[发明专利]一种高密度高迁移率氧化物靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 202210594048.4 | 申请日： | 2022-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN115180962B | 公开（公告）日： | 2023-03-17 |
| 发明（设计）人： | 李开杰;邵学亮;李晴晴;王奇峰;钟小华 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/622 | 分类号： | C04B35/622;B28B3/00;C04B35/01 |
| 代理公司： | 清远市清城区诺誉知识产权代理事务所(普通合伙) 44815 | 代理人： | 龚元元 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 发明属于新材料领域，公开了一种高密度高迁移率氧化物靶材的制备方法，包括如下步骤：步骤1：将构成氧化物靶材的氧化物原材料混合研磨制浆，并造粒得到造粒粉；步骤2：将造粒粉进行预压；步骤3：将预压产物进行热压得到素坯；步骤4：将素坯烧结即可得到氧化物靶材；所述热压的工艺为：在真空度≤10Pa的条件下，热压温度为400～700℃，升温速率为2℃/min，压力大小为300～400Mpa，保温加压时间为60～90min。本发明的首要目的在于提供一种高密度高迁移率氧化物靶材。此外本发明还提供了该靶材的制备方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高密度 迁移率 氧化物 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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