[发明专利]籽晶及拉晶方法、装置在审
申请号: | 202210769732.1 | 申请日: | 2022-06-30 |
公开(公告)号: | CN115110146A | 公开(公告)日: | 2022-09-27 |
发明(设计)人: | 杨文武 | 申请(专利权)人: | 西安奕斯伟材料科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/36 | 分类号: | C30B15/36;C30B29/06 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 张博 |
地址: | 710000 陕西省西安市*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明提供了一种籽晶及拉晶方法、装置,属于半导体技术领域。籽晶,包括:柱状的籽晶本体,所述籽晶本体中掺杂有氢,所述籽晶本体包括第一端部和第二端部;其中,所述第一端部设置有用于与籽晶夹头固定的凸缘结构;所述第二端部为锥形,在远离所述第一端部的方向上,所述第二端部的直径逐渐减小。本发明能够实现生成大直径、大重量的晶棒。 | ||
搜索关键词: | 籽晶 方法 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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