[发明专利]用于加工基板的装置在审
| 申请号： | 202211005794.1 | 申请日： | 2022-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN116061079A | 公开（公告）日： | 2023-05-05 |
| 发明（设计）人： | 崔世宪 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;B24B37/11;B24B37/34;B24B41/04;B24B9/00 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人： | 王达佐;刘铮 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 用于加工基板的装置包括：主体构件，邻近基板的侧表面定位并旋转；旋转构件，联接至主体构件并且将旋转力传递给主体构件；以及周边研磨构件，联接至主体构件并且包括多个第一周边研磨构件和多个第二周边研磨构件，其中，第二周边研磨构件具有与第一周边研磨构件的粗糙度不同的粗糙度。第一周边研磨构件和第二周边研磨构件在主体构件的旋转方向上交替地排列为彼此间隔开。第一周边研磨构件中的每一个在从主体构件的中心向主体构件的边缘的方向上的第一长度与第二周边研磨构件中的每一个在从主体构件的中心向主体构件的边缘的方向上的第二长度不同。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 加工 装置 | ||
【主权项】：
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