[发明专利]一种双腔准分子激光器及其能量调节方法在审
| 申请号： | 202111013309.0 | 申请日： | 2021-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN115912022A | 公开（公告）日： | 2023-04-04 |
| 发明（设计）人： | 梁赛;冯泽斌;刘锴锋;徐向宇;刘广义;江锐;刘斌 | 申请（专利权）人： | 北京科益虹源光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01S3/036 | 分类号： | H01S3/036;H01S3/104 |
| 代理公司： | 北京汲智翼成知识产权代理事务所(普通合伙) 11381 | 代理人： | 陈曦;董烨飞 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区经*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种双腔准分子激光器的能量调节方法，包括以下步骤：S1：当前猝发信号检测到激光器的出光，触发中断，基于MO电压检测值和PA电压检测值，计算得到MO电压增量，并利用MO电压增量对PA电压进行闭环控制；S2：在当前猝发信号后的间隔期间内，对MO电压进行更新，作为下一个猝发信号用的MO电压，并返回步骤S1。本发明利用被偏置的MO电压检测值与PA电压检测值的差值，使MO电压可调，以扩大激光器出光能量的可调节范围；而且，本发明用MO电压增量对PA电压增量进行反向补偿，进一步提高了PA电压的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 准分子激光 及其 能量 调节 方法 | ||
【主权项】：
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