[发明专利]一种简易高效去除石墨烯表面PMMA的方法有效

专利信息
申请号: 202211323942.4 申请日: 2022-10-27
公开(公告)号: CN115536017B 公开(公告)日: 2023-09-22
发明(设计)人: 于法鹏;国星;张雪;王鹏;孙丽;李妍璐;赵显 申请(专利权)人: 山东大学
主分类号: C01B32/196 分类号: C01B32/196
代理公司: 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 代理人: 王磊
地址: 250100 山*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明公开了一种简易高效去除石墨烯表面PMMA的方法,属于石墨烯转移技术领域,包括:将PMMA/石墨烯薄膜转移至Si/SiO2衬底;将Si/SiO2衬底放置并夹紧于加装了振动组件的振动金属梁上,将振动金属梁垂直插入溶胀液内,磁力搅拌一定时间后提出;将振动金属梁垂直插入浸泡液内,开启振动组件,持续一定时间后提出,关闭振动组件;对负载PMMA/石墨烯薄膜的Si/SiO2衬底进行冲洗,随后对负载石墨烯薄膜的Si/SiO2衬底进行冲洗,吹干,获得已去除PMMA的负载石墨烯薄膜的Si/SiO2衬底。该方法操作简单,可高效、快速去除石墨烯表面的PMMA。
搜索关键词: 一种 简易 高效 去除 石墨 表面 pmma 方法
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