[发明专利]一种垂直腔面发射激光器在审
| 申请号： | 202210447755.0 | 申请日： | 2022-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN114784626A | 公开（公告）日： | 2022-07-22 |
| 发明（设计）人： | 李含轩;李辉杰;李善文;牛守柱;颜虎;何志芳 | 申请（专利权）人： | 常州纵慧芯光半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/34 | 分类号： | H01S5/34;H01S5/343;H01S5/183 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 康欢欢 |
| 地址： | 213000 江苏省常州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种垂直腔面发射激光器，该垂直腔面发射激光器包括：依次层叠设置的衬底、缓冲层、第一反射层、有源层和第二反射层；所述缓冲层、所述第一反射层、所述有源层和所述第二反射层中的至少一层包括应力补偿层；在室温下，所述应力补偿层的材料的晶格常数小于所述衬底的材料的晶格常数。本发明提供了垂直腔面发射激光器，可以降低垂直腔面发射激光器的翘曲度，进而降低垂直腔面发射激光器破片率，提高垂直腔面发射激光器的合格率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 垂直 发射 激光器 | ||
【主权项】：
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