[发明专利]一种磁控溅射真空镀膜机在审
| 申请号： | 202210120726.3 | 申请日： | 2022-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN114635110A | 公开（公告）日： | 2022-06-17 |
| 发明（设计）人： | 谢学东 | 申请（专利权）人： | 丹阳市宝来利真空机电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/02;C23C14/50;C23C14/56 |
| 代理公司： | 盐城市苏知桥知识产权代理事务所(普通合伙) 32439 | 代理人： | 田炜娜 |
| 地址： | 212300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种磁控溅射真空镀膜机，包括箱式镀膜机室，固定连接在镀膜机底部的底座，还有铰链连接的镀膜机室门，镀膜机右侧位置固定连接有闭门器，闭门器压紧室门，所述磁控溅射真空镀膜机还包括：靶材溅射机构包括若干磁控靶，磁控靶包括安装在镀膜机上的靶材和旋转阴极，磁控靶设置为若干组，所述镀膜机室中心设置两组磁控靶，所述镀膜机室内部侧边对称设置两组磁控靶。通过本发明设计的一种磁控溅射真空镀膜机，采用真空溅射镀膜原理对物件进行镀膜，镀膜均匀，同时镀膜工作效率高，并且真空抽取速度较快，室内压强稳定，使用安全便捷，在镀膜技术领域有可利用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 真空镀膜 | ||
【主权项】：
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