[发明专利]一种利用离子束加工X射线复合折射透镜的方法在审
| 申请号： | 202211128241.5 | 申请日： | 2022-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN115508922A | 公开（公告）日： | 2022-12-23 |
| 发明（设计）人： | 何玉梅;罗红心;田纳玺 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海高等研究院 |
| 主分类号： | G02B3/00 | 分类号： | G02B3/00;G02B1/00;G03F1/68;G01B11/24 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 杨怡清 |
| 地址： | 201210 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种利用离子束加工X射线复合折射透镜的方法，包括：根据所需的X射线复合折射透镜的厚度，选择若干基底，并根据基底尺寸和透镜参数制作掩膜；将其中一份基底作为样品，在样品上标记出采样点，并测量出各采样点的第一表面面形；使用离子源轰击采样点，并测量轰击后的各采样点的第二表面面形；根据第一表面面形和第二表面面形，获取修形驻留时间；将待加工基底与掩膜紧密贴合，安装在样品台上，并利用电动平移台带动离子源在竖直方向移动以使离子源与待加工基底相距一预设距离；根据修形驻留时间，利用加工离子束对所述待加工基底上的不同位置进行轰击，获取一系列平凹单折射透镜；制作出最终的X射线复合折射透镜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 离子束 加工 射线 复合 折射 透镜 方法 | ||
【主权项】：
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