[发明专利]一种磨削面形预测方法、磨削系统及终端设备有效
| 申请号： | 202111533915.5 | 申请日： | 2021-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN114161240B | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 陶红飞;刘远航;赵德文;路新春 | 申请（专利权）人： | 清华大学;华海清科股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B7/06 | 分类号： | B24B7/06;B24B7/22;B24B27/00;B24B41/06;B24B49/04;B24B51/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种磨削面形预测方法、磨削系统及终端设备，方法包括：设置不同的姿态调节参数，对晶圆进行磨削；测量磨削后的晶圆厚度，提取晶圆的面形特征；采取机器学习算法建立姿态调节参数与面形特征之间的映射关系，得到面形预测模型。本发明能够得到晶圆磨削的面形预测模型，提高了预测的准确性和可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磨削 预测 方法 系统 终端设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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