[发明专利]加工装置及加工品的制造方法在审

专利信息
申请号: 202180093623.6 申请日: 2021-12-23
公开(公告)号: CN116940442A 公开(公告)日: 2023-10-24
发明(设计)人: 深井元树;堀聡子;坂上雄哉;山本裕子;吉冈翔;片冈昌一 申请(专利权)人: 东和株式会社
主分类号: B24B45/00 分类号: B24B45/00
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人: 杨文娟;臧建明
地址: 日本京都府京都*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明简化具有刀片更换机构的加工装置的装置结构,并且减少占据面积,且本发明包括:切断用工作台2A、切断用工作台2B,通过切断机构4将密封完毕基板W进行加工;切断用移动机构8,使切断机构4在水平面上在相互正交的第一方向及第二方向移动;以及刀片更换机构24,更换切断机构4的刀片41A、刀片41B,切断用移动机构8具有:沿着第一方向夹持切断用工作台2A、切断用工作台2B而设置的一对第一导轨811;以及支撑体812,沿着一对第一导轨811移动并且对切断机构4以能够沿着第二方向移动的方式予以支撑,刀片更换机构24具有:第一吸附部241a,吸附刀片41A、刀片41B;以及臂移动机构242,使第一吸附部241a在第二方向移动。
搜索关键词: 加工 装置 加工品 制造 方法
【主权项】:
暂无信息
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