[发明专利]一种半导体石英部件的表面毛化处理方法在审
| 申请号： | 202210252671.1 | 申请日： | 2022-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN116766065A | 公开（公告）日： | 2023-09-19 |
| 发明（设计）人： | 陈宁 | 申请（专利权）人： | 上海宏科半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | B24C1/06 | 分类号： | B24C1/06;B08B3/12;B08B3/08 |
| 代理公司： | 上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙) 31297 | 代理人： | 闫亚 |
| 地址： | 201712 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种半导体石英部件的表面毛化处理方法，包括如下步骤：S1、预喷砂处理：对石英部件表面进行喷砂毛化处理，处理后石英部件的表面粗糙度为目标粗糙度值的30‑70％；S2、超声波混酸刻蚀处理：将喷砂处理后的石英部件放置于槽体内，向槽体内加入混酸溶液，在20‑60℃下进行超声波处理5‑120min；S3、清洗：对刻蚀处理后的石英部件进行清洗；其中，混酸溶液由如下组分组成：氢氟酸1‑10％、硝酸10‑30％、余量为水；超声波频率为20‑60KHz，超声波功率为5‑30W/L。其能够有效阻断喷砂处理过程中在石英部件表面浅层形成的微观裂缝，避免在后续使用过程中出现“颗粒持续脱落”的现象。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 石英 部件 表面 处理 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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