液供给部对分隔板供给能够溶解气体中包含的对象成分的溶解液。并且，气体处理装置使通过流路的气体与被保持在分隔板中的溶解液接触。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 处理 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东京毅力科创株式会社，未经东京毅力科创株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202221337643.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种用于电力检修的警示装置
- 下一篇：一种采用钢管对穿拉锚挡墙的道路
