[实用新型]一种晶圆平边器

摘要

本实用新型提供一种晶圆平边器，包括滚动机构以及支撑滚动机构的底座，滚动机构包括滚筒以及与滚筒相连的摇杆，底座支撑滚筒，摇杆设于底座的外侧；晶圆平边器还包括平衡机构，平衡机构包括与滚筒平行设置的平衡支架以及与平衡支架相连的支架控制杆，平衡支架位于滚筒一侧且与滚筒间距设置，支架控制杆设于底座的外侧。本实用新型中的晶圆平边器，通过控制滚筒滚动进而控制晶圆片的滚动，直至晶圆片的平边朝下后固定在滚筒上，控制平衡支架转动，晶圆片的平边跟随平衡支架转动并位于同一水平面，能够将所有的晶圆片调整至平边统一朝下且位于同一水平面，提高了晶圆片的校正效率。