[发明专利]剥离液组合物及其制备方法在审
| 申请号： | 202210216632.6 | 申请日： | 2022-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN115079523A | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 朴峻贤;沈何频;俞珍浩 | 申请（专利权）人： | 易安爱富科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 成都超凡明远知识产权代理有限公司 51258 | 代理人： | 宋东颖 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及在抑制金属基板的腐蚀的同时具有优异的光刻胶剥离性能的剥离液组合物。根据本发明的剥离液组合物，可以提供在抑制基板的腐蚀的同时具有优异的光刻胶剥离性能的组合物。具体地，通过调节剥离液的电导率来抑制贾凡尼现象引起的腐蚀，从而改善剥离特性。 | ||
| 搜索关键词： | 剥离 组合 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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