[发明专利]一种气相沉积设备零部件用高压水洗装置

摘要

本发明属于水洗设备技术领域，具体公开了一种气相沉积设备零部件用高压水洗装置，包括机架、出水管和连接管，机架上部设有水洗仓，机架下部设有储水仓，水洗仓内设有固定单元和水洗单元；连接管两端分别与水洗单元和储水仓连通，连接管还设有泵体；水洗仓内设有出水口，机架下部设有回收部，回收部与出水口通过连接管连通；固定单元包括底座和固定件，固定件设置在底座上端并用于固定零部件，底座下端设有驱动底座转动的驱动部。采用该高压水洗装置可以提高对气相沉积设备零部件的高压水洗效果，使气相零部件设备被清洗的更加干净。