[发明专利]MEMS传感器及MEMS麦克风在审
| 申请号： | 202210466852.4 | 申请日： | 2022-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN115065919A | 公开（公告）日： | 2022-09-16 |
| 发明（设计）人： | 刘诗婧 | 申请（专利权）人： | 潍坊歌尔微电子有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 王迎;袁文婷 |
| 地址： | 261031 山东省潍坊市高新区新城*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种MEMS传感器及MEMS麦克风，其中的MEMS传感器包括：基板以及设置在基板上的MEMS芯片；其中，MEMS芯片包括设置在基板上的衬底以及贴设在衬底上的MEMS膜片；并且，在衬底上设置有至少一个应力收容部，应力收容部用于隔离基板与MEMS膜片之间的应力传递。利用上述发明能够减少外界应力对MEMS膜片的性能影响。 | ||
| 搜索关键词： | mems 传感器 麦克风 | ||
【主权项】：
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